Nanomechanical oscillators fabricated using polymeric nanofiber templates

Nano Letters

Volumn 4, Issue 3, 2004, Pages 437-439

  Czaplewski, David A ^a   Verbridge, Scott S ^a   Kameoka, Jun ^a   Craighead, H G ^a  

^a Cornell University ^*  (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

POLY(METHYL METHACRYLATE); POLYMER; SILICON NITRIDE;

ARTICLE; CHEMICAL STRUCTURE; CHEMISTRY; DEVICE; FIBER; INTERFEROMETRY; LASER; NANOPARTICLE; NANOTECHNOLOGY; OSCILLATION; OSCILLATOR;

EID: 1642528436     PISSN: 15306984     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl035149y     Document Type: Article

References (15)

1. Fennimore, A. M.; Yuzvinsky, T. D.; Han, W.; Fuhrer, M. S.; Cumings, J.; Zetti, A. Nature 2003, 424, 408-410.
2. Ilic, B.; Czaplewski, D. A.; Zalalutdinov, M.; Craighead, H. G.; Neuzil, P.; Campagnolo, C.; Batt, C. J. Vac. Sci. Technol. 2001, B19(6), 2825-2828.
3. Lavrik, N.; Datskos, P. G. Appl. Phys. Lett. 2003, 82(16), 2697-2699.
4. Evoy, S.; Olkhovets, A.; Sekaric, L.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G.; Carr, D. W. Appl. Phys. Lett. 2000, 77(15), 2397-2399.
5. Cleland, N.; Roukes, M. L. J. Appl. Phys. 2002, 92(5), 2758-2769.
6. Sekaric, L.; Zalalutdinov, M.; Bhiladvala, R. B.; Zehnder, A. T.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G. Appl. Phys. Lett. 2002, 81(14), 2641-2643.
7. Carr, D. W.; Craighead, H. G. J. Vac. Sci. Technol. 1997, B15(6), 2760-2763.
8. Sekaric, L.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G.; Feygelson, T.; Houston, B. H.; Butler, J. E. Appl. Phys. Lett. 2002, 81(23), 4455-4457.
9. Czaplewski, D. A.; Kameoka, J.; Craighead, H. G. J. Vac. Sci. Technol. 2003, B21(6), 2994-2997.
10. Kameoka, J.; Orth, R.; Yang, Y.; Czaplewski, D. A.; Mathers, R.; Coates, G. W.; Craighead, H. G. Nanotechnol. 2003, 14(10), 1124-1129.
11. Czaplewski, D. A.; Kameoka, J.; Mathers, R.; Coates, G. W.; Craighead, H. G. Appl. Phys. Lett. 2003, 83(23), 4836-4838.
12. Aubin, K.; Zalalutdinov, M.; Alan, T.; Reichenbach, R.; Rand, R.; Zehnder, A.; Parpia, J.; Craighead, H., submitted to JMEMS.
13. Zalalutdinov, M.; Zehnder, A.; Olkhovets, A.; Turner, S.; Sekaric, L.; Ilic, B.; Czaplewski, D.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G. Appl. Phys. Lett. 2001, 79(5), 695-697.
14. Sekaric, L.; Carr, D. W.; Evoy, S.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G. Sens. Actuators, A 2002, 101, 215-219.
15. Ilic, B.; Czaplewski, D. A.; Zalalutdinov, M.; Craighead, H. G.; Neuzil, P.; Campagnolo, C.; Batt, C. Appl. Phys. Lett. 2000, 77(3), 450-452.