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Volumn 67, Issue 7, 2014, Pages 989-996

Recent advances using guanidinate ligands for Chemical Vapour Deposition (CVD) and Atomic Layer Deposition (ALD) applications

(5) Kurek, Agnieszka a Gordon, Peter G a Karle, Sarah b Devi, Anjana b Barry, Seán T a

a CARLETON UNIVERSITY (Canada)

b RUHR UNIVERSITY BOCHUM (Germany)

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ATOMIC LAYER DEPOSITION; DEPOSITION; LIGANDS; METAL COMPLEXES; THIN FILMS; VAPORS;

CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION; GUANIDINATE LIGAND; METAL CENTRES; METAL COMPONENTS; METAL NITRIDES; PROCESS PARAMETERS; SPECIFIC SUBSTRATES; THERMALLY STABLE;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION;

EID: 84904430279 PISSN: 00049425 EISSN: 14450038 Source Type: Journal
DOI: 10.1071/CH14172 Document Type: Review

Times cited : (32)

References (36)

1
- 84860313338
- doi:10.1016/J.TSF.2012.02.048
- A. Devi, S. Cwik, K. Xu, A. P. Milanov, H. Noei, Y. Wang, D. Barreca, J. Meijer, D. Rogalla, D. Kahn, R. Cross, H. Parala, S. Paul, Thin Solid Films 2012, 520, 4512. doi:10.1016/J.TSF.2012.02.048
- (2012) Thin Solid Films , vol.520 , pp. 4512
- Devi, A.¹ Cwik, S.² Xu, K.³ Milanov, A.P.⁴ Noei, H.⁵ Wang, Y.⁶ Barreca, D.⁷ Meijer, J.⁸ Rogalla, D.⁹ Kahn, D.¹⁰ Cross, R.¹¹ Parala, H.¹² Paul, S.¹³

2
- 84866952953
- doi:10.1039/ C2CS35180C
- F. T. Edelmann, Chem. Soc. Rev. 2012, 41, 7657. doi:10.1039/ C2CS35180C
- (2012) Chem. Soc. Rev , vol.41 , pp. 7657
- Edelmann, F.T.¹

3
- 84859064435
- doi:10.1002/CVDE. 201106934
- K. Xu, A. P. Milanov, H. Parala, C. Wenger, C. Baristiran-Kaynak, K. Lakribssi, T. Toader, C. Bock, D. Rogalla, H.-W. Becker, U. Kunze, A. Devi, Chem. Vap. Depos. 2012, 18, 27. doi:10.1002/CVDE. 201106934
- (2012) Chem. Vap. Depos , vol.18 , pp. 27
- Xu, K.¹ Milanov, A.P.² Parala, H.³ Wenger, C.⁴ Baristiran-Kaynak, C.⁵ Lakribssi, K.⁶ Toader, T.⁷ Bock, C.⁸ Rogalla, D.⁹ Becker, H.-W.¹⁰ Kunze, U.¹¹ Devi, A.¹²

4
- 80052739204
- doi:10.1039/C1DT10877H
- S. T. Barry, P. G. Gordon,M. J. Ward, M. J. Heikkila,W. H. Monillas, G. P. A. Yap, M. Ritala, M. Leskelä, Dalton Trans. 2011, 9425. doi:10.1039/C1DT10877H
- (2011) Dalton Trans , pp. 9425
- Barry, S.T.¹ Gordonm. Ward, J.P.G.² Heikkila, W.H.³ Monillas, H.M.J.⁴ Yap, G.P.A.⁵ Ritala, M.⁶ Leskelä, M.⁷

5
- 84856820995
- doi:10.1166/JNN.2011.5057
- T. Prieur, V. Brizé, T. Cornier, B. Doisneau, A. Farcy, R. Boichot, A. Mantoux, S. Daniele, E. Blanquet, J. Nanosci. Nanotechnol. 2011, 11, 8383. doi:10.1166/JNN.2011.5057
- (2011) J. Nanosci. Nanotechnol , vol.11 , pp. 8383
- Prieur, T.¹ Brizé, V.² Cornier, T.³ Doisneau, B.⁴ Farcy, A.⁵ Boichot, R.⁶ Mantoux, A.⁷ Daniele, S.⁸ Blanquet, E.⁹

