Defect engineering in germanium

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

Volumn 211, Issue 1, 2014, Pages 109-117

  Bracht, Hartmut ^a  

^a UNIVERSITY OF MÜNSTER   (Germany)

Author keywords

arsenic; boron; germanium; phosphorus; self interstitials; vacancies

Indexed keywords

DEVICE FABRICATIONS; DOPANT DEACTIVATION; ELECTRONIC NANODEVICES; EXPERIMENTAL CONDITIONS; NANOELECTRONIC DEVICES; NONEQUILIBRIUM CONDITIONS; SELF-INTERSTITIALS; THERMAL EQUILIBRIUMS;

ARSENIC; BORON; DEFECTS; DIFFUSION; DOPING (ADDITIVES); PHOSPHORUS; POINT DEFECTS; VACANCIES;

GERMANIUM;

EID: 84892850959     PISSN: 18626300     EISSN: 18626319     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssa.201300151     Document Type: Article

References (62)

1. C. Claeys, and, E. Simoen, (eds.), Germanium-Based Technologies-From Materials to Devices (Elsevier, Amsterdam, 2007).
2. D. P. Brunco, B. De Jaeger, G. Eneman, J. Mitard, G. Hellings, A. Satta, V. Terzieva, L. Souriau, F. E. Leys, G. Pourtois, M. Houssa, G. Winderickx, E. Vrancken, S. Sioncke, K. Opsomer, G. Nicholas, M. Caymax, A. Stesmans, J. Van Steenbergen, P. W. Mertens, M. Meuris, and, M. M. Heyns, J. Electrochem. Soc. 155, H552 (2008).
3. E. Simoen, J. Mitard, G. Hellings, G. Eneman, B. De Jaeger, L. Witters, B. Vincent, R. Loo, A. Delabie, S. Sioncke, M. Caymax, and, C. Claeys, Mater. Sci. Semicond. Process. 15, 588 (2012).
4. S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices (John Wiley and Sons, New York, 2001).
5. H. Bracht, H. H. Silvestri, I. D. Sharp, and, E. E. Haller, Phys. Rev. B 75, 035211 (2007).
6. H. Bracht, and, S. Brotzmann, Mater. Sci. Semicond. Process. 9, 471 (2006).
7. S. Brotzmann, H. Bracht, J. Lundsgaard Hansen, A. Nylandsted Larsen, E. Simoen, E. E. Haller, J. S. Christensen, and, P. Werner, Phys. Rev. B. 77, 235207 (2008).
8. M. Naganawa, Y. Shimizu, M. Uematsu, K. M. Itoh, K. Sawano, Y. Shiraki, and, E. E. Haller, Appl. Phys. Lett. 93, 191905 (2008).
9. S. Brotzmann, and, H. Bracht, J. Appl. Phys. 103, 033508 (2008).
10. I. Riihimäki, A. Virtanen, S. Rinta-Anttila, P. Pusa, J. Räisänen, and The ISOLDE Collaboration, Appl. Phys. Lett. 91, 091922 (2007).
11. R. Kube, H. Bracht, A. Chroneos, M. Posselt, and, B. Schmidt, J. Appl. Phys. 106, 063534 (2009).
12. E. Hüger, U. Tietze, D. Lott, H. Bracht, D. Bougeard, E. E. Haller, and, H. Schmidt, Appl. Phys. Lett. 93, 162104 (2008).
13. H. Bracht, S. Schneider, J. N. Klug, C. Y. Liao, J. Lundsgaard Hansen, E. E. Haller, A. Nylandsted Larsen, D. Bougeard, M. Posselt, and, C. Wündisch, Phys. Rev. Lett. 103, 255501 (2009).
14. E. Bruno, S. Mirabella, G. Scapellato, G. Impellizzeri, A. Terrasi, F. Priolo, E. Napolitani, D. De Salvador, M. Mastromatteo, and, A. Carnera, Phys. Rev. B. 80, 033204 (2009).
15. E. Napolitani, G. Bisognin, E. Bruno, M. Mastromatteo, G. G. Scapellato, S. Boninelli, D. De Salvador, S. Mirabella, C. Spinella, A. Carnera, and, F. Priolo, Appl. Phys. Lett. 96, 201906 (2010).
16. H. Bracht, S. Schneider, and, R. Kube, Microelectron. Eng. 88, 452 (2011).
17. G. G. Scapellato, E. Bruno, A. J. Smith, E. Napolitani, D. De Salvador, S. Mirabella, M. Mastromatteo, A. Carnera, R. Gwilliam, and, F. Priolo, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 282, 8 (2012).
18. H. Letaw, Jr., W. M. Portnoy, and, L. Slifkin, Phys. Rev. 102, 636 (1956).
19. M. W. Valenta, and, C. Ramasastry, Phys. Rev. 106, 73 (1957).
20. M. Werner, H. Mehrer, and, H. D. Hochheimer, Phys. Rev. B 32, 3930 (1985).
21. N. A. Stolwijk, W. Frank, J. Hölzl, S. J. Pearton, and, E. E. Haller, J. Appl. Phys. 57, 5211 (1985).
22. H. Bracht, N. A. Stolwijk, and, H. Mehrer, Phys. Rev. B 43, 14465 (1991).
23. H. Bracht, Mater. Sci. Semicond. Process. 7, 113 (2004).
24. J. Vanhellemont, and, E. Simoen, Mater. Sci. Semicond. Process. 15, 642 (2012).
