Light-activated replication of block copolymer fingerprint patterns

Macromolecules

Volumn 46, Issue 11, 2013, Pages 4510-4519

  Janes, Dustin W ^a   Thode, Christopher J ^b   Willson, C Grant ^a,c   Nealey, Paul F ^d   Ellison, Christopher J ^a  

^a The University of Texas at Austin   (United States)

^b UNIVERSITY OF WISCONSIN MADISON   (United States)

^c UNIVERSITY OF TEXAS AT AUSTIN   (United States)

^d UNIVERSITY OF CHICAGO   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACRYLATE GROUPS; CONTROL EXPERIMENTS; COVALENTLY BONDED; FINGERPRINT PATTERN; LAYER COMPOSITION; PATTERN REPLICATION; PRIMARY MECHANISM;

ESTERS; GLASS TRANSITION; STYRENE;

BLOCK COPOLYMERS;

EID: 84878984379     PISSN: 00249297     EISSN: 15205835     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma400065t     Document Type: Article

References (76)

1. Moore, G. E. Electronics 1965, 38, 114-117
2. Thompson, S. E.; Parthasarathy, S. Mater. Today 2006, 9, 20-25
3. Bruning, J. H. Proc. SPIE 2007, 6520, 652004
4. Melville, D. O. S.; Rosenbluth, A. E.; Waechter, A.; Millstone, M.; Tirapu-Azpiroz, J.; Tian, K.; Lai, K.; Inoue, T.; Sakamoto, M.; Adam, K.; Tritchkov, A. J. Vac. Sci. Technol., B 2011, 29, 06FH04
5. Bencher, C.; Finders, J.; Englard, I.; Cohen, Y.; Sagiv, A.; Ben-Yishai, M.; Mangan, S.; Dai, H.; Ngai, C.; Dotan, K.; Knops, R.; Mouraille, O.; Mos, E.; Kremer, A. J. Micro/Nanolith., MEMS, MOEMS 2011, 10, 043003
6. McCoy, M. Chem. Eng. News 2011, 89 (28) 14-16
7. James, D. In Intel Ivy Bridge unveiled-The first commercial tri-gate, high-k, metal-gate CPU; Custom Integrated Circuits Conference (CICC), IEEE, 9-12 Sept, 2012; pp 1-4.
8. Sim, J. H.; Lee, S.-I.; Lee, H.-J.; Kasica, R.; Kim, H.-M.; Soles, C. L.; Kim, K.-B.; Yoon, D. Y. Chem. Mater. 2010, 22, 3021-3023
9. Wu, B.; Kumar, A. J. Vac. Sci. Technol., B 2007, 25, 1743-1761
10. Rogers, J. A.; Nuzzo, R. G. Mater. Today 2005, 8, 50-56
11. Ofir, Y.; Moran, I. W.; Subramani, C.; Carter, K. R.; Rotello, V. M. Adv. Mater. 2010, 22, 3608-3614
12. Resnick, D. J.; Sreenivasan, S. V.; Willson, C. G. Mater. Today 2005, 8, 34-42
13. Mirkin, C. A. ACS Nano 2007, 1, 79-83
14. Marrian, C. R. K.; Tennant, D. M. J. Vac. Sci. Technol., A 2003, 21, S207-S215
15. Black, C. T. ACS Nano 2007, 1, 147-150
16. Park, M.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Science 1997, 276, 1401-1404
17. Bates, F. S.; Fredrickson, G. H. Phys. Today 1999, 52, 32-38
18. Albert, J. N. L.; Epps, T. H., III Mater. Today 2010, 13, 24-33
19. Son, J. G.; Hannon, A. F.; Gotrik, K. W.; Alexander-Katz, A.; Ross, C. A. Adv. Mater. 2011, 23, 634-639
20. Cushen, J. D.; Otsuka, I.; Bates, C. M.; Halila, S.; Fort, S.; Rochas, C.; Easley, J. A.; Rausch, E. L.; Thio, A.; Borsali, R.; Willson, C. G.; Ellison, C. J. ACS Nano 2012, 6, 3424-3433
21. Tada, Y.; Yoshida, H.; Ishida, Y.; Hirai, T.; Bosworth, J. K.; Dobisz, E.; Ruiz, R.; Takenaka, M.; Hayakawa, T.; Hasegawa, H. Macromolecules 2012, 45, 292-304
