Electronics and sensors based on pyroelectric AlGaN/GaN heterostructures: Part B: Sensor applications

Physica Status Solidi C: Conferences

Volumn 0, Issue 6 SPEC. ISS., 2003, Pages 1908-1918

  Eickhoff, M ^a   Schalwig, J ^b   Steinhoff, G ^a   Weidemann, O ^a   Gorgens L ^a   Neuberger, R ^b   Hermann, M ^a   Baur, B ^a   Muller G ^b   Ambacher, O ^c   Stutzmann, M ^a  

^a WALTER SCHOTTKY INSTITUT   (Germany)

^b AIRBUS GROUP INNOVATIONS   (Germany)

^c ILMENAU UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ACOUSTIC SURFACE WAVE DEVICES; CHEMICAL SENSORS; GALLIUM NITRIDE; HETEROJUNCTIONS; HIGH ELECTRON MOBILITY TRANSISTORS; ION SENSITIVE FIELD EFFECT TRANSISTORS; OPTOELECTRONIC DEVICES; PH EFFECTS; PYROELECTRICITY; THIN FILMS;

MATERIAL PROPERTIES; METