Block copolymer lithography

Macromolecules

Volumn 47, Issue 1, 2014, Pages 2-12

  Bates, Christopher M ^a   Maher, Michael J ^a   Janes, Dustin W ^b   Ellison, Christopher J ^b   Willson, C Grant ^a,b  

^a The University of Texas at Austin   (United States)

^b The University of Texas at Austin   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BLOCK COPOLYMER LITHOGRAPHY; FILM RESEARCH; LITHOGRAPHIC RESOLUTION; OPTIMAL MATERIALS; THERMAL-ANNEALING; TOPDOWN;

CHEMISTRY; MACROMOLECULES;

BLOCK COPOLYMERS;

EID: 84892597058     PISSN: 00249297     EISSN: 15205835     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma401762n     Document Type: Review

References (121)

1. Moore, G. E. Electronics 1965, 38.
2. Sanders, D. P. Chem. Rev. 2010, 110, 321
3. Dammel, R. R. J. Photopolym. Sci. Technol. 2011, 24, 33
4. Bates, F. S.; Fredrickson, G. H. Annu. Rev. Phys. Chem. 1990, 41, 525
5. Kim, H.-C.; Park, S.-M.; Hinsberg, W. D. Chem. Rev. 2010, 110, 146
6. Herr, D. J. C. J. Mater. Res. 2011, 26, 122
7. Bencher, C.; Yi, H.; Zhou, J.; Cai, M.; Smith, J.; Miao, L.; Montal, O.; Blitshtein, S.; Lavi, A.; Dotan, K.; Dai, H.; Cheng, J. Y.; Sanders, D. P.; Tjio, M.; Holmes, S.; William, M. T. Proc. SPIE 2012, 8323, 83230N
8. Somervell, M.; Gronheid, R.; Hooge, J.; Nafus, K.; Delgadillo, P. R.; Thode, C.; Younkin, T.; Matsunaga, K.; Rathsack, B.; Scheer, S.; Nealey, P.; Mark, H. S.; Thomas, I. W. Proc. SPIE 2012, 8325, 83250G
9. Ruiz, R.; Kang, H.; Detcheverry Francois, A.; Dobisz, E.; Kerche Dran, S.; Albrecht Thomas, R.; de Pablo Juan, J.; Nealey Paul, F. Science 2008, 321, 936
10. Wan, L.; Ruiz, R.; Gao, H.; Patel, K. C.; Lille, J.; Zeltzer, G.; Dobisz, E. A.; Bogdanov, A.; Nealey, P. F.; Albrecht, T. R. J. Micro/Nanolithogr., MEMS, MOEMS 2012, 11, 031405
11. Albrecht, T. R.; Bedau, D.; Dobisz, E.; Gao, H.; Grobis, M.; Hellwig, O.; Kercher, D.; Lille, J.; Marinero, E.; Patel, K.; Ruiz, R.; Schabes, M. E.; Wan, L.; Weller, D.; Wu, T.-W. IEEE Trans. Magn. 2013, 49, 773
12. Xin-Yu, B.; He, Y.; Bencher, C.; Li-Wen, C.; Huixiong, D.; Yongmei, C.; Chen, P. T. J.; Wong, H. S. P. In Electron Devices Meeting (IEDM); IEEE International, 2011; p 7.7.1.
13. Hillmyer, M. A. Adv. Polym. Sci. 2005, 190, 137
14. Ryu, D. Y.; Shin, K.; Drockenmuller, E.; Hawker, C. J.; Russell, T. P. Science 2005, 308, 236
15. Bang, J.; Bae, J.; Lowenhielm, P.; Spiessberger, C.; Given-Beck, S. A.; Russell, T. P.; Hawker, C. J. Adv. Mater. 2007, 19, 4552
16. Jung, H.; Leibfarth, F. A.; Woo, S.; Lee, S.; Kang, M.; Moon, B.; Hawker, C. J.; Bang, J. Adv. Funct. Mater. 2013, 23, 1597
17. Mansky, P.; Liu, Y.; Huang, E.; Russell, T. P.; Hawker, C. Science 1997, 275, 1458
