SCOPUS 정보 검색 플랫폼

Volumn 43, Issue 3, 2014, Pages 937-940

Indium-tris-guanidinates: A promising class of precursors for water assisted atomic layer deposition of In2O3 thin films

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALD GROWTH; FILM PROPERTIES; HIGH QUALITY; HOMOLEPTIC; WATER ASSISTED;

DEPOSITION; FILM GROWTH; INDIUM; SYNTHESIS (CHEMICAL); THIN FILMS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84890505196 PISSN: 14779226 EISSN: 14779234 Source Type: Journal
DOI: 10.1039/c3dt52746h Document Type: Article

Times cited : (37)

References (22)

1
- 34247326380
- H. Hosono Thin Solid Films 2007 515 6000
- (2007) Thin Solid Films , vol.515 , pp. 6000
- Hosono, H.¹

2
- 70450200109
- T. Riedl P. Görrn W. Kowalsky J. Display Tech. 2009 5 501
- (2009) J. Display Tech. , vol.5 , pp. 501
- Riedl, T.¹ Görrn, P.² Kowalsky, W.³

3
- 84861829395
- E. Fortunato P. Barquinha R. Martins Adv. Mater. 2012 24 2945
- (2012) Adv. Mater. , vol.24 , pp. 2945
- Fortunato, E.¹ Barquinha, P.² Martins, R.³

4
- 52449126655
- H. S. Kim P. D. Byrne A. Facchetti T. J. Marks J. Am. Chem. Soc. 2008 130 12580
- (2008) J. Am. Chem. Soc. , vol.130 , pp. 12580
- Kim, H.S.¹ Byrne, P.D.² Facchetti, A.³ Marks, T.J.⁴

5
- 34247648018
- G. Golan A. Axelevitch B. Gorenstein A. Peled Appl. Surf. Sci. 2007 253 6608
- (2007) Appl. Surf. Sci. , vol.253 , pp. 6608
- Golan, G.¹ Axelevitch, A.² Gorenstein, B.³ Peled, A.⁴

6
- 4544323062
- Z. Qiao R. L. Latz D. Mergel Thin Solid Films 2004 466 250
- (2004) Thin Solid Films , vol.466 , pp. 250
- Qiao, Z.¹ Latz, R.L.² Mergel, D.³

7
- 0034605426
- S. Suh D. M. Hoffmann J. Am. Chem. Soc. 2000 122 9396
- (2000) J. Am. Chem. Soc. , vol.122 , pp. 9396
- Suh, S.¹ Hoffmann, D.M.²

8
- 0028548508
- T. Asikainen M. Ritala M. Leskelä J. Electrochem. Soc. 1994 141 3210
- (1994) J. Electrochem. Soc. , vol.141 , pp. 3210
- Asikainen, T.¹ Ritala, M.² Leskelä, M.³

9
- 68449095202
- O. Nilsen R. Balasundaraprabhu N. Muthukumarasamy H. Fjellvåg B. G. Svensson Thin Solid Films 2009 517 6320
- (2009) Thin Solid Films , vol.517 , pp. 6320
- Nilsen, O.¹ Balasundaraprabhu, R.² Muthukumarasamy, N.³ Fjellvåg, H.⁴ Svensson, B.G.⁵

10
- 33746863663
- J. W. Elam A. B. F. Martinson M. J. Pellin J. T. Hupp Chem. Mater. 2006 18 3571
- (2006) Chem. Mater. , vol.18 , pp. 3571
- Elam, J.W.¹ Martinson, A.B.F.² Pellin, M.J.³ Hupp, J.T.⁴

11
- 84890504409
- J. A. Libera J. N. Hryn J. W. Elam Chem. Mater. 2011 41 147
- (2011) Chem. Mater. , vol.41 , pp. 147
- Libera, J.A.¹ Hryn, J.N.² Elam, J.W.³

12
- 0031547019
- A. W. Ott J. M. Johnson J. W. Klaus S. M. George Appl. Surf. Sci. 1997 112 205
- (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.112 , pp. 205
- Ott, A.W.¹ Johnson, J.M.² Klaus, J.W.³ George, S.M.⁴

13
- 79961231677
- D.-J. Lee J.-Y. Kwon J. I. Lee K.-B. Kim J. Phys. Chem. 2011 115 15384
- (2011) J. Phys. Chem. , vol.115 , pp. 15384
- Lee, D.-J.¹ Kwon, J.-Y.² Lee, J.I.³ Kim, K.-B.⁴