6
- 74849103290
- doi:10.1021/JA909102J
- A. P. Milanov, K. Xu, A. Laha, E. Bugiel, R. Ranjith, D. Schwendt, H. J. Osten, H. Parala, R. A. Fischer, A. Devi, J. Am. Chem. Soc. 2010, 132, 36. doi:10.1021/JA909102J
- (2010) J. Am. Chem. Soc , vol.132 , pp. 36
- Milanov, A.P.¹ Xu, K.² Laha, A.³ Bugiel, E.⁴ Ranjith, R.⁵ Schwendt, D.⁶ Osten, H.J.⁷ Parala, H.⁸ Fischer, R.A.⁹ Devi, A.¹⁰

7
- 84872737968
- doi:10.1063/1.4757907
- V. Miikkulainen,M. Leskelä, M. Ritala, R. L. Puurunen, J. Appl. Phys. 2013, 113, 021301. doi:10.1063/1.4757907
- (2013) J. Appl. Phys , vol.113 , pp. 021301
- Miikkulainen, M.¹ Leskelä, V.² Ritala, M.³ Puurunen, R.L.⁴

8
- 13444311929
- Synthesis of titanium(IV) guanidinate complexes and the formation of titanium carbonitride via low-pressure chemical vapor deposition
- DOI 10.1021/ic049013u
- C. J. Carmalt, A. C. Newport, S. A. O'Neill, I. P. Parkin, A. J. P. White, D. J. Williams, Inorg. Chem. 2005, 44, 615. doi:10.1021/IC049013U (Pubitemid 40204212)
- (2005) Inorganic Chemistry , vol.44 , Issue.3 , pp. 615-619
- Carmalt, C.J.¹ Newport, A.C.² O'Neill, S.A.³ Parkin, I.P.⁴ White, A.J.P.⁵ Williams, D.J.⁶

9
- 17444387436
- The insertion of carbodiimides into Al and Ga amido linkages. Guanidinates and mixed amido guanidinates of aluminum and gallium
- DOI 10.1021/ic048433g
- A. P. Kenney, G. P. A. Yap, D. S. Richeson, S. T. Barry, Inorg. Chem. 2005, 44, 2926. doi:10.1021/IC048433G (Pubitemid 40544995)
- (2005) Inorganic Chemistry , vol.44 , Issue.8 , pp. 2926-2933
- Kenney, A.P.¹ Yap, G.P.A.² Richeson, D.S.³ Barry, S.T.⁴

10
- 77949379113
- doi:10.1021/IC902247W
- J. P. Coyle, P. A. Johnson, G. A. DiLabio, S. T. Barry, J. Müller, Inorg. Chem. 2010, 49, 2844. doi:10.1021/IC902247W
- (2010) Inorg. Chem , vol.49 , pp. 2844
- Coyle, J.P.¹ Johnson, P.A.² Dilabio, G.A.³ Barry, S.T.⁴ Müller, J.⁵

11
- 79952748654
- doi:10.1021/CM102840V
- T. B. Thiede, M. Krasnopolski, A. P. Milanov, T. de los Arcos, A. Ney, H.-W. Becker, D. Rogalla, J. Winter, A. Devi, R. A. Fischer, Chem. Mater. 2011, 23, 1430. doi:10.1021/CM102840V
- (2011) Chem. Mater , vol.23 , pp. 1430
- Thiede, T.B.¹ Krasnopolski, M.² Milanov, A.P.³ De Arcos Los, T.⁴ Ney, A.⁵ Becker, H.-W.⁶ Rogalla, D.⁷ Winter, J.⁸ Devi, A.⁹ Fischer, R.A.¹⁰

12
- 76549103143
- T. A. Mih, S. Paul, A. P. Milanov, R. Bhakta, A. Devi, ECS Trans. 2009, 25, 901.
- (2009) ECS Trans , vol.25 , pp. 901
- Mih, T.A.¹ Paul, S.² Milanov, A.P.³ Bhakta, R.⁴ Devi, A.⁵

