메뉴 건너뛰기




Volumn 88, Issue 1, 2006, Pages

The structure of the SiO2/Si(100) interface from a restraint-free search using computer simulations

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL BONDS; COMPUTER SIMULATION; MOLECULAR DYNAMICS; OXIDATION; SILICON COMPOUNDS; STABILITY; STOICHIOMETRY;

EID: 33645520309     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2158520     Document Type: Article
Times cited : (29)

References (44)
  • 3
    • 0039436914 scopus 로고    scopus 로고
    • M. L. Green, E. P. Gusev, R. Degraeve, and E. L. Garfunkel, J. Appl. Phys. 90, 2057 (2001);
    • (2001) J. Appl. Phys. , vol.90 , pp. 2057
    • Green, M.L.1
  • 4
    • 0001249642 scopus 로고    scopus 로고
    • G. Lucovsky, Y. Wu, H. Niimi, H. Yang, J. Keister, and J. E. Rowe, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 1163 (2000);
    • (2000) J. Vac. Sci. Technol. A , vol.18 , pp. 1163
    • Lucovsky, G.1
  • 5
    • 0141886926 scopus 로고    scopus 로고
    • C. McGuiness, D. Fu, J. E. Downes, and K. E. Smith, J. Appl. Phys. 94, 3919 (2003).
    • (2003) J. Appl. Phys. , vol.94 , pp. 3919
    • McGuiness, C.1
  • 6
    • 0034739021 scopus 로고    scopus 로고
    • See, e.g., A. I. Kingon, J.-P. Maria, and S. K. Streiffer, Nature (London) 406, 1032 (2000);
    • (2000) Nature (London) , vol.406 , pp. 1032
    • Kingon, A.I.1
  • 7
    • 0035872897 scopus 로고    scopus 로고
    • G. D. Wilk, R. M. Wallace, and J. M. Anthony, J. Appl. Phys. 89, 5243 (2001).
    • (2001) J. Appl. Phys. , vol.89 , pp. 5243
    • Wilk, G.D.1
  • 8
    • 3343006353 scopus 로고
    • F. J. Himpsel, F. R. McFeely, A. Taleb-Ibrahimi, J. A. Yarmoff, and G. Hollinger, Phys. Rev. B 38, 6084 (1988).
    • (1988) Phys. Rev. B , vol.38 , pp. 6084
    • Himpsel, F.J.1
  • 9
    • 0000886539 scopus 로고    scopus 로고
    • A. Pasquarello, M. S. Hybertsen, and R. Car, Phys. Rev. B 53, 10942 (1996).
    • (1996) Phys. Rev. B , vol.53 , pp. 10942
    • Pasquarello, A.1
  • 10
    • 0001743010 scopus 로고    scopus 로고
    • R. Buczko, S. J. Pennycook, and S. T. Pantelides, Phys. Rev. Lett. 84, 943 (2000).
    • (2000) Phys. Rev. Lett. , vol.84 , pp. 943
    • Buczko, R.1
  • 12
    • 0034670858 scopus 로고    scopus 로고
    • N. Ikarashi, K. Watanabe, and Y. Miyamoto, Phys. Rev. B 62, 15989 (2000);
    • (2000) Phys. Rev. B , vol.62 , pp. 15989
    • Ikarashi, N.1
  • 14
    • 10744227730 scopus 로고    scopus 로고
    • I. Takahashi, T. Kada, K. Inoue, A. Kitahara, H. Shimazu, N. Tanaka, H. Terauchi, S. Doi, K. Nomura, N. Awaji, and S. Komiya, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 42, 7493 (2003);
    • (2003) Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 , vol.42 , pp. 7493
    • Takahashi, I.1
  • 15
    • 0001237959 scopus 로고    scopus 로고
    • N. Awaji, Y. Sugita, Y. Horii, and I. Takahashi, Appl. Phys. Lett. 74, 2669 (1999).
    • (1999) Appl. Phys. Lett. , vol.74 , pp. 2669
    • Awaji, N.1
  • 16
    • 0001706688 scopus 로고    scopus 로고
    • Y. Tu and J. Tersoff, Phys. Rev. Lett. 84, 4393 (2000).
    • (2000) Phys. Rev. Lett. , vol.84 , pp. 4393
    • Tu, Y.1
  • 18
    • 33645518501 scopus 로고    scopus 로고
    • submitted
    • S. Billeter, D. Fischer, A. Curioni, and W. Andreoni, Phys. Rev. B (submitted).