22. Bates, C. M.; Seshimo, T.; Maher, M. J.; Durand, W. J.; Cushen, J. D.; Dean, L. M.; Blachut, G.; Ellison, C. J.; Willson, C. G. Science 2012, 338, 775-779
23. Cushen, J. D.; Bates, C. M.; Rausch, E. L.; Dean, L. M.; Zhou, S. X.; Willson, C. G.; Ellison, C. J. Macromolecules 2012, 45, 8722-8728
24. Liu, C.-C.; Thode, C. J.; Rincon-Delgadillo, P. A.; Craig, G. S. W.; Nealey, P. F.; Gronheid, R. J. Vac. Sci. Technol., B 2011, 29, 06F203
25. Welander, A. M.; Kang, H.; Stuen, K. O.; Solak, H. H.; Müller, M.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Macromolecules 2008, 41, 2759-2761
26. Stoykovich, M. P.; Kang, H.; Daoulas, K. C.; Liu, G.; Liu, C.-C.; de Pablo, J. J.; Müller, M.; Nealey, P. F. ACS Nano 2007, 1, 168-175
27. Segalman, R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1152-1155
28. Yang, X. M.; Peters, R. D.; Nealey, P. F.; Solak, H. H.; Cerrina, F. Macromolecules 2000, 33, 9575-9582
29. Stein, G. E.; Liddle, J. A.; Aquila, A. L.; Gullikson, E. M. Macromolecules 2010, 43, 433-441
30. Herr, D. J. C. J. Mater. Res. 2011, 26, 122-139
31. Liu, C.-C.; Han, E.; Onses, M. S.; Thode, C. J.; Ji, S.; Gopalan, P.; Nealey, P. F. Macromolecules 2011, 44, 1876-1885
32. Ji, S.; Liu, C.-C.; Liu, G.; Nealey, P. F. ACS Nano 2010, 4, 599-609
33. Liu, G.; Stoykovich, M. P.; Ji, S.; Stuen, K. O.; Craig, G. S. W.; Nealey, P. F. Macromolecules 2009, 42, 3063-3072
34. Han, E.; Stuen, K. O.; La, Y.-H.; Nealey, P. F.; Gopalan, P. Macromolecules 2008, 41, 9090-9097
35. Jakubowski, W.; Kirci-Denizli, B.; Gil, R. R.; Matyjaszewski, K. Macromol. Chem. Phys. 2008, 209, 32-39
36. Abe, A.; Hama, T. J. Polym. Sci., Part B: Polym. Lett. 1969, 7, 427-435
37. Nanjundan, S.; Unnithan, C. S.; Selvamalar, C. S. J.; Penlidis, A. React. Funct. Polym. 2005, 62, 11-24
38. Prucker, O.; Naumann, C. A.; Rühe, J.; Knoll, W.; Frank, C. W. J. Am. Chem. Soc. 1999, 121, 8766-8770
39. Huang, J.; Juszkiewicz, M.; de Jeu, W. H.; Cerda, E.; Emrick, T.; Menon, N.; Russell, T. P. Science 2007, 317, 650-653
40. Ji, S.; Liu, C.-C.; Liao, W.; Fenske, A. L.; Craig, G. S. W.; Nealey, P. F. Macromolecules 2011, 44, 4291-4300
41. Bosworth, J. K.; Dobisz, E. A.; Hellwig, O.; Ruiz, R. Macromolecules 2011, 44, 9196-9204
42. Vu, T.; Mahadevapuram, N.; Perera, G. M.; Stein, G. E. Macromolecules 2011, 44, 6121-6127
43. Liu, C.-C.; Ramírez-Hernández, A.; Han, E.; Craig, G. S. W.; Tada, Y.; Yoshida, H.; Kang, H.; Ji, S.; Gopalan, P.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Macromolecules 2013, 46, 1415-1424
44. Park, S.-M.; Ravindran, P.; La, Y.-H.; Craig, G. S. W.; Ferrier, N. J.; Nealey, P. F. Langmuir 2007, 23, 9037-9045
45. Li, Y.; Pham, J. Q.; Johnston, K. P.; Green, P. F. Langmuir 2007, 23, 9785-9793
46. Peters, R. D.; Yang, X. M.; Kim, T. K.; Sohn, B. H.; Nealey, P. F. Langmuir 2000, 16, 4625-4631