25. T. Südkamp, H. Bracht, G. Impellizzeri, J. Lundsgaard Hansen, A. Nylandsted Larsen, and, E. E. Haller, Appl. Phys. Lett. 102, 242103 (2013).
26. A. Mesli, L. Dobaczewski, K. Bonde Nielsen, Vl. Kolkovsky, M. Christian Petersen, and, A. Nylandsted Larsen, Phys. Rev. B 78, 165202 (2008).
27. J. Coutinho, R. Jones, V. J. B. Torres, M. Barroso, S. Öberg, and, P. R. Briddon, J. Phys.: Condens. Matter 17, L521 (2005).
28. S. Mayburg, Phys. Rev. 95, 38 (1954).
29. R. A. Logan, Phys. Rev. 101, 1455 (1956).
30. J. A. Hiraki, J. Phys. Soc. Jpn. 21, 34 (1966).
31. D. Shaw, Phys. Status Solidi B 72, 11 (1975).
32. A. Giese, N. A. Stolwijk, and, H. Bracht, Appl. Phys. Lett. 77, 642 (2000).
33. J. Vanhellemont, P. Śpiewak, and, K. Sueoka, J. Appl. Phys. 101, 036103 (2007).
34. A. J. R. da Silva, A. Janotti, A. Fazzio, R. J. Baierle, and, R. Mota, Phys. Rev. B 62, 9903 (2000).
35. M. Dionízio Moreira, R. H. Miwa, and, P. Venezuela, Phys. Rev. B 70, 115215 (2004).
36. A. Carvalho, R. Jones, C. Janke, J. P. Goss, P. R. Briddon, J. Coutinho, and, S. Öberg, Phys. Rev. Lett. 99, 175502 (2007).
37. S. Schneider, H. Bracht, J. N. Klug, J. Lundsgaard Hansen, A. Nylandsted Larsen, D. Bougeard, and, E. E. Haller, Phys. Rev. B 87, 115202 (2013).
38. H. Haesslein, R. Sielemann, and, C. Zistl, Phys. Rev. Lett. 80, 2626 (1998).
39. A. Satta, E. Simoen, T. Janssens, T. Clarysse, B. De Jaeger, A. Benedetti, I. Hoflijk, B. Brijs, M. Meuris, and, W. Vandervorst, J. Electrochem. Soc. 153, G229 (2006).
40. M. Posselt, B. Schmidt, W. Anwand, R. Grötzschel, V. Heera, A. Mücklich, H. Hortenbach, S. Gennaro, M. Bersani, D. Giubertoni, A. Möller, and, H. Bracht, J. Vac. Sci. Technol. B 26, 430 (2008).
41. B. C. Johnson, P. Gortmaker, and, J. C. McCallum, Phys. Rev. B 77, 214109 (2008).
42. S. Koffel, N. Cherkashin, F. Houdellier, M. J. Hytch, G. Benassayag, P. Scheiblin, and, A. Claverie, J. Appl. Phys. 105, 126110 (2009).
43. U. Gösele, W. Frank, and, A. Seeger, Solid State Commun. 45, 31 (1983).
44. H. Bracht, Phys. Rev. B 75, 035210 (2007).
45. P. Dorner, W. Gust, A. Lodding, H. Odelius, B. Predel, and, U. Roll, Acta Metall. 30, 941 (1982).
46. S. Uppal, A. F. W. Willoughby, J. M. Bonar, N. E. B. Cowern, T. Grasby, R. J. H. Morris, and, M. G. Dowsett, J. Appl. Phys. 96, 1376 (2004).
47. A. Chroneos, B. P. Uberuaga, and, R. W. Grimes, J. Appl. Phys. 102, 083707 (2007).
48. A. Chroneos, J. Appl. Phys. 107, 076102 (2010).
49. G. Impellizzeri, S. Mirabella, A. Irrera, M. G. Grimaldi, and, E. Napolitani, J. Appl. Phys. 106, 013518 (2009).
50. S. Mirabella, D. De Salvador, E. Napolitani, E. Bruno, and, F. Priolo, J. Appl. Phys. 113, 031101 (2013).
51. S. Schneider, and, H. Bracht, Appl. Phys. Lett. 98, 014101 (2011).
52. H. Bracht, J. Fage Pedersen, N. Zangenberg, A. Nylandsted Larsen, E. E. Haller, G. Lulli, and, M. Posselt, Phys. Rev. Lett. 91, 245502 (2003).
53. S. Schneider, doctoral thesis, Münster (2012).
54. D. Alloyeau, B. Freitag, S. Dag, Lin. W. Wang, and, C. Kisielowski, Phys. Rev. B 80, 014114 (2009).
55. W. Brattain, and, J. Bardeen, Phys. Rev. 74, 231 (1948).
56. E. N. Clarke, Phys. Rev. 95, 284 (1954).
57. E. Kamiyama, K. Sueoka, and, J. Vanhellemont, J. Appl. Phys. 111, 083507 (2012).
58. E. Kamiyama, K. Sueoka, and, J. Vanhellemont, ECS J. Solid State Sci. Technol. 2, 104 (2013).
59. E. Kamiyama, K. Sueoka, and, J. Vanhellemont, J. Appl. Phys. 113, 093503 (2013).
60. G. G. Scapellato, S. Boninelli, E. Napolitani, E. Bruno, A. J. Smith, S. Mirabella, M. Mastromatteo, D. De Salvador, R. Gwilliam, C. Spinella, A. Carnera, and, F. Priolo, Phys. Rev. B 84, 024104 (2011).
61. G. Impellizzeri, S. Boninelli, F. Priolo, E. Napolitani, C. Spinella, A. Chroneos, and, H. Bracht, J. Appl. Phys. 109, 113527 (2011).
62. G. Impellizzeri, S. Mirabella, E. Bruno, A. M. Piro, and, M. G. Grimaldi, J. Appl. Phys. 105, 063533 (2009).