Facile routes to patterned surface neutralization layers for block copolymer lithography

Advanced Materials

Volumn 19, Issue 24, 2007, Pages 4552-4557

  Bang, Joona ^b   Bae, Joonwon ^c   Lówenhielm, Peter ^a   Spiessberger, Christian ^a   Given Beck, Susan A ^a   Russell, Thomas P ^c   Hawker, Craig J ^a  

^a UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

^b Korea University   (South Korea)

^c UNIVERSITY OF MASSACHUSETTS   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

LITHOGRAPHY; PHOTOLYSIS; POLYMERIZATION; TUNING; ULTRATHIN FILMS;

NANOSCOPIC STRUCTURES; RANDOM COPOLYMER; SURFACE INTERACTIONS; ULTRATHIN CROSSLINKABLE FILM;

BLOCK COPOLYMERS;

EID: 37549045205     PISSN: 09359648     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.200701866     Document Type: Article

References (46)

1. IBM's Chip Breakthrough. Business Week, McGraw-Hill, New York 2007.
2. C. J. Hawker. K. L. Wooley, Science 2005, 309, 1200.
3. a) R. A. Segalman. Mater. Sci. Eng. 2005, R48, 191.
4. b) C. J. Hawker, T. P. Russell, MRS Bull. 2005, 30, 952.
5. c) S. O. Kim, H. H. Solak, M. P. Stoykovich, N. J. Ferrier, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Nature 2003, 424, 411.
6. d) M. P. Stoykovich, M. Muller, S. O. Kim, H. H. Solak, E. W. Edwards, J. J. de Pablo, P. F. Nealey, Science 2005, 308, 1442.
7. e) R. A. Segalman, H. Yokoyama, E. J. Kramer. Adv. Mater. 2001, 13, 1152.
8. f) K. Shin, K. A. Leach, J. T. Goldbach, D. H. Kim, J. Y Jho, M. Tuominen, C. J. Hawker, T. P. Russell, Nano Lett. 2002, 2, 933.
9. M. J. Fasolka, A. M. Mayes, Annu. Rev. Mater. Res. 2001, 31, 323.
10. M. Bal, A. Ursache, M. T. Tuominen, J. T. Goldbach, T. P. Russell, Appl. Phys. Lett. 2002, 57, 3479.
11. J. Bang, S. H. Kim, E. Drockenmuller, M. J. Misner, T. P. Russell, C. J. Hawker, J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 7622.
12. C. T. Black, K. W. Guarini, K. R. Milkove, S. M. Baker, T. P. Russell, M. T. Tuominen, Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 409.
13. J. Y. Cheng, C. A. Ross, V. Z. H. Chan, E. L. Thomas, R. G. H. Lammertink, G. J. Vancso, Adv. Mater. 2001, 13, 117 4.
14. J. Y. Cheng, C. A. Ross, E. L. Thomas, H. I. Smith, G. J. Vancso, Appl. Phys. Lett. 2002, 81, 3657.
15. E. Drockenmuller, L. Y. T. Li, D. Y. Ryu, E. Harth, T. P. Russell, H.-C. Kim, C. J. Hawker, J. Polym. Sci. Part A 2005, 43, 1028.
16. D. H. Kim, S. H. Kim, K. Lavery, T. P. Russell, Nano Lett. 2004, 4, 1841.
17. H.-C. Kim, X. Jia, C. M. Stafford, D. H. Kim, T. J. McCarthy, M. Tuominen, C. J. Hawker, T. P. Russell, Adv. Mater. 2001, 13, 795.
18. W. A. Lopes, H. M. Jaeger, Nature 2001, 474, 735.
19. M. Park, C. Harrison, P. M. Chaikin, R. A. Register, D. H. Adamson, Science 1997, 276, 1401.
20. R. A. Segalman, A. Hexemer, R. C. Hayward, E. J. Kramer, Macromolecules 2003, 36, 3272.
21. M. Templin, A. Franck, A. Du Chesne, H. Leist, Y. Zhang, R. Ulrich, V. Schadler, U. Wiesner, Science 1997, 275, 1795.
22. a) G. Coulon, T. P. Russell, V. R. Deline, P. F. Green, Macromolecules 1989, 22, 4600.
23. b) T. P. Russell, G. Coulon, V. R. Deline, D. C. Miller, Macromolecules 1989, 22, 2581.
24. c) S. H. Anastasiadis, T. P. Russell, S. K. Satija, C. F. Majkrzak, Phys. Rev. Lett. 1989, 62, 1852.
25. P. Mansky, Y. Liu, E. Huang, T. P. Russell, C. J. Hawker, Science 1997, 275, 1458.
26. D. Y. Ryu, K. Shin, E. Drockenmuller, C. J. Hawker, T. P. Russell, Science 2005, 308, 236.
27. a) E. F. V. Scriven, K. Turnbull, Chem. Rev. 1988, 55, 297.
28. b) P. Wu, A. K. Feldman, A. K. Nugent, C. J. Hawker, A. Scheel, B. Voit, J. Pyun, J. M. J. Fréchet, K. B. Sharpless, V. V. Fokin, Angew. Chem. Int. Ed. 2004, 43, 3928.
29. c) J. A. Opsteen, J. C. M. van Hest, Chem. Commun. 2005, 57.
30. d) B. Parrish, R. B. Breitenkamp, T. Emrick, J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 7404.
31. e) A. P. Vogt, B. S. Sumerlin, Macromolecules 2006, 39, 5286.
32. f) H. F. Gao, K. Matyjaszewski, Macromolecules 2006, 39, 4960.
33. g) O. Altintas, B. Yankul, G. Hizal, U. Tunca, J. Polym. Sci. Part A 2006, 44, 6458.
34. h) O. Altintas, G. Hizal, U. Tunca, J. Polym. Sci. Part A 2006, 44, 5699.
35. i) R. J. Thibault, K. Takizawa, P. Lowenheilm, B. Helms, J. L. Mynar, J. M. J. Fréchet, C. J. Hawker, J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 12084.
36. j) H. M. Li, F. O. Cheng, A. M. Duft, A. Adronov, J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 14518.
37. k) G. Mantovani, V. Ladmiral, L. Tao, D. M. Haddleton, Chem. Commun. 2005, 2089.
38. l) J. F. Lutz, H. G. Borner, K. Weichenhan, Macromol. Rapid Commun. 2005, 26, 514.
39. R. A. Abramovitch, B. A. Davis, Chem. Rev. 1964, 64, 149.
40. J. K. Jorgensen, E. Ommundsen, A. Stori, K. Redford, Polymer 2005, 46, 12073.
41. J. R. Knowles, Ace. Chem. Res. 1972, 5, 155.
42. A. Reiser, F. W. Willets, G. C. Terry, V. Williams, R. Marley, Trans. Faraday Soc. 1968, 64, 3265.
43. A. Torikai, A. Hozumi, K. Fueki, Polym. Degrad. Stab. 1986, 76, 13.
44. a) D. Benoit, C. J. Hawker, E. E. Huang, Z. Q. Lin, T. P. Russell, Macromolecules 2000, 33, 1505.
45. b) U. M. Stehling, E. E. Malmstrom, R. M. Waymouth, C. J. Hawker, Macromolecules 1998, 31, 4396.
46. c) J. Dao, D. Benoit, C. J. Hawker, J. Polym. Sci. Part A 1998, 36, 2161.