18. Bates, C. M.; Strahan, J. R.; Santos, L. J.; Mueller, B. K.; Bamgbade, B. O.; Lee, J. A.; Katzenstein, J. M.; Ellison, C. J.; Willson, C. G. Langmuir 2011, 27, 2000
19. Keen, I.; Yu, A.; Cheng, H.-H.; Jack, K. S.; Nicholson, T. M.; Whittaker, A. K.; Blakey, I. Langmuir 2012, 28, 15876
20. Peters, R. D.; Yang, X. M.; Wang, Q.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. J. Vac. Sci. Technol., B 2000, 18, 3530
21. Ouk Kim, S.; Solak, H. H.; Stoykovich, M. P.; Ferrier, N. J.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Nature 2003, 424, 411
22. Stoykovich, M. P.; Mueller, M.; Kim, S. O.; Solak, H. H.; Edwards, E. W.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Science 2005, 308, 1442
23. Segalman, R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1152
24. Bita, I.; Yang, J. K. W.; Jung, Y. S.; Ross, C. A.; Thomas, E. L.; Berggren, K. K. Science 2008, 321, 939
25. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Thomas, E. L.; Smith, H. I.; Vancso, G. J. Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 3657
26. Luo, M.; Epps, T. H. Macromolecules 2013, 46, 7567
27. Welander, A. M.; Kang, H.; Stuen, K. O.; Solak, H. H.; Müller, M.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Macromolecules 2008, 41, 2759
28. Sinturel, C.; Vayer, M.; Morris, M.; Hillmyer, M. A. Macromolecules 2013, 46, 5399
29. Mansky, P.; Russell, T. P.; Hawker, C. J.; Mays, J.; Cook, D. C.; Satija, S. K. Phys. Rev. Lett. 1997, 79, 237
30. Peters, R. D.; Yang, X. M.; Kim, T. K.; Sohn, B. H.; Nealey, P. F. Langmuir 2000, 16, 4625
31. Zhao, Y.; Sivaniah, E.; Hashimoto, T. Macromolecules 2008, 41, 9948
32. Russell, T. P.; Hjelm, R. P., Jr.; Seeger, P. A. Macromolecules 1990, 23, 890
33. Park, S.; Lee, D. H.; Xu, J.; Kim, B.; Hong, S. W.; Jeong, U.; Xu, T.; Russell, T. P. Science 2009, 323, 1030
34. Cushen, J. D.; Otsuka, I.; Bates, C. M.; Halila, S.; Fort, S.; Rochas, C.; Easley, J. A.; Rausch, E. L.; Thio, A.; Borsali, R.; Willson, C. G.; Ellison, C. J. ACS Nano 2012, 6, 3424
35. Cushen, J. D.; Bates, C. M.; Rausch, E. L.; Dean, L. M.; Zhou, S. X.; Willson, C. G.; Ellison, C. J. Macromolecules 2012, 45, 8722
36. Rodwogin, M. D.; Spanjers, C. S.; Leighton, C.; Hillmyer, M. A. ACS Nano 2010, 4, 725
37. Kennemur, J. G.; Hillmyer, M. A.; Bates, F. S. Macromolecules 2012, 45, 7228
38. Hardy, C. M.; Bates, F. S.; Kim, M.-H.; Wignall, G. D. Macromolecules 2002, 35, 3189
39. Son, J. G.; Gotrik, K. W.; Ross, C. A. ACS Macro Lett. 2012, 1279
40. Yoshida, H.; Suh, H. S.; Ramirez-Herunandez, A.; Lee, J. I.; Aida, K.; Wan, L.; Ishida, Y.; Tada, Y.; Ruiz, R.; de Pablo, J.; Nealey, P. F. J. Photopolym. Sci. Technol. 2013, 26, 55
41. Bates, F. S.; Hillmyer, M. A.; Lodge, T. P.; Bates, C. M.; Delaney, K. T.; Fredrickson, G. H. Science 2012, 336, 434
