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Physical Review B - Condensed Matter and Materials Physics

Volumn 82, Issue 15, 2010, Pages

Fluorine redistribution and incorporation during solid phase epitaxy of preamorphized Si

(9) Mastromatteo, M a De Salvador, D a Napolitani, E a Panciera, F a,c Bisognin, G a Carnera, A a Impellizzeri, G b Mirabella, S b Priolo, F b

a UNIVERSITY OF PADOVA (Italy)

b UNIVERSITY OF CATANIA (Italy)

c AIX MARSEILLE UNIVERSITÉ (France)

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EID: 78149248730 PISSN: 10980121 EISSN: 1550235X Source Type: Journal
DOI: 10.1103/PhysRevB.82.155323 Document Type: Article

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* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.