High-Performance, High-Index-Contrast Chalcogenide Glass Photonics on Silicon and Unconventional Non-planar Substrates

Advanced Optical Materials

Volumn 2, Issue 5, 2014, Pages 478-486

  Zou, Yi ^a   Zhang, Danning ^a,b   Lin, Hongtao ^a   Li, Lan ^a   Moreel, Loise ^a   Zhou, Jie ^a   Du, Qingyang ^a   Ogbuu, Okechukwu ^a   Danto, Sylvain ^c   Musgraves, J David ^d   Richardson, Kathleen ^c   Dobson, Kevin D ^e   Birkmire, Robert ^a,e   Hu, Juejun ^a  

^a UNIVERSITY OF DELAWARE   (United States)

^b UNIVERSITY OF DELAWARE   (United States)

^c UNIVERSITY OF CENTRAL FLORIDA   (United States)

^d IRradiance Glass Inc   (United States)

^e UNIVERSITY OF DELAWARE   (United States)

Author keywords

Chalcogenide glasses; Flexible photonics; High index contrast; Thermal nanoimprinting

Indexed keywords

EID: 84900448279     PISSN: None     EISSN: 21951071     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adom.201300489     Document Type: Article

References (65)

1. C. A. Barrios, M. Lipson, Opt. Express 2005, 13, 10092.
2. J. J. Hu, N. Carlie, N. N. Feng, L. Petit, A. Agarwal, K. Richardson, L. Kimerling, Opt. Lett. 2008, 33, 2500.
3. Q. F. Xu, V. R. Almeida, M. Lipson, Opt. Lett. 2005, 30, 35.
4. H. Rathgen, H. L. Offerhaus, Opt. Express 2009, 17, 4268;
5. D. Rosenblatt, A. Sharon, A. A. Friesem, IEEE J. Quantum Electron. 1997, 33, 2038.
6. T. Barwicz, H. A. Haus, J. Lightwave Technol. 2005, 23, 2719;
7. T. Barwicz, H. I. Smith, J. Vac. Sci. Technol. B 2003, 21, 2892.
8. D. K. Sparacin, S. J. Spector, L. C. Kimerling, J. Lightwave Technol. 2005, 23, 2455.
9. K. K. Lee, D. R. Lim, L. C. Kimerling, J. Shin, F. Cerrina, Opt. Lett. 2001, 26, 1888.
10. M. C. M. Lee, M. C. Wu, J. Microelectromech. Syst. 2006, 15, 338.
11. S. C. Hung, E. Z. Liang, C. F. Lin, J. Lightwave Technol. 2009, 27, 887.
12. C. Y. Chao, L. J. Guo, IEEE Photonics Technol. Lett. 2004, 16, 1498.
13. J. J. Hu, N. N. Feng, N. Carlie, L. Petit, A. Agarwal, K. Richardson, L. Kimerling, Opt. Express 2010, 18, 1469.
14. R. G. DeCorby, N. Ponnampalam, H. T. Nguyen, T. J. Clement, Adv. Mater. 2007, 19, 193;
15. S. V. Dmitriev, G. Duca, I. Dementiev, A. Craciun in Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 2004, 828, 169.
16. J. S. Sanghera, I. D. Aggarwal, J. Non-Cryst. Solids 1999, 257, 6;
17. A. Zakery, S. R. Elliott, J. Non-Cryst. Solids 2003, 330, 1.
18. M. Asobe, Opt. Fiber Technol. 1997, 3, 142;
19. K. Tanaka, J. Mater. Sci.-Mater. Electron. 2005, 16, 633.
20. B. J. Eggleton, B. Luther-Davies, K. Richardson, Nat. Photonics 2011, 5, 141;
21. Y. Zou, H. T. Lin, O. Ogbuu, L. Li, S. Danto, S. Novak, J. Novak, J. D. Musgraves, K. Richardson, J. J. Hu, Opt. Mater. Express 2012, 2, 1723.
22. P. Lucas, J. Phys.-Condes. Matter 2006, 18, 5629;
23. L. Petit, N. Carlie, T. Anderson, J. Choi, M. Richardson, K. C. Richardson, IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 2008, 14, 1323.
24. J. J. Hu, Opt. Express 2010, 18, 22174;
25. H. T. Lin, Z. Yi, J. J. Hu, Opt. Lett. 2012, 37, 1304.
26. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, Science 1996, 272, 85;
27. K. Y. Suh, Y. S. Kim, H. H. Lee, Adv. Mater. 2001, 13, 1386; c) Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Angew. Chem.-Int. Ed. 1998, 37, 551.
28. S. H. Ahn, L. J. Guo, Adv. Mater. 2008, 20, 2044;
29. S. H. Ahn, L. J. Guo, ACS Nano 2009, 3, 2304;
30. C. Stuart, Y. Chen, ACS Nano 2009, 3, 2062.
31. L. J. Guo, Adv. Mater. 2007, 19, 495.
