Mechanical resonance of clamped silicon nanowires measured by optical interferometry

Journal of Applied Physics

Volumn 103, Issue 7, 2008, Pages

  Belov, M ^a   Quitoriano, N J ^b   Sharma, S ^b   Hiebert, W K ^a   Kamins, T I ^b   Evoy, S ^a  

^a NATIONAL RESEARCH COUNCIL CANADA   (Canada)

^b HEWLETT PACKARD LABORATORIES   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELASTIC MODULI; INTERFEROMETRY; RESONANCE; SILICON;

CLAMPED SILICON NANOWIRES; MECHANICAL RESONANCE;

NANOWIRES;

EID: 42149172561     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2891002     Document Type: Article

References (49)

1. J. Homola, S. S. Yee, and G. Gauglitz, Sens. Actuators B 54, 3 (1999).
2. C. Lu, Applications of Piezoelectric Quartz Crystal Microbalances, (Elsevier, London, 1984).
3. H. G. Craighead, Science 290, 1532 (2000).
4. B. Ilic, Y. Yang, and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 85, 2604 (2004).
5. T. Thundat, E. A. Wachter, S. L. Sharp, and R. J. Warmack, Appl. Phys. Lett. 66, 1695 (1995).
6. E. A. Wachter and T. Thundat, Rev. Sci. Instrum. 66, 3662 (1995).
7. B. Illic, H. G. Craighead, S. Krylov, W. Senaratne, C. Ober, and P. Neuzil, J. Appl. Phys. 95, 3694 (2004).
8. K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 84, 4469 (2004).
9. K. L. Ekinci and M. L. Roukes, Rev. Sci. Instrum. 76, 061101 (2005).
10. Y. T. Yang, C. Callegari, X. L. Feng, K. L. Ekinci, and M. L. Roukes, Nano Lett. 6, 583 (2006).
11. K. L. Ekinci, Y. T. Yang, and M. L. Roukes, J. Appl. Phys. 95, 2682 (2004).
12. D. W. Carr, L. Sekaric, and H. G. Craighead, J. Vac. Sci. Technol. B 16, 3821 (1998).
13. S. S. Verbridge, J. M. Parpia, R. B. Reichenbach, L. M. Bellan, and H. G. Craighead, J. Appl. Phys. 99, 124304 (2006).
14. Y. T. Yang, K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, L. M. Schiavone, M. L. Roukes, C. A. Zorman, and M. Mehregany, Appl. Phys. Lett. 78, 162 (2001).
15. L. M. Fischer, N. Wilding, M. Gel, and S. Evoy, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 33 (2007).
16. L. Sekaric, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 81, 4455 (2002).
17. Y. Cui, Q. Wei, H. Park, and C. M. Lieber, Science 293, 1289 (2001).
18. J. S. Bunch, A. M. van der Zande, S. S. Verbridge, I. W. Frank, D. M. Tanenbaum, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and P. L. McEuen, Science 315, 490 (2007).
19. V. Sazonova, Y. Yaish, H. Ustunel, D. Roundy, T. A. Arias, and P. L. McEuen, Nature 431, 284 (2004).
20. A. Husain, J. Hone, H. W. C. Postma, X. M. H. Huang, T. Drake, M. Barbic, A. Scherer, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 83, 1240 (2003).
21. S. Evoy, M. Riegelman, N. Naguib, H. Ye, P. Jaroenapibal, D. E. Luzzi, and Y. Gogotsi, IEEE Trans. Nanotechnol. 4, 570 (2005).
22. M. S. Islam, S. Sharma, T. I. Kamins, and R. S. Williams, Nanotechnology 15, L5 (2004).
23. M. S. Islam, S. Sharma, T. I. Kamins, and R. Stanley Williams, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 80, 1133 (2005).
24. A. San Paulo, N. Arellano, J. A. Plaza, R. He, C. Carraro, R. Maboudian, R. T. Howe, J. Bokor, and P. Yang, Nano Lett. 7, 1100 (2007).
25. S. Sharma, T. I. Kamins, M. S. Islam, R. Stanley Williams, and A. F. Marshall, J. Cryst. Growth 280, 562 (2005).
26. M. Tabib-Azar, M. Nassirou, R. Wang, S. Sharma, T. I. Kamins, M. Saif Islam, and R. S. Williams, Appl. Phys. Lett. 87, 113102 (2005).
27. A. Heidelberg, L. T. Ngo, B. Wu, M. A. Phillips, S. Sharma, T. I. Kamins, J. E. Sader, and J. J. Boland, Nano Lett. 6, 1101 (2006).
28. A. Javey, S. Nam, R. S. Friedman, H. Yan, and C. M. Lieber, Nano Lett. 7, 773 (2007).
29. A. I. Hochbaum, R. Fan, R. He, and P. Yang, Nano Lett. 5, 457 (2005).
30. S. Evoy, D. W. Carr, L. Sekaric, A. Olkhovets, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, J. Appl. Phys. 86, 6072 (1999).
31. S. Timoshenko, D. H. Young, and W. Weaver, Jr., Vibration Problems in Engineering (Wiley, New York, 1974).
32. S. Evoy, A. Olkhovets, L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, and D. W. Carr, Appl. Phys. Lett. 77, 2397 (2000).
33. U. Gysin, S. Rast, P. Ruff, and E. Meyer, Phys. Rev. B 69, 045403 (2004).
34. P. Mohanty, D. A. Harrington, K. L. Ekinci, Y. T. Yang, M. J. Murphy, and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 66, 085416 (2002).
35. K. G. Lyon, G. L. Salinger, and C. A. Swenson, J. Appl. Phys. 48, 865 (1977).
36. K. Y. Yasumura, T. D. Stowe, E. M. Chow, T. Pfafman, T. W. Kenny, B. C. Stipe, and D. Rugar, J. Microelectromech. Syst. 9, 117 (2000).
37. J. Yang, T. Ono, and M. Esashi, J. Microelectromech. Syst. 11, 775 (2002).
38. J. A. Henry, Y. Wang, and M. A. Hines, Appl. Phys. Lett. 84, 1765 (2004).
39. B. H. Houston, D. M. Photiadis, M. H. Marcus, J. A. Bucaro, X. Liu, and J. F. Vignola, Appl. Phys. Lett. 80, 1300 (2002).
40. R. Lifshitz and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 61, 5600 (2000).
41. D. Li, Y. Wu, P. Kim, P. Yang, and A. Majumdar, Appl. Phys. Lett. 83, 2934 (2003).
42. G. Y. Chen, T. Thundat, E. A. Wachter, and R. J. Warmack, J. Appl. Phys. 77, 3618 (1995).
43. L. Sekaric, M. Zalalutdinov, R. B. Bhiladvala, A. T. Zehnder, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 81, 2641 (2002).
44. N. V. Lavrik and P. G. Datskos, Appl. Phys. Lett. 82, 2697 (2003).
45. S. S. Verbridge, L. M. Bellan, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, Nano Lett. 6, 2109 (2006).
46. C. P. Green and J. E. Sader, J. Appl. Phys. 98, 114913 (2005).
47. R. B. Bhiladvala and Z. J. Wang, Phys. Rev. E 69, 036307 (2004).
48. D. M. Karabacak, V. Yakhot, and K. L. Ekinci, Phys. Rev. Lett. 98, 254505 (2007).
49. X. L. Feng, R. He, P. Yang, and M. L. Roukes, Nano Lett. 7, 1953 (2007).