    • Phys. Rev. B
    • Billeter, S.1
  • 22
    • 33645516817 scopus 로고    scopus 로고
    • These calculations used the code CPMD; Copyright IBM Corp 1990-2005, MPI für Festkörperforschung Stuttgart 1997-2001
    • These calculations used the code CPMD; Copyright IBM Corp 1990-2005, MPI für Festkörperforschung Stuttgart 1997-2001 〈 http://www.cpmd org 〉
  • 23
    • 3242714322 scopus 로고    scopus 로고
    • D. Fischer, A. Curioni, S. Billeter, and W. Andreoni, Phys. Rev. Lett. 92, 236405 (2005).
    • (2005) Phys. Rev. Lett. , vol.92 , pp. 236405
    • Fischer, D.1
  • 24
  • 25
    • 0001540086 scopus 로고    scopus 로고
    • K. O. Ng and D. Vanderbilt, Phys. Rev. B 59, 10132 (1999).
    • (1999) Phys. Rev. B , vol.59 , pp. 10132
    • Ng, K.O.1
  • 26
  • 28
    • 0031212955 scopus 로고    scopus 로고
    • F. Rochet, C. Poncey, G. Dufour, H. Roulet, C. Guillot, and F. Sirotti, J. Non-Cryst. Solids 216, 148 (1997).
    • (1997) J. Non-Cryst. Solids , vol.216 , pp. 148
    • Rochet, F.1
  • 29
    • 33645524968 scopus 로고    scopus 로고
    • Defects are not included in this classification
    • Defects are not included in this classification.
  • 30
    • 0034894442 scopus 로고    scopus 로고
    • J. H. Oh, H. W. Yeom, Y. Hagimoto, K. Ono, M. Oshima, N. Hirashita, M. Nywa, and A. Toriumi, Phys. Rev. B 63, 205310 (2001).
    • (2001) Phys. Rev. B , vol.63 , pp. 205310
    • Oh, J.H.1
  • 31
    • 0000269564 scopus 로고    scopus 로고
    • K. T. Queeney, M. K. Weldon, J. P. Chang, Y. J. Chabal, A. B. Gurevich, J. Sapjeta, and R. L. Opila, J. Appl. Phys. 87, 1322 (2000).
    • (2000) J. Appl. Phys. , vol.87 , pp. 1322
    • Queeney, K.T.1
  • 33
    • 0033600230 scopus 로고    scopus 로고
    • D. A. Muller, T. Sorsch, S. Moccio, F. H. Baumann, K. Evans-Lutterodt, and G. Timp, Nature (London) 399, 758 (1999).
    • (1999) Nature (London) , vol.399 , pp. 758
    • Muller, D.A.1
  • 34
    • 0031547317 scopus 로고    scopus 로고
    • S. Miyazaki, H. Nishimura, M. Fukuda, L. Ley, and J. Ristein, Appl. Surf. Sci. 113, 585 (1997).
    • (1997) Appl. Surf. Sci. , vol.113 , pp. 585
    • Miyazaki, S.1
  • 35
    • 33645501630 scopus 로고    scopus 로고
    • I. Jimenez and J. L. Sacedon, Surf. Sci. 272, 482 (2001).
    • (2001) Surf. Sci. , vol.272 , pp. 482
    • Jimenez, I.1
  • 36
    • 1242329858 scopus 로고    scopus 로고
    • K. T. Queeney, N. Herbots, J. M. Shaw, V. Atluri, and Y. J. Chabal, Appl. Phys. Lett. 84, 493 (2004).
    • (2004) Appl. Phys. Lett. , vol.84 , pp. 493
    • Queeney, K.T.1
  • 37
    • 0030564530 scopus 로고    scopus 로고
    • Y. Sugita, S. Watanabe, N. Awaji, and S. Komiya, Appl. Surf. Sci. 100, 268 (1996).
    • (1996) Appl. Surf. Sci. , vol.100 , pp. 268
    • Sugita, Y.1
  • 39
    • 17544370065 scopus 로고    scopus 로고
    • S. Dreiner, M. Schuermann, and C. Westphal, Phys. Rev. Lett. 93, 126101 (2004);
    • (2004) Phys. Rev. Lett. , vol.93 , pp. 126101
    • Dreiner, S.1
  • 41
    • 0032615232 scopus 로고    scopus 로고
    • L. G. Gosset, J. J. Ganem, H. J. von Bardeleben, S. Rigo, I. Trimaille, J. L. Cantin, T. Akermark, and I. C. Vickridge, J. Appl. Phys. 85, 3661 (1999);
    • (1999) J. Appl. Phys. , vol.85 , pp. 3661
    • Gosset, L.G.1


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.