42. Heimenz, P. C.; Lodge, T. P. Polymer Chemistry, 2 nd ed.; CRC Press: Boca Raton, FL, 2007.
43. Ren, Y.; Lodge, T. P.; Hillmyer, M. A. Macromolecules 2000, 33, 866
44. Cochran, E. W.; Morse, D. C.; Bates, F. S. Macromolecules 2003, 36, 782
45. Callaghan, T. A.; Paul, D. R. Macromolecules 1993, 26, 2439
46. Maurer, W. W.; Bates, F. S.; Lodge, T. P.; Almdal, K.; Mortensen, K.; Fredrickson, G. H. J. Chem. Phys. 1998, 108, 2989
47. Russell, T. P. Macromolecules 1993, 26, 5819
48. Scherble, J.; Stark, B.; Stühn, B.; Kressler, J.; Budde, H.; Höring, S.; Schubert, D. W.; Simon, P.; Stamm, M. Macromolecules 1999, 32, 1859
49. Lee, S.; Gillard, T. M.; Bates, F. S. AIChE J. 2013, 59, 3502
50. Bosse, A. W. Macromol. Theory Simul. 2010, 19, 399
51. Bosse, A. W. J. Vac. Sci. Technol., B 2011, 29, 031803
52. Liu, C.-C.; Nealey, P. F.; Ting, Y.-H.; Wendt, A. E. 6 th ed.; AVS: New York, 2007; Vol. 25, p 1963.
53. Stein, G. E.; Liddle, J. A.; Aquila, A. L.; Gullikson, E. M. Macromolecules 2010, 43, 433
54. Cheng, J. Y.; Rettner, C. T.; Sanders, D. P.; Kim, H.-C.; Hinsberg, W. D. Adv. Mater. 2008, 20, 3155
55. Helfand, E.; Wasserman, Z. R. Macromolecules 1976, 9, 879
56. Mishra, V.; Fredrickson, G. H.; Kramer, E. J. ACS Nano 2012, 6, 2629
57. Matsen, M. W.; Thompson, R. B. J. Chem. Phys. 1999, 111, 7139
58. Mayes, A. M.; Olvera, d. l. C. M. J. Chem. Phys. 1989, 91, 7228
59. Khanna, V.; Cochran, E. W.; Hexemer, A.; Stein, G. E.; Fredrickson, G. H.; Kramer, E. J.; Li, X.; Wang, J.; Hahn, S. F. Macromolecules 2006, 39, 9346
60. Matsen, M. W. Macromolecules 2010, 43, 1671
61. Ji, S.; Nagpal, U.; Liu, G.; Delcambre, S. P.; Müller, M.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. ACS Nano 2012, 6, 5440
62. Zheng, W.; Wang, Z.-G. Macromolecules 1995, 28, 7215
63. Hillmyer, M. A. J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 2007, 45, 3249
64. Lynd, N. A.; Hillmyer, M. A. Macromolecules 2005, 38, 8803
65. Hustad, P. D.; Marchand, G. R.; Garcia-Meitin, E. I.; Roberts, P. L.; Weinhold, J. D. Macromolecules 2009, 42, 3788
66. Widin, J. M.; Schmitt, A. K.; Schmitt, A. L.; Im, K.; Mahanthappa, M. K. J. Am. Chem. Soc. 2012, 134, 3834
67. Meuler, A. J.; Ellison, C. J.; Qin, J.; Evans, C. M.; Hillmyer, M. A.; Bates, F. S. J. Chem. Phys. 2009, 130, 234903/1
68. Widin, J. M.; Kim, M.; Schmitt, A. K.; Han, E.; Gopalan, P.; Mahanthappa, M. K. Macromolecules 2013, 46, 4472
69. Sriprom, W.; James, M.; Perrier, S. B.; Neto, C. Macromolecules 2009, 42, 3138
70. Edwards, E. W.; Stoykovich, M. P.; Nealey, P. F.; Solak, H. H. J. Vac. Sci. Technol., B 2006, 24, 340
71. Vilesov, A. D.; Floudas, G.; Pakula, T.; Melenevskaya, E. Y.; Birshtein, T. M.; Lyatskaya, Y. V. Macromol. Chem. Phys. 1994, 195, 2317
