Elementary processes in plasma-surface interaction: H-atom and ion-induced chemisorption of methyl on hydrocarbon film surfaces

Progress in Surface Science

Volumn 76, Issue 1-2, 2004, Pages 21-54

  Von Keudell, Achim ^a   Jacob, Wolfgang ^b  

^a RUHR UNIVERSITY BOCHUM   (Germany)

^b MAX PLANCK INSTITUT FÜR PLASMAPHYSIK   (Germany)

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CHEMISORPTION; DISSOCIATION; FILM GROWTH; MONOMERS; PLASMAS; THIN FILMS;

FIML FORMATION; HYDROCARBON FILM SURFACES; PLASMA-SURFACE INTERACTION;

SURFACE CHEMISTRY;

EID: 3342926247     PISSN: 00796816     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.progsurf.2004.05.001     Document Type: Review

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