32. C. H. Chang, J. C. Montoya, M. Akilian, A. Lapsa, R. K. Heilmann, M. L. Schattenburg, M. Li, K. A. Flanagan, A. P. Rasmussen, J. F. Seely, J. M. Laming, B. Kjornrattanawanich, L. I. Goray, J. Vac. Sci. Technol. B 2004, 22, 3260;
33. C. Y. Chao, L. J. Guo, J. Vac. Sci. Technol. B 2002, 20, 2862;
34. Y. Y. Huang, G. T. Paloczi, A. Yariv, C. Zhang, L. R. Dalton, J. Phys. Chem. B 2004, 108, 8606;
35. R. Ji, M. Hornung, M. A. Verschuuren, R. Van De Laar, J. Van Eekelen, U. Plachetka, M. Moeller, C. Moormann, Microelectron. Eng. 2010, 87, 963;
36. J. Teng, S. Scheerlinck, H. B. Zhang, X. G. Jian, G. Morthier, R. Beats, X. Y. Han, M. S. Zhao, IEEE Photo-nics Technol. Lett. 2009, 21, 1323;
37. C. J. Ting, M. C. Huang, H. Y. Tsai, C. P. Chou, C. C. Fu, Nanotechnology 2008, 19, 205301.
38. J. D. Musgraves, P. Wachtel, S. Novak, J. Wilkinson, K. Richardson, J. Appl. Phys. 2011, 110, 063503.
39. T. Han, S. Madden, D. Bulla, B. Luther-Davies, Opt. Express 2010, 18, 19286;
40. Z. G. Lian, W. J. Pan, D. Furniss, T. M. Benson, A. B. Seddon, T. Kohoutek, J. Orava, T. Wagner, Opt. Lett. 2009, 34, 1234;
41. W. J. Pan, H. Rowe, D. Zhang, Y. Zhang, A. Loni, D. Furniss, P. Sewell, T. M. Benson, A. B. Seddon, Microw. Opt. Technol. Lett. 2008, 50, 1961;
42. T. Han, S. Madden, S. Debbarma, B. Luther-Davies, Opt. Express 2011, 19, 25447.
43. J. Orava, T. Kohoutek, A. L. Greer, H. Fudouzi, Opt. Mater. Express 2011, 1, 796;
44. M. Silvennoinen, K. Paivasaari, J. J. J. Kaakkunen, V. K. Tikhomirov, A. Lehmuskero, P. Vahimaa, V. V. Moshchalkov, Appl. Surf. Sci. 2011, 257, 6829;
45. M. Solmaz, H. Park, C. K. Madsen, X. Cheng, J. Vac. Sci. Technol. B 2008, 26, 606.
46. I. Yamada, N. Yamashita, K. Tani, T. Einishi, M. Saito, K. Fukumi, J. Nishii, Opt. Lett. 2011, 36, 3882.
47. C. Peng, X. G. Liang, Z. L. Fu, S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 2007, 25, 410;
48. A. Schleunitz, H. Schift, J. Micromech. Microeng. 2010, 20, 095002;
49. H. Schift, C. Spreu, A. Schleunitz, J. Lee, Microelectron. Eng. 2011, 88, 87.
50. C. Tsay, Y. L. Zha, C. B. Arnold, Opt. Express 2010, 18, 26744.
51. J. J. Hu, V. Tarasov, N. Carlie, L. Petit, A. Agarwal, K. Richardson, L. Kimerling, Optical Materials 2008, 30, 1560;
52. W. Y. Li, S. Seal, C. Rivero, C. Lopez, K. Richardson, A. Pope, A. Schulte, S. Myneni, H. Jain, K. Antoine, A. C. Miller, J. Appl. Phys. 2005, 98, 053503.
53. V. Kovanda, M. Vlcek, H. Jain, J. Non-Cryst. Solids 2003, 326, 88.
54. A. Kovalskiy, J. Cech, M. Vlcek, C. M. Waits, M. Dubey, W. R. Heffner, H. Jain, J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS 2009, 8, 043012.
55. W. B. Young, Microelectron. Eng. 2005, 77, 405.
56. G. S. Fulcher, J. Am. Ceram. Soc. 1925, 8, 339.
57. M. Micoulaut, J. C. Phillips, Phys. Rev. B 2003, 67, 104204.
58. V. V. Brazhkin, A. G. Gavrilyuk, A. G. Lyapin, Y. A. Timofeev, Y. Katayama, S. Kohara, Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 031912.
59. T. Han, S. Madden, M. Zhang, R. Charters, B. Luther-Davies, Opt. Express 2009, 17, 2623.
60. J. J. Hu, N. Carlie, L. Petit, A. Agarwal, K. Richardson, L. Kimerling, Opt. Lett. 2008, 33, 761.
61. N. N. Feng, G. R. Zhou, C. L. Xu, W. P. Huang, J. Lightwave Technol. 2002, 20, 1976.
62. J. P. R. Lacey, F. P. Payne, IEE Proc. J. 1990, 137, 282.
63. L. Fan, L. T. Varghese, Y. Xuan, J. Wang, B. Niu, M. H. Qi, Opt. Express 2012, 20, 20564.
64. L. Petit, N. Carlie, F. Adamietz, M. Couzi, V. Rodriguez, K. C. Richardson, Mater. Chem. Phys. 2006, 97, 64;
65. J. J. Hu, V. Tarasov, A. Agarwal, L. Kimerling, N. Carlie, L. Petit, K. Richardson, Opt. Express 2007, 15, 2307.