High quality factor resonance at room temperature with nanostrings under high tensile stress

Journal of Applied Physics

Volumn 99, Issue 12, 2006, Pages

  Verbridge, Scott S ^c   Parpia, Jeevak M ^c   Reichenbach, Robert B ^a,b   Bellan, Leon M ^c   Craighead, H G ^c  

^a Cornell University   (United States)

^b Department of Obstetrics Gynecology   (United States)

^c NONE

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

MASS SENSING; NONLITHOGRAPHIC ELECTROSPINNING PROCESS; RADIO-FREQUENCY SILICON NITRIDE STRING RESONATORS; THERMOELASTIC DISSIPATION;

CANTILEVER BEAMS; FABRICATION; NANOSTRUCTURED MATERIALS; RESONATORS; SILICON NITRIDE; TENSILE STRESS; THERMAL EFFECTS; THERMOELASTICITY;

ELECTRON RESONANCE;

EID: 33745725576     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2204829     Document Type: Article

References (34)

1. C. T. Nguyen, L. P. B. Katehi, and G. M. Rebeiz, Proc. IEEE 86, 1756 (1998).
2. R. B. Reichenbach, M. Zalalutdinov, K. L. Aubin, R. Rand, B. Houston, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, J. Microelectromech. Syst. 14, 1244 (2005).
3. B. Ilic, H. G. Craighead, S. Krylov, W. Senaratne, C. Ober, and P. Neuzil, J. Appl. Phys. 95, 3694 (2004).
4. K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 84, 4469 (2004).
5. M. D. LaHaye, O. Buu, B. Camarota, and K. C. Schwab, Science 304, 74 (2004).
6. K. Y. Yasumura, T. D. Stowe, E. M. Chow, T. Pfafman, T. W. Kenny, B. C. Stipe, and D. Rugar, J. Microelectromech. Syst. 9, 117 (2000).
7. D. W. Carr., S. Evoy, L. Sekaric, H. G. Craighead, and J. M. Paipia, Appl. Phys. Lett. 75, 920 (1999).
8. K. L. Ekinci and M. L. Roukes, Rev. Sci. Instrum. 76, 061101 (2005).
9. H. Haucke, X. Liu, J. F. Vignola, B. H. Houston, M. H. Marcus, and J. W. Baldwin, Appl. Phys. Lett. 86, 181903 (2005).
10. K. L. Aubin, M. Zalalutdinov, R. Reichenbach, B. Houston, A. T. Zehnder, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, Proc. SPIE 5116, 531 (2003).
11. J. Yang, T. Ono, and M. Esashi, Appl. Phys. Lett. 77, 3860 (2000).
12. Y. Wang, J. A. Henry, S. Debodhonyaa, and M. A. Hines, Appl. Phys. Lett. 85, 5736 (2004).
13. L. Sekaric, D. W. Carr, S. Evoy, J. M. Parpia, and H. G. Craighead, Sens. Actuators, A 101, 215 (2002).
14. X. M. H. Huang, M. K. Prakash, C. A. Zorman, M. Mehregany, and M. L. Roukes, 12th International Conference on Transducers, Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 2003, Vol. 1, pp. 342-343.
15. D. A. Czaplewski, S. S. Verbridge, J. Kameoka, and H. G. Craighead, Nano Lett. 4, 437 (2004).
16. W. Weaver, Jr., S. P. Timoshenko, and D. H. Young, Vibration Problems in Engineering (Wiley Interscience, New York, 1990).
17. H. O. Pierson, Handbook of Chemical. Vapor Deposition: Principles, Technology, and Applications, 2nd ed. (William Andrew Publishing, LLC, Norwich, NY, 1999).
18. L. Kiesewetter, J. M. Zhang, D. Houdeau, and A. Steckenborn, Sens. Actuators, A 35, 153 (1992).
19. K. Wago, O. Zuger, R. Kendrick, C. S. Yannoni, and D. Rugar, J. Vac. Sci. Technol. B 14, 1197 (1996).
20. X. Liu, J. F. Vignola, H. J. Simpson, B. R. Lemon, B. H. Houston, and D. M. Photiadis, J. Appl. Phys. 97, 023524 (2005).
21. J. Caspar, V. Chu, and J. P. Conde, Appl. Phys. Lett. 84, 622 (2004).
22. Y. T. Yang, K. L. Ekinci, X. M. H. Huang, L. M. Schiavone, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 78, 162 (2001).
23. L. Sekaric, J. M. Parpia, H. G. Craighead, T. Feygelson, B. H. Houston, and J. E. Butler, Appl. Phys. Lett. 81, 4455 (2002).
24. B. Ilic, S. Krylov, K. Aubin, R. Reichenbach, and H. G. Craighead, Appl. Phys. Lett. 86, 193114 (2005).
25. D. M. Photiadis and J. A. Judge, Appl. Phys. Lett. 85, 482 (2004).
26. D. A. Czaplewski, J. P. Sullivan, T. A. Friedmann, D. W. Carr, B. E. N. Keeler, and J. R. Wendt, J. Appl. Phys. 97, 023517 (2005).
27. B. H. Houston, D. M. Photiadis, M. H. Marcus, J. A. Bucaro, X. Liu, and J. F. Vignola, Appl. Phys. Lett. 80, 1300 (2002).
28. R. Lifshitz and M. L. Roukes, Phys. Rev. B 61, 5600 (2000).
29. W. H. Chuang, T. Luger, R. K. Fettig, and R. Ghodssi, J. Microelectromech. Syst. 13, 870 (2004).
30. CRC Materials Science and Engineering Handbook (CRC, Boca Raton, FL, 1992).
31. X. Zhang and C. P. Grigoropoulos, Rev. Sci. Instrum. 66, 1115 (1995).
32. A. Husain, J. Hone, H. W. Ch. Postma, X. M. H. Huang, T. Drake, M. Barbic, A. Scherer, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 83, 1240 (2003).
33. K. L. Ekinci, Y. T. Yang, X. M. H. Huang, and M. L. Roukes, Appl. Phys. Lett. 81, 2253 (2002).
34. X. Li, T. Ono, Y. Wang, and M. Esashi, The Fifteenth IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2002, pp. 427-430.