13
- 84875181968
- doi:10.1002/CVDE.201206996
- S. J. Kim, K. Xu, H. Parala, R. Beranek, M. Bledowski, K. Sliozberg, H.-W. Becker, D. Rogalla, D. Barreca, C. Maccato, C. Sada, W. Schuhmann, R. A. Fischer, A. Devi, Chem. Vap. Depos. 2013, 19, 45. doi:10.1002/CVDE.201206996
- (2013) Chem. Vap. Depos , vol.19 , pp. 45
- Kim, S.J.¹ Xu, K.² Parala, H.³ Beranek, R.⁴ Bledowski, M.⁵ Sliozberg, K.⁶ Becker, H.-W.⁷ Rogalla, D.⁸ Barreca, D.⁹ Maccato, C.¹⁰ Sada, C.¹¹ Schuhmann, W.¹² Fischer, R.A.¹³ Devi, A.¹⁴

14
- 77951533605
- doi:10.1002/ EJIC.200901225
- K. Xu, A. P. Milanov, M. Winter, D. Barreca, A. Gasparotto, H.-W. Becker, A. Devi, Eur. J. Inorg. Chem. 2010, 1679. doi:10.1002/ EJIC.200901225
- (2010) Eur. J. Inorg. Chem , pp. 1679
- Xu, K.¹ Milanov, A.P.² Winter, M.³ Barreca, D.⁴ Gasparotto, A.⁵ Becker, H.-W.⁶ Devi, A.⁷

15
- 76549110028
- M. Eleter, S. Daniele, V. Brize, C. Dubourdieu, C. Lachaud, N. Blasco, A. Pinchart, ECS Trans. 2009, 25, 151.
- (2009) ECS Trans , vol.25 , pp. 151
- Eleter, M.¹ Daniele, S.² Brize, V.³ Dubourdieu, C.⁴ Lachaud, C.⁵ Blasco, N.⁶ Pinchart, A.⁷

16
- 72249111969
- doi:10.1021/JA907952G
- A. P. Milanov, T. B. Thiede, A. Devi, R. A. Fischer, J. Am. Chem. Soc. 2009, 131, 17062. doi:10.1021/JA907952G
- (2009) J. Am. Chem. Soc , vol.131 , pp. 17062
- Milanov, A.P.¹ Thiede, T.B.² Devi, A.³ Fischer, R.A.⁴

17
- 84868136475
- doi:10.1039/C2DT31219K
- A. P. Milanov, K. Xu, S. Cwik, H. Parala, T. de los Arcos, H.-W. Becker, D. Rogalla, R. Cross, S. Paul, A. Devi, Dalton Trans. 2012, 13936. doi:10.1039/C2DT31219K
- (2012) Dalton Trans , pp. 13936
- Milanov, A.P.¹ Xu, K.² Cwik, S.³ Parala, H.⁴ De Arcos Los, T.⁵ Becker, H.-W.⁶ Rogalla, D.⁷ Cross, R.⁸ Paul, S.⁹ Devi, A.¹⁰

18
- 38949184909
- doi:10.1021/IC701317Y
- J. P. Coyle, W. H. Monillas, G. P. A. Yap, S. T. Barry, Inorg. Chem. 2008, 47, 683. doi:10.1021/IC701317Y
- (2008) Inorg. Chem , vol.47 , pp. 683
- Coyle, J.P.¹ Monillas, W.H.² Yap, G.P.A.³ Barry, S.T.⁴

19
- 80155162520
- doi:10.1364/OME.1.000128
- L.-Y. Shao, J. P. Coyle, S. T. Barry, J. Albert, Opt. Mater. Express 2011, 1, 128. doi:10.1364/OME.1.000128
- (2011) Opt. Mater. Express , vol.1 , pp. 128
- Shao, L.-Y.¹ Coyle, J.P.² Barry, S.T.³ Albert, J.⁴

20
- 84884832151
- doi:10.1021/CM401707H
- T. Kim, Y. Yao, J. P. Coyle, T. Barry, F. Zaera, Chem. Mater. 2013, 25, 3630. doi:10.1021/CM401707H
- (2013) Chem. Mater , vol.25 , pp. 3630
- Kim, T.¹ Yao, Y.² Coyle, J.P.³ Barry, T.⁴ Zaera, F.⁵

21
- 84890505196
- doi:10.1039/C3DT52746H
- M. Gebhard, M. Hellwig, H. Parala, K. Xu, M. Winter, A. Devi, Dalton Trans. 2014, 937. doi:10.1039/C3DT52746H
- (2014) Dalton Trans , pp. 937
- Gebhard, M.¹ Hellwig, M.² Parala, H.³ Xu, K.⁴ Winter, M.⁵ Devi, A.⁶

