Very high frequency silicon nanowire electromechanical resonators

Nano Letters

Volumn 7, Issue 7, 2007, Pages 1953-1959

  Feng, X L ^a   He, Rongrui ^b   Yang, Peidong ^b   Roukes, M L ^a  

^a CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (United States)

^b UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

NANOMECHANICAL RESONATORS; PRISTINE RESONATORS; QUANTUM ELECTROMECHANICAL SYSTEMS; RESONANT SENSING;

NANOWIRES; RESONANCE; RESONATORS; SILICON; SINGLE CRYSTALS;

ELECTROMECHANICAL DEVICES;

EID: 34547585788     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl0706695     Document Type: Article

References (31)

1. Ekinci, K. L.; Roukes, M. L. Rev. Sci. Instrum. 2005, 76, 061101.
2. Yang, Y. T.; Callegari, C.; Feng, X. L.; Ekinci, K. L.; Roukes, M. L. Nano Lett. 2006, 6, 583.
3. Rugar, D.; Budakian, R.; Mamin, H. J.; Chui, B. W. Nature 2004, 430, 329.
4. Schwab, K. C.; Roukes, M. L. Phys. Today 2005, July, 36.
5. Feng, X. L.; White, C. J.; Hajimiri, A.; Roukes, M. L. 2007, submitted for publication.
6. Roukes, M. L. In Technical Digest 2004 IEEE International Electron Devices Meeting, San Francisco, CA, December 13-15, 2004; p 539.
7. Cleland, A. N.; Roukes, M. L. Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 2653.
8. He, R. R.; Gao, D.; Fan, R.; Hochbaum, A. I.; Carraro, C.; Maboudian, R.; Yang, P. D. Adv. Mater. 2005, 17, 2098.
9. San Paulo, A.; Bokor, J.; Howe, R. T.; He, R.; Yang, P.; Gao, D.; Carraro, C.; Maboudian, R. Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 053111.
10. He, R. R.; Yang, P. D. Nat. Nanotechnol. 2006, 1, 42.
11. Karabacak, D.; Kouh, T.; Huang, C. C.; Ekinci, K. L. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 193122.
12. Truitt, P. A.; Hertzberg, J. B.; Huang, C. C.; Ekinci, K. L.; Schwab, K. C. Nano Lett. 2007, 7, 120.
13. Knobel, R.; Cleland, A. N. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 2258.
14. Cleland, A. N.; Roukes, M. L. Sens. Actuators 1999, 72, 256.
15. Huang, X. M. H.; Feng, X. L.; Zorman, C. A.; Mehregany, M.; Roukes, M. L. New J. Phys. 2005, 7, 247.
16. Knobel, R.; Cleland, A. N. Nature 2003, 424, 291.
17. LaHaye, M. D.; Buu, O.; Camarota, B.: Schwab, K. C. Science 2004, 304, 74.
18. Cleland, A. N.; Aldridge, J. S.; Driscoll, D. C.; Gossard, A. C. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 1699.
19. Flowers-Jacobs, N. E.; Schmidt, D. R.; Lehnen, K. W. Phys. Rev. Lett. 2007, 98, 096804.
20. Ekinci, K. L.; Yang, Y. T.; Huang, X. M. H.; Roukes, M. L. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 2253.
21. Huang, X. M. H.; Zorman, C. A.; Mehregany, M.; Roukes, M. L. Nature 2003, 421, 496.
22. Postma, H. W. C.; Kozinsky, I.; Husain, A.; Roukes, M. L. Appl. Phys. Lett. 2005, 86, 223105.
23. Husain, A.; Hone, J.; Postma, H. W. C.; Huang, X. M. H.; Drake, T.; Barbic, M.; Scherer, A.; Roukes, M. L. Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 1240.
24. Feng, X. L.; Zorman, C. A.; Mehregany, M.; Roukes, M. L. In Technical Digest 2006 Solid-State Sensors, Actuators & Microsystems Workshop, Hilton Head, SC, June 4-8, 2006; p 86.
25. Nguyen, C. T. C. In Proceedings of the 2005 IEEE International Frequency Control Symposium, Vancouver, Canada, August 29-31, 2005; p 1.
26. Verbridge, S. S.; Shapiro, D. F.; Craighead, H. G.; Parpia, J. M. Nano Lett. 2007, 7, 1728.
27. Lifshitz, R.; Cross, M. C. Phys. Rev. B 2001, 64, 085324.
28. Ekinci, K. L.; Yang, Y. T.; Roukes, M. L. J. Appl. Phys. 2004, 95, 2682.
29. Feng, X. L; He, R. R.; Yang, P. D.; Roukes, M. L. In Digest of Technical Papers, The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers '07), Lyon, France, June 10-14, 2007; p 327.
30. Wu, Y.; Xiang, J.; Yang, C.; Lu, W.; Lieber, C. M. Nature 2004, 430, 61.
31. Hochbaum, A. I.; Fan, R.; He, R. R.; Yang, P. D. Nano Lett. 2005, 5, 457.