3D microstructured surfaces obtained by soft-lithography using fast-crosslinking elastomeric precursors and 2D masters

Advanced Functional Materials

Volumn 17, Issue 17, 2007, Pages 3590-3597

  Campo, Aránzazu Del ^a   Álvarez, Irma ^a   Filipe, Susana ^b   Wilhelm, Manfred ^c  

^a MAX PLANCK INSTITUTE FOR INTELLIGENT SYSTEMS   (Germany)

^b MAX PLANCK INSTITUTE FOR POLYMER RESEARCH   (Germany)

^c UNIVERSITY OF KARLSRUHE   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CROSSLINKING; ELASTOMERS; FABRICATION; LITHOGRAPHY; POLYMERS; TOPOGRAPHY;

FLUID ELASTOMERIC PRECURSORS; MICROMOLDING; MICROTUBES;

MICROSTRUCTURE;

EID: 36849071853     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.200700132     Document Type: Article

References (66)

1. B. D. Gates, Q. B. Xu, M. Stewart, D. Ryan, C. G. Willson, G. M. Whitesides, Chem. Rev. 2005, 105, 1171.
2. C. N. LaFratta, T. Baldacchini, R. A. Farrer, J. T. Fourkas, M. C. Teich, B. E. A. Saleh, M. J. Naughton, J. Phys. Chem. B 2004, 108, 11 256.
3. J. C. Galas, B. Belier, A. Aassime, J. Palomo, D. Bouville, J. Aubert, J. Vac. Sci. Technol. B 2004, 22, 1160.
4. V. Kudryashov, X. C. Yuan, W. C. Cheong. K. Radhakrishnan, Microelectron. Eng. 2003, 67-68, 306.
5. C. M. Waits, A. Modafe, R. Ghodssi, J. Micromech. Microeng. 2003, 13, 170.
6. C. C. Chen, D. Hirdes. A. Folch, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2003, 100, 1499.
7. K. Totsu, M. Esashi, J. Vac. Sci. Technol. B 2005, 23, 1487.
8. M. Campbell, D. N. Sharp, M. T. Harrison, R. G. Denning, A. J. Turberfield, Nature 2000, 404, 53.
9. D. C. Meisel, M. Wegener, K. Busch, Phys. Rev. B 2004, 70, 165 104/1.
10. D. N. Sharp, M. Campbell, E. R. Dedman, M. T. Harrison, R. G. Denning, A. J. Turberfield, Opt. Quantum Electron. 2002, 34, 3.
11. A. Bertsch, H. Lorenz, P. Renaud, Sens. Actuators A 1999, 73, 14.
12. H.-B. Sun, S. Kawata, Adv. Polym. Sci. 2004, 170, 169.
13. A. del Campo, E. Arzt, Chem. Rev., in press.
14. R. A. Brown, M. Wiseman, C. B. Chuo, U. Cheema, S. N. Nazhat, Adv. Fund. Mater. 2005, 15, 1762.
15. V. K. Popov, A. V. Evseev, A. L. Ivanov, V. V. Roginski, A. I. Volozhin, S. M. Howdle, J. Mater. Sci. 2004, 15, 123.
16. Y. Liu, S. Sun, S. Singha, M. R. Cho, R. J. Gordon, Biomaterials 2005, 26, 4597.
17. H. Kusakabe, T. Sakamaki, K. Nihei, Y. Oyama, S. Yanagimoto, M. Ichimiya, J. Kimura, Y. Toyama, Biomaterials 2004, 25, 2957.
18. M. E. Hoque, D. W. Hutmacher, W. Feng, S. Li, M. H. Huang, M. Vert, Y. S. Wong, J. Biomater. Sci. Polym. Ed. 2005, 16, 1595.
19. M. Martina, G. Subramanyam, J. C. Weaver, D. W. Hutmacher, D. E. Morse, S. Valiyaveettil, Biomaterials 2005, 26, 5609.
20. A. C Jones, A. Sakellariou, A. Limaye, C. H. Arns, T. J. Senden, T. Sawkins, M. A. Knackstedt, D. Rohner, D. W. Hutmacher, A. Brandwood, B. K. Milthorpe, J. Mater. Sci. Mater. Med. 2004, 15, 529.
21. D. W. Hutmacher, J. Biomater. Sci. Polym. Ed. 2001, 12, 107.
22. L. M. Granhag, J. A. Finlay, P. R. Jonsson, J. A. Callow, M. E. Callow, Biofouling 2004, 20, 117.
23. L. Hoipkemeier-Wilson, J. Schumacher, M. Carman, A. Gibson, A. Feinberg, M. Callow, J. Finlay, J. Callow, A. Brennan, Biofouling 2004, 20, 53.
24. M. E. Callow, A. R. Jennings, A. B. Brennan, C. E. Seegert, A. Gibson, L. Wilson, A. Feinberg, R. Baney, J. A. Callow, Biofouling 2002, 18, 237.
25. R. Spolenak, S. Gorb, H. J. Gao, E. Arzt, Proc. R. Soc. London Ser. A 2005, 461, 305.
26. E. P. Chan, A. J. Crosby, Adv. Mater. 2006, 18, 3238.
27. A. del Campo, C. Greiner, I. Álvarez, E. Arzt, Adv. Mater. 2007, 19, 1973.