22
- 72149133670
- doi:10.1021/ CM902123M
- A. P. Milanov, T. Toader, H. Parala, D. Barreca, A. Gasparotto, C. Bock, H.-W. Becker, D. K. Ngwashi, R. Cross, S. Paul, U. Kunze, R. A. Fischer, A. Devi, Chem. Mater. 2009, 21, 5443. doi:10.1021/ CM902123M
- (2009) Chem. Mater , vol.21 , pp. 5443
- Milanov, A.P.¹ Toader, T.² Parala, H.³ Barreca, D.⁴ Gasparotto, A.⁵ Bock, C.⁶ Becker, H.-W.⁷ Ngwashi, D.K.⁸ Cross, R.⁹ Paul, S.¹⁰ Kunze, U.¹¹ Fischer, R.A.¹² Devi, A.¹³

23
- 76549107701
- A. P. Milanov, T. Thiede, M. Hellwig, H. Parala, C. Bock, H.-W. Becker, D. Ngwashi, R. Cross, S. Paul, U. Kunze, R. Fischer, A. Devi, ECS Trans. 2009, 25, 143.
- (2009) ECS Trans , vol.25 , pp. 143
- Milanov, A.P.¹ Thiede, T.² Hellwig, M.³ Parala, H.⁴ Bock, C.⁵ Becker, H.-W.⁶ Ngwashi, D.⁷ Cross, R.⁸ Paul, S.⁹ Kunze, U.¹⁰ Fischer, R.¹¹ Devi, A.¹²

24
- 78649949965
- doi:10.1088/ 0268-1242/25/10/105001
- R. Ranjith, A. Laha, E. Bugiel, H. J. Osten, K. Xu, A. P. Milanov, A. Devi, Semicond. Sci. Technol. 2010, 25, 105001. doi:10.1088/ 0268-1242/25/10/105001
- (2010) Semicond. Sci. Technol , vol.25 , pp. 105001
- Ranjith, R.¹ Laha, A.² Bugiel, E.³ Osten, H.J.⁴ Xu, K.⁵ Milanov, A.P.⁶ Devi, A.⁷

25
- 84857512595
- doi:10.1021/CM2020862
- K. Xu, R. Ranjith, A. Laha, H. Parala, A. P. Milanov, R. A. Fischer, E. Bugiel, J. Feydt, S. Irsen, T. Toader, C. Bock, D. Rogalla, H.-J. Osten, U. Kunze, A. Devi, Chem. Mater. 2012, 24, 651. doi:10.1021/CM2020862
- (2012) Chem. Mater , vol.24 , pp. 651
- Xu, K.¹ Ranjith, R.² Laha, A.³ Parala, H.⁴ Milanov, A.P.⁵ Fischer, R.A.⁶ Bugiel, E.⁷ Feydt, J.⁸ Irsen, S.⁹ Toader, T.¹⁰ Bock, C.¹¹ Rogalla, D.¹² Osten, H.-J.¹³ Kunze, U.¹⁴ Devi, A.¹⁵

26
- 66149153051
- doi:10.1002/EJIC.200900177
- T. Chen, W. Hunks, P. S. Chen, G. T. Stauf, T. M. Cameron, C. Xu, A. G. DiPasquale, A. L. Rheingold, Eur. J. Inorg. Chem. 2009, 2047. doi:10.1002/EJIC.200900177
- (2009) Eur. J. Inorg. Chem , pp. 2047
- Chen, T.¹ Hunks, W.² Chen, P.S.³ Stauf, G.T.⁴ Cameron, T.M.⁵ Xu, C.⁶ Dipasquale, A.G.⁷ Rheingold, A.L.⁸

27
- 74549211793
- doi:10.1021/ OM900801W
- T. Chen, W. Hunks, P. S. Chen, C. Xu, A. G. DiPasquale, A. L. Rheingold, Organometallics 2010, 29, 501. doi:10.1021/ OM900801W
- (2010) Organometallics , vol.29 , pp. 501
- Chen, T.¹ Hunks, W.² Chen, P.S.³ Xu, C.⁴ Dipasquale, A.G.⁵ Rheingold, A.L.⁶