72. Han, S. H.; Pryamitsyn, V.; Bae, D.; Kwak, J.; Ganesan, V.; Kim, J. K. ACS Nano 2012, 6, 7966
73. Onses, M. S.; Song, C.; Williamson, L.; Sutanto, E.; Ferreira, P. M.; Alleyne, A. G.; Nealey, P. F.; Ahn, H.; Rogers, J. A. Nat. Nanotechnol. 2013, 8, 667
74. Sheehan, M. T.; Farnham, W. B.; Tran, H. V.; Londono, J. D.; Brun, Y. Proc. SPIE 2013, 8682, 868225
75. Russell, T. P.; Coulon, G.; Deline, V. R.; Miller, D. C. Macromolecules 1989, 22, 4600
76. Coulon, G.; Russell, T. P.; Deline, V. R.; Green, P. F. Macromolecules 1989, 22, 2581
77. Clark, D. T.; Peeling, J.; O'Malley, J. M. J. Polym. Sci., Polym. Chem. Ed. 1976, 14, 543
78. Jung, Y. S.; Ross, C. A. Nano Lett. 2007, 7, 2046
79. Li, H.; Gu, W.; Li, L.; Zhang, Y.; Russell, T. P.; Coughlin, E. B. Macromolecules 2013, 46, 3737
80. Kim, S.; Nealey, P. F.; Bates, F. S. ACS Macro Lett. 2012, 1, 11
81. Huang, E.; Russell, T. P.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Hawker, C. J.; Mays, J. Macromolecules 1998, 31, 7641
82. Bates, C. M.; Seshimo, T.; Maher, M. J.; Durand, W. J.; Cushen, J. D.; Dean, L. M.; Blachut, G.; Ellison, C. J.; Willson, C. G. Science 2012, 338, 775
83. Nagpal, U.; Müller, M.; Nealey, P. F.; de Pablo, J. J. ACS Macro Lett. 2012, 1, 418
84. Bencher, C. Proc. SPIE 2011, 7970.
85. Rincon Delgadillo, P.; Harukawa, R.; Suri, M.; Durant, S.; Cross, A.; Nagaswami, V. R.; Van Den Heuvel, D.; Gronheid, R.; Nealey, P. Proc. SPIE 2013, 8680, 86800L
86. Doerk, G. S.; Liu, C.-C.; Cheng, J. Y.; Rettner, C. T.; Pitera, J. W.; Krupp, L. E.; Topuria, T.; Arellano, N.; Sanders, D. P. ACS Nano 2013, 7, 276
87. Ruiz, R.; Dobisz, E.; Albrecht, T. R. ACS Nano 2010, 5, 79
88. Mishra, V.; Kramer, E. J. Macromolecules 2013, 46, 977
89. Hammond, M. R.; Cochran, E.; Fredrickson, G. H.; Kramer, E. J. Macromolecules 2005, 38, 6575
90. Brown, R. D.; Tong, Q.; Becker, J. S.; Freedman, M. A.; Yufa, N. A.; Sibener, S. J. Faraday Discuss. 2012, 157, 307
91. Liu, C.-C.; Ramirez-Hernandez, A.; Han, E.; Craig, G. S. W.; Tada, Y.; Yoshida, H.; Kang, H.; Ji, S.; Gopalan, P.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Macromolecules 2013, 46, 1415
92. Perera, G. M.; Wang, C.; Doxastakis, M.; Kline, R. J.; Wu, W.-l.; Bosse, A. W.; Stein, G. E. ACS Macro Lett. 2012, 1, 1244
93. Shin, K.; Leach, K. A.; Goldbach, J. T.; Kim, D. H.; Jho, J. Y.; Tuominen, M.; Hawker, C. J.; Russell, T. P. Nano Lett. 2002, 2, 933
94. Gu, X.; Gunkel, I.; Russell, T. P. Philos. Trans. R. Soc., A 2013, 371.
95. Ting, Y.-H.; Park, S.-M.; Liu, C.-C.; Liu, X.; Himpsel, F. J.; Nealey, P. F.; Wendt, A. E. J. Vac. Sci. Technol., B 2008, 26, 1684
