DFT study on the gas phase decomposition of tungsten imido guanidinate complex W(NiPr)Cl3[iPrNC(NMe2)NiPr] for chemical vapor deposition of tungsten carbonitride films

Bulletin of the Korean Chemical Society

Volumn 31, Issue 8, 2010, Pages 2416-2418

  Won, Yong Sun ^a   Park, Sung Soo ^a  

^a Samsung SDI   (South Korea)

Author keywords

Density functional theory; Diffusion barrier; Guanidinate; Tungsten nitride

Indexed keywords

EID: 77956132237     PISSN: 02532964     EISSN: 12295949     Source Type: Journal    
DOI: 10.5012/bkcs.2010.31.8.2416     Document Type: Article

References (18)

1. Kaloyeros, A. E.; Eisenbraun, E. Annu. Rev. Mater. Sci. 2000, 30, 363.
2. Bchir, O. J.; Green, K. M.; Hlad, M. S.; Anderson, T. J.; Brooks, B. C.; Wilder, C. B.; Powell, D. H.; McElwee-White, L. J. Organomet. Chem. 2003, 684, 338.
3. Bchir, O. J.; Johnston, S. W.; Cuadra, A. C.; Anderson, T. J.; Ortiz C. G.; Brooks, B. C.; Powell, D. H.; McElwee-White, L. J. Cryst. Growth 2003, 249, 262.
4. Bchir, O. J.; Green, K. M.; Ajmera, H. M.; Zapp, E. A.; Anderson, T. J.; Brooks, B. C.; Reitfort, L. L.; Powell, D. H.; Abboud, K. A.; McElwee-White, L. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 7825.
5. Ajmera, H. M.; Heitsch, A. T.; Anderson, T. J.; Wilder, C. B.; Reitfort, L. L.; McElwee-White, L.; Norton, D. P. J. Vac. Sci. Technol. B 2008, 26, 1800.
6. Wilder, C. B.; Reitfort, L. L.; Abboud, K. A.; McElwee-White, L. Inorg. Chem. 2006, 45, 263.
7. Ajmera, H. M.; Anderson, T. J.; Koller, J.; McElwee-White, L.;Norton, D. P. Thin Solid Films 2009, 517, 6038.
8. Kim, D.; Kim, O. H.; Anderson, T. J.; Koller, J.; McElwee-White, L.; Leu, L. C.; Tsai, J. M.; Norton, D. P. J. Vac. Sci. Technol. 2009, 27, 943.
9. Won, Y. S.; Kim, Y. S.; Anderson, T. J.; Reitfort, L. L.; Ghiviriga, I.; McElwee-White, L. J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 13781.
10. Won, Y. S.; Kim, Y. S.; Anderson, T. J.; McElwee-White, L. Chem. Mater. 2008, 20, 7246.
11. Ajmera, H. M.; Heitsch, A. T.; Bchir, O. J.; Anderson, T. J.; Reitfort, L. L.; McElwee-White, L. J. Electrochem. Soc. 2008, 155, H829.
12. Wilder, C. B. Study of Tungsten (IV) and Tungsten (VI) Imido Complexes: Synthesis, Structural Analysis and Reactivity. Ph.D. Dissertation, University of Florida, Gainesville, 2005.
13. Reed, A. E.; Curtiss, L. A.; Weinhold, F. Chem. Rev. 1988, 88, 899.
14. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, J. A., Jr.; Vreven, T.; Kudin, K. N.; Burant, J. C.; Millam, J. M.; Iyengar, S. S.; Tomasi, J.; Barone, V.; Mennucci, B.; Cossi, M.; Scalmani, G.; Rega, N.; Petersson, G. A.; Nakatsuji, H.; Hada, M.; Ehara, M.; Toyota, K.; Fukuda, R.; Hasegawa, J.; Ishida, M.; Nakajima, T.; Honda, Y.; Kitao, O.; Nakai, H.; Klene, M.; Li, X.; Knox, J. E.; Hratchian, H. P.; Cross, J. B.; Bakken, V.; Adamo, C.; Jaramillo, J.; Gomperts, R.; Stratmann, R. E.; Yazyev, O.; Austin, A. J.; Cammi, R.; Pomelli, C.; Ochterski, J. W.; Ayala, P. Y.; Morokuma, K.; Voth, G. A.; Salvador, P.; Dannenberg, J. J.; Zakrzewski, V. G.; Dapprich, S.; Daniels, A. D.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Malick, D. K.; Rabuck A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Ortiz, J. V.; Cui, Q.; Baboul, A. G.; Clifford, S.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong, M. W.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. Gaussian 03, revision D.02; Gaussian, Inc.: Wallingford, CT, 2004.
15. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648.
16. Ditchfield, R.; Herhe, W. J.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1971, 54,724.
17. Okamoto, Y. J. Cryst. Growth 1998, 191, 405.
18. Timoshkin, A. Y.; Bettinger, H. F.; Schaefer, H. F., III. Inorg. Chem. 2002, 41, 738