47. Russell, T. P.; Coulon, G.; Deline, V. R.; Miller, D. C. Macromolecules 1989, 22, 4600-4606
48. Coulon, G.; Russell, T. P.; Deline, V. R.; Green, P. F. Macromolecules 1989, 22, 2581-2589
49. Strobel, M.; Lyons, C. S. Plasma Processes Polym. 2011, 8, 8-13
50. Bain, C. D.; Whitesides, G. M. J. Am. Chem. Soc. 1988, 110, 5897-5898
51. Ryu, D. Y.; Wang, J.-Y.; Lavery, K. A.; Drockenmuller, E.; Satija, S. K.; Hawker, C. J.; Russell, T. P. Macromolecules 2007, 40, 4296-4300
52. Christensen, S. K.; Chiappelli, M. C.; Hayward, R. C. Macromolecules 2012, 45, 5237-5246
53. Giering, L.; Berger, M.; Steel, C. J. Am. Chem. Soc. 1974, 96, 953-958
54. Carroll, G. T.; Sojka, M. E.; Lei, X.; Turro, N. J.; Koberstein, J. T. Langmuir 2006, 22, 7748-7754
55. Carroll, G. T.; Devon Triplett, L.; Moscatelli, A.; Koberstein, J. T.; Turro, N. J. J. Appl. Polym. Sci. 2011, 122, 168-174
56. Beines, P. W.; Klosterkamp, I.; Menges, B.; Jonas, U.; Knoll, W. Langmuir 2007, 23, 2231-2238
57. Chen, Y.; Cho, J.; Young, A.; Taton, T. A. Langmuir 2007, 23, 7491-7497
58. Yi, Q.; Wen, D.; Sukhorukov, G. B. Langmuir 2012, 28, 10822-10829
59. Park, M.-K.; Deng, S.; Advincula, R. C. J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 13723-13731
60. Bunte, C.; Prucker, O.; König, T.; Rühe, J. Langmuir 2009, 26, 6019-6027
61. Jeyaprakash, J. D.; Samuel, S.; Rühe, J. Langmuir 2004, 20, 10080-10085
62. Hwang, L. Y.; Götz, H.; Hawker, C. J.; Frank, C. W. Colloids Surf., B 2007, 54, 127-135
63. Raghuraman, G. K.; Dhamodharan, R.; Prucker, O.; Rühe, J. Macromolecules 2008, 41, 873-878
64. Liu, L.; Ren, M.; Yang, W. Langmuir 2009, 25, 11048-11053
65. Tria, M. C.; Park, J. Y.; Advincula, R. Chem. Commun. 2011, 47, 2393-2395
66. Dhende, V. P.; Samanta, S.; Jones, D. M.; Hardin, I. R.; Locklin, J. ACS Appl. Mater. Interfaces 2011, 3, 2830-2837
67. Balakirev, M. Y.; Porte, S.; Vernaz-Gris, M.; Berger, M.; Arié, J.-P.; Fouqué, B.; Chatelain, F. Anal. Chem. 2005, 77, 5474-5479
68. Hattori, S.; Asakawa, K.; Mikoshiba, S.; Nakamura, H.; Hieno, A.; Seino, Y.; Kanno, M.; Azuma, T. J. Photopolym. Sci. Technol. 2011, 24, 581-585
69. Yoshida, H.; Warashina, T. Bull. Chem. Soc. Jpn. 1971, 44, 2950-2954
70. Costamagna, V.; Strumia, M.; López-González, M.; Riande, E. J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys. 2006, 44, 2828-2840
71. Iguerb, O.; Bertrand, P. Surf. Interface Anal. 2008, 40, 386-390
72. Li, G.; He, G.; Zheng, Y.; Wang, X.; Wang, H. J. Appl. Polym. Sci. 2012, 123, 1951-1959
73. Kim, B. K.; Shon, K. H.; Jeong, H. M. J. Appl. Polym. Sci. 2004, 92, 1672-1679
74. Katzenstein, J. M.; Janes, D. W.; Cushen, J. D.; Hira, N. B.; McGuffin, D. L.; Prisco, N. A.; Ellison, C. J. ACS Macro Lett. 2012, 1150-1154
75. Zhang, D.; Dougal, S. M.; Yeganeh, M. S. Langmuir 2000, 16, 4528-4532
76. Ubukata, T.; Moriya, Y.; Yokoyama, Y. Polym. J. 2012, 44, 966-972