28. C. Greiner, A. del Campo, E. Arzt, Langmuir 2007, 23, 3495.
29. A. del Campo, C. Greiner, E. Arzt, Langmuir, in press.
30. Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Angew. Chem. Int. Ed. 1998, 37, 551.
31. P. Roca-Cusachs, F. Rico, E. Martinez, J. Toset, R. Farre, D. Navajas, Langmuir 2005, 21, 5542.
32. E. Delamarche, H. Schmid, B. Michel, H. Biebuyck, Adv. Mater. 1997, 9, 741.
33. C. Y. Hui, A. Jagota, Y. Y. Lin, E. J. Kramer, Langmuir 2002, 18, 1394.
34. A. Bietsch, B. Michel, J. Appl. Phys. 2000, 88, 4310.
35. K. G. Sharp, G. S. Blackman, N. J. Glassmaker, A. Jagota, C. Y. Hui, Langmuir 2004, 20, 6430.
36. T. W. Odom, J. C. Love, D. B. Wolfe, K. E. Paul, G. M. Whitesides, Langmuir 2002, 18, 5314.
37. H. Schmid, B. Michel, Macromolecules 2000, 33, 3042.
38. T. W. Lee, S. Jeon, J. Maria, J. Zaumseil, J. W. P. Hsu, J. A. Rogers, Adv. Funct. Mater. 2005, 15, 1435.
39. K. M. Choi, J. A. Rogers, J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 4060.
40. J. A. Rogers, K. E. Paul, G. M. Whitesides, J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 88.
41. S. J. Choi, P. J. Yoo, S. J. Baek, T. W. Kim, H. H. Lee, J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 7744.
42. G. Csucs, T. Kunzler, K. Feldman, F. Robin, N. D. Spencer, Langmuir 2003, 19, 6104.
43. K. Y. Suh, R. Langer, J. Lahann, Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 4250.
44. D. G. Choi, J. H. Jeong, Y. S. Sim, E. S. Lee, W. S. Kim, B. S. Bae, Langmuir 2005, 21, 9390.
45. D. Y. Khang, H. Kang, T. Kim, H. H. Lee, Nano Lett. 2004, 4, 633.
46. D. Y. Khang, H. H. Lee, Langmuir 2004, 20, 2445.
47. J. P. Rolland, E. C. Hagberg, G. M. Denison, K. R. Carter, J. M. De Simone, Angew. Chem. Int. Ed. 2004, 43, 5796.
48. Y. J. Eo, J. H. Kim, J. H. Ko, B. S. Bae, J. Mater. Res. 2005, 20, 401.
49. S. Y. Kim, S. Augustine, Y. J. Eo, B. S. Bae, S. I. Woo, J. K. Kang, J. Phys. Chem. B 2005, 109, 9397.
50. Y. J. Eo, T. H. Lee, S. Y. Kim, J. K. Kang, Y. S. Han, B. S. Bae, J. Polym. Sci. Part B 2005, 43, 827.
51. W. S. Kim, K. S. Kim, Y. J. Eo, Y. Yoon, B. S. Bae, J. Mater. Chem. 2005, 15, 465.
52. J. H. Jeong, Y. S. Sim, H. Sohn, E. S. Lee, Microelectron. Eng. 2004, 75, 165.
53. P. J. Yoo, S. J. Choi, J. H. Kim, D. Suh, S. J. Baek, T. W. Kim, H. H. Lee, Chem. Mater. 2004, 16, 5000.
54. H. X. Ge, W. Wu, Z. Y. Li, G. Y. Jung, D. Olynick, Y. F. Chen, J. A. Liddle, S. Y. Wang, R. S. Williams, Nano Lett. 2005, 5, 179.
55. Y. Zhao, X. Zhang, Sens. Actuators A 2006, 127, 216.
56. Y. Hirai, T. Konishi, T. Yoshikawa, S. Yoshida, J. Vac. Sci. Technol. B 2004, 22, 3288.
57. H. Schift, L. J. Heyderman, M. A. D. Maur, J. Gobrecht, Nanotechnology 2001, 12, 173.
58. F. Lazzarino, C. Gourgon, P. Schiavone, C. Perret, J. Vac. Sci. Technol. B 2004, 22, 3318.
59. Z. Q. Lin, T. Kerle, S. M. Baker, D. A. Hoagland, E. Schaffer, U. Steiner, T. P. Russell, J. Chem. Phys. 2001, 114, 2377.
60. Z. Q. Lin, T. Kerle, T. P. Russell, E. Schaffer, U. Steiner, Macromolecules 2002, 35, 3971.
61. E. Schafer, T. Thurn-Albrecht, T. P. Russell, U. Steiner, Europhys. Lett. 2001, 53, 518.
62. S. Y. Chou, L. Zhuang, J. Vac. Sci. Technol. B 1999, 17, 3197.
63. K. Y. Suh, S. J. Choi, S. J. Baek, T. W. Kim, R. Langer, Adv. Mater. 2005, 17, 560.
64. S. Reddy, R. T. Bonnecaze, Microelectron. Eng. 2005, 82, 60.
65. L. J. Heyderman, H. Schift, C. David, J. Gobrecht, T. Schweizer, Microelectron. Eng. 2000, 54, 229.
66. H. Yoon, K. M. Lee, D.-Y. Khang, H. H. Lee, S.-J. Choi, Appl. Phys. Lett. 2004, 55, 1793.