96. Rathsack, B.; Somervell, M.; Hooge, J.; Muramatsu, M.; Tanouchi, K.; Kitano, T.; Nishimura, E.; Yatsuda, K.; Nagahara, S.; Hiroyuki, I.; Akai, K.; Hayakawa, T.; William, M. T. Proc. SPIE 2012, 8323, 83230B
97. Park, M.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Science 1997, 276, 1401
98. Peng, Q.; Tseng, Y.-C.; Darling, S. B.; Elam, J. W. ACS Nano 2011, 5, 4600
99. Ruiz, R.; Wan, L.; Lille, J.; Patel, K. C.; Dobisz, E.; Johnston, D. E.; Kisslinger, K.; Black, C. T. J. Vac. Sci. Technol., B 2012, 30, 06F202/1
100. Park, S.; Wang, J.-Y.; Kim, B.; Xu, J.; Russell, T. P. ACS Nano 2008, 2, 766
101. Gu, X.; Liu, Z.; Gunkel, I.; Chourou, S. T.; Hong, S. W.; Olynick, D. L.; Russell, T. P. Adv. Mater. 2012, 24, 5688
102. Rider, D. A.; Manners, I. Polym. Rev. 2007, 47, 165
103. Hartney, M. A.; Novembre, A. E.; Bates, F. S. J. Vac. Sci. Technol., B 1985, 3, 1346
104. Jung, Y. S.; Lee, J. H.; Lee, J. Y.; Ross, C. A. Nano Lett. 2010, 10, 3722
105. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Chan, V. Z. H.; Thomas, E. L.; Lammertink, R. G. H.; Vancso, G. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1174
106. Hirai, T.; Leolukman, M.; Liu, C. C.; Han, E.; Kim, Y. J.; Ishida, Y.; Hayakawa, T.; Kakimoto, M.-a.; Nealey, P. F.; Gopalan, P. Adv. Mater. 2009, 21, 4334
107. Bates, C. M.; Pantoja, M. A. B.; Strahan, J. R.; Dean, L. M.; Mueller, B. K.; Ellison, C. J.; Nealey, P. F.; Willson, C. G. J. Polym. Sci., Part A 2013, 51, 290
108. Seshimo, T.; Bates, C. M.; Dean, L. M.; Cushen, J. D.; Durand, W. J.; Maher, M. J.; Ellison, C. J.; Willson, C. G. J. Photopolym. Sci. Technol. 2012, 25, 125
109. Hua, F.; Sun, Y.; Gaur, A.; Meitl, M. A.; Bilhaut, L.; Rotkina, L.; Wang, J.; Geil, P.; Shim, M.; Rogers, J. A.; Shim, A. Nano Lett. 2004, 4, 2467
110. Chou, S. Y.; Krauss, P. R. Microelectron. Eng. 1997, 35, 237
111. Sreenivasan, S. V. MRS Bull. 2008, 33, 854
112. Yang, X.; Xu, Y.; Lee, K.; Xiao, S.; Kuo, D.; Weller, D. IEEE Trans. Magn. 2009, 45, 833
113. Carlson, A.; Bowen, A. M.; Huang, Y.; Nuzzo, R. G.; Rogers, J. A. Adv. Mater. 2012, 24, 5284
114. Carter, K. R. ACS Nano 2010, 4, 595
115. Qin, D.; Xia, Y.; Whitesides, G. M. Nat. Protoc. 2010, 5, 491
116. Janes, D. W.; Thode, C. J.; Willson, C. G.; Nealey, P. F.; Ellison, C. J. Macromolecules 2013, 46, 4510
117. Ji, S.; Liu, C.-C.; Liu, G.; Nealey, P. F. ACS Nano 2010, 4, 599
118. Onses, M. S.; Thode, C. J.; Liu, C.-C.; Ji, S.; Cook, P. L.; Himpsel, F. J.; Nealey, P. F. Adv. Funct. Mater. 2011, 21, 3074
119. Thode, C. J.; Cook, P. L.; Jiang, Y.; Onses, M. S.; Ji, S.; Himpsel, F. J.; Nealey, P. F. Nanotechnology 2013, 24, 155602
120. Janes, D. W.; Thode, C. J.; Willson, C. G.; Nealey, P. F.; Ellison, C. J. Macromolecules 2013, 46, 4510
121. Resnick, D. J.; Sreenivasan, S. V.; Willson, C. G. Mater. Today 2005, 8, 34