High-speed roll-to-roll nanoimprint lithography on flexible plastic substrates

Advanced Materials

Volumn 20, Issue 11, 2008, Pages 2044-2049

  Ahn, Se Hyun ^a   Guo, L Jay ^a  

^a UNIVERSITY OF MICHIGAN   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ABS RESINS; MOLDS; NANOIMPRINT LITHOGRAPHY; PLASTICS;

APPLICATIONS.; DEFECT GENERATIONS; FEATURE SIZES; FLEXIBLE PLASTIC SUBSTRATES; MOVING DIRECTIONS; NANOPATTERNING; NEW TECHNOLOGIES; POLYMER PATTERNS; PROCESS THROUGHPUTS;

SUBSTRATES;

EID: 55149110583     PISSN: 09359648     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.200702650     Document Type: Article

References (23)

1. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom. Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114.
2. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom. Science 1996, 272, 85.
3. L. J. Guo, Adv. Mater. 2007, 19, 495.
4. W. Zhang, S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 1632.
5. D. Pisignano, L. Persano, M. F. Raganato, P. Visconti, R. Cingolani, G. Barbarella, L. Favaretto, G. Gigli, Adv. Mater. 2004 16, 525.
6. M.-S. Kim, J.-S. Kim, J. Cho, M. Stein, L. J. Guo, J. Kim, Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 123113.
7. W. Wu, B. Cui, X. Sun, W. Zhang, L. Zhuang, L. Kong, S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 3825.
8. J. I. Martin, J. Nogues, K. Liu, J. L. Vicent, I. K. Schuller, J. Magn. Magn. Mater. 2003, 256, 449.
9. H. Cao, Z. N. Yu, J. Wang, J. O. Tegenfeldt, R. H. Austin, E. Chen, W. Wu, S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 174.
10. L. J. Guo, X. Cheng, C. F. Chou, Nano Lett. 2004, 4, 69.
11. D. Falconnet, D. Pasqui, S. Park, R. Eckert, H. Schift, J. Gobrecht, R. Barbucci, M. Textor, Nano Lett. 2004, 4, 1909.
12. J. D. Hoff, L. J. Cheng, E. Meyhofer, L. J. Guo, A. J. Hunt, Nano Lett. 2004, 4, 853.
13. H. Tan, A. Gilbertson, S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 3926.
14. L.-R. Bao, X. Cheng, X. D. Huang, L. J. Guo, S. W. Pang, A. F. Yee, J. Vac. Sci. Technol. B 2002, 20, 2881.
15. J. Zaumseil, M. A. Meitl, J. W. P. Hsu, B. R. Acharya, K. W. Baldwin, Y.-L. Loo, J. A. Rogers. Nano Lett. 2003, 3, 1223.
16. D. Suh, S.-J. Choi, H. H. Lee, Adv. Mater. 2005, 17, 1554.
17. G. B. Onoa, T. B. O'Reilly, M. E. Walsh, H. I. Smith, Nanotechnol. 2005, 12, 2799.
18. S. Ahn, K. Lee, J. Kim, S. H. Kim, J. Park, S. H. Lee, P. Yoon, Microelectron. Eng. 2005, 78-79, 314.
19. C. P.-Hernandez, J.-S. Kim, L. J. Guo, P.-F. Fu, Adv. Mater. 2007, 19, 1222.
20. X. Cheng, L. J. Guo, P.-F. Fu, Adv. Mater. 2005, 17, 1419.
21. M. Colburn, S. C. Johnson, M. D. Stewart, S. Damle, T. C. Bailey, B. Choi, M. Wedlake, T. B. Michaelson, S. V. Sreenivasan, J. G. Ekerdt, C. G. Willson, Proc. SPIE-Int. Soc. Opt. Eng. 1999, 3676, 379.
22. Y. Ekinci, H. H. Solak, C. David, H. Sigg, Opt. Express 2006, 14, 2323.
23. S. H. Ahn, J.-S. Kim, L. J. Guo, J. Vac. Sci. Technol. B 2007, 25, 2388.