28
- 77955425078
- doi:10.1016/J.POLY.2010.05.023
- M. Eleter, L. G. Hubert-Pfalzgraf, S. Daniele, G. Pilet, B. Tinant, Polyhedron 2010, 29, 2522. doi:10.1016/J.POLY.2010.05.023
- (2010) Polyhedron , vol.29 , pp. 2522
- Eleter, M.¹ Hubert-Pfalzgraf, L.G.² Daniele, S.³ Pilet, G.⁴ Tinant, B.⁵

29
- 74949103239
- doi:10.1021/CM9009767
- T. Chen, C. Xu, T. H. Baum, G. T. Stauf, J. F. Roeder, A. G. DiPasquale, A. L. Rheingold, Chem. Mater. 2010, 22, 27. doi:10.1021/CM9009767
- (2010) Chem. Mater , vol.22 , pp. 27
- Chen, T.¹ Xu, C.² Baum, T.H.³ Stauf, G.T.⁴ Roeder, J.F.⁵ Dipasquale, A.G.⁶ Rheingold, A.L.⁷

30
- 76549117722
- T. Thiede, V. Gwildies, L. Alsamann, D. Rische, R. Fischer, ECS Trans. 2009, 25, 593.
- (2009) ECS Trans , vol.25 , pp. 593
- Thiede, T.¹ Gwildies, V.² Alsamann, L.³ Rische, D.⁴ Fischer, R.⁵

31
- 77956132237
- doi:10.5012/BKCS.2010.31.8.2416
- Y.-S. Won, S.-S. Park, Bull. Korean Chem. Soc. 2010, 31, 2416. doi:10.5012/BKCS.2010.31.8.2416
- (2010) Bull. Korean Chem. Soc , vol.31 , pp. 2416
- Won, Y.-S.¹ Park, S.-S.²

32
- 76549119150
- C. Blackman, C. Carmalt, S. Moniz, S. E. Potts, H. Davies, D. Pugh, ECS Trans. 2009, 25, 561.
- (2009) ECS Trans , vol.25 , pp. 561
- Blackman, C.¹ Carmalt, C.² Moniz, S.³ Potts, S.E.⁴ Davies, H.⁵ Pugh, D.⁶

33
- 84882252687
- doi:10.1021/CM303703R
- M. Reiners, K. Xu, N. Aslam, A. Devi, R. Waser, S. Hoffman-Eifert, Chem. Mater. 2013, 25, 2934. doi:10.1021/CM303703R
- (2013) Chem. Mater , vol.25 , pp. 2934
- Reiners, M.¹ Xu, K.² Aslam, N.³ Devi, A.⁴ Waser, R.⁵ Hoffman-Eifert, S.⁶

34
- 84880152913
- doi:10.1039/ C3TC30401A
- K. Xu, A. R. Chaudhuri, H. Parala, D. Schwendt, T. de los Arcos, H. J. Osten, A. Devi, J. Mater. Chem. C 2013, 1, 3939. doi:10.1039/ C3TC30401A
- (2013) J. Mater. Chem. C , vol.1 , pp. 3939
- Xu, K.¹ Chaudhuri, A.R.² Parala, H.³ Schwendt, T.⁴ De Los Arcos, H.⁵ Osten, A.⁶ Devi, D.⁷

35
- 77249108388
- doi:10.1021/ IC902411H
- Y. A. Wasslen, E. Tois, S. Haukka, K. A. Kreisel, G. P. A. Yap, M. D. Halls, S. T. Barry, Inorg. Chem. 2010, 49, 1976. doi:10.1021/ IC902411H
- (2010) Inorg. Chem , vol.49 , pp. 1976
- Wasslen, Y.A.¹ Tois, E.² Haukka, S.³ Kreisel, K.A.⁴ Yap, G.P.A.⁵ Halls, M.D.⁶ Barry, S.T.⁷

36
- 79960224549
- doi:10.1002/EJIC.201100262
- T. J. J. Whitehorne, J. P. Coyle, A. Mahmood, W. H. Monillas, G. P. A. Yap, S. T. Barry, Eur. J. Inorg. Chem. 2011, 3240. doi:10.1002/EJIC.201100262
- (2011) Eur. J. Inorg. Chem , pp. 3240
- Whitehorne, T.J.J.¹ Coyle, J.P.² Mahmood, A.³ Monillas, W.H.⁴ Yap, G.P.A.⁵ Barry, S.T.⁶

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