14
- 57949107450
- A. P. Milanov R. A. Fischer A. Devi Inorg. Chem. 2008 47 11405
- (2008) Inorg. Chem. , vol.47 , pp. 11405
- Milanov, A.P.¹ Fischer, R.A.² Devi, A.³

15
- 74849103290
- A. P. Milanov K. Xu A. Laha E. Bugiel R. Ranjith D. Schwendt H. J. Osten H. Parala R. A. Fischer A. Devi J. Am. Chem. Soc. 2010 132 36
- (2010) J. Am. Chem. Soc. , vol.132 , pp. 36
- Milanov, A.P.¹ Xu, K.² Laha, A.³ Bugiel, E.⁴ Ranjith, R.⁵ Schwendt, D.⁶ Osten, H.J.⁷ Parala, H.⁸ Fischer, R.A.⁹ Devi, A.¹⁰

16
- 84857512595
- K. Xu R. Ranjith A. Laha H. Parala A. P. Milanov R. A. Fischer E. Bugiel J. Feydt S. Irsen T. Toader C. Bock D. Rogalla H.-J. Osten U. Kunze A. Devi Chem. Mater. 2009 24 651
- (2009) Chem. Mater. , vol.24 , pp. 651
- Xu, K.¹ Ranjith, R.² Laha, A.³ Parala, H.⁴ Milanov, A.P.⁵ Fischer, R.A.⁶ Bugiel, E.⁷ Feydt, J.⁸ Irsen, S.⁹ Toader, T.¹⁰ Bock, C.¹¹ Rogalla, D.¹² Osten, H.-J.¹³ Kunze, U.¹⁴ Devi, A.¹⁵

17
- 84880152913
- K. Xu A. R. Chaudhuri H. Parala D. Schwendt T. de los Arcos H.-J. Osten A. Devi J. Mater. Chem. C 2013 1 3939
- (2013) J. Mater. Chem. C , vol.1 , pp. 3939
- Xu, K.¹ Chaudhuri, A.R.² Parala, H.³ Schwendt, D.⁴ De Los Arcos, T.⁵ Osten, H.-J.⁶ Devi, A.⁷

18
- 84882252687
- M. Reiners K. Xu N. Aslam A. Devi R. Waser S. Hoffmann-Eifert Chem. Mater. 2013 25 2934
- (2013) Chem. Mater. , vol.25 , pp. 2934
- Reiners, M.¹ Xu, K.² Aslam, N.³ Devi, A.⁴ Waser, R.⁵ Hoffmann-Eifert, S.⁶

19
- 84882287984
- T. Blanquart K. Niinistö N. Aslam M. Banerjee Y. Tomczak M. Gavagnin V. Longo E. Puukilainen H. D. Wanzenboeck W. M. M. Kessels A. Devi S. Hoffmann-Eifert M. Ritala M. Leskelä Chem. Mater. 2013 25 3088
- (2013) Chem. Mater. , vol.25 , pp. 3088
- Blanquart, T.¹ Niinistö, K.² Aslam, N.³ Banerjee, M.⁴ Tomczak, Y.⁵ Gavagnin, M.⁶ Longo, V.⁷ Puukilainen, E.⁸ Wanzenboeck, H.D.⁹ Kessels, W.M.M.¹⁰ Devi, A.¹¹ Hoffmann-Eifert, S.¹² Ritala, M.¹³ Leskelä, M.¹⁴

20
- 80052739204
- S. T. Barry P. G. Gordon M. J. Ward M. J. Heikkila W. H. Monillas G. P. A. Yap M. Ritala M. Leskelä J. Chem. Soc., Dalton Trans. 2011 40 9425
- (2011) J. Chem. Soc., Dalton Trans. , vol.40 , pp. 9425
- Barry, S.T.¹ Gordon, P.G.² Ward, M.J.³ Heikkila, M.J.⁴ Monillas, W.H.⁵ Yap, G.P.A.⁶ Ritala, M.⁷ Leskelä, M.⁸

21
- 0346041156
- W. W. Molzen J. Vac. Sci. 1975 12 99
- (1975) J. Vac. Sci. , vol.12 , pp. 99
- Molzen, W.W.¹

22
- 84890532313
- Y. H. Hwang J.-S. Seo J. M. Yun H. Park S. Yang S.-H. K. Park B.-S. Bae NPG Asia Materials 2013 5 1
- (2013) NPG Asia Materials , vol.5 , pp. 1
- Hwang, Y.H.¹ Seo, J.-S.² Yun, J.M.³ Park, H.⁴ Yang, S.⁵ Park, S.-H.K.⁶ Bae, B.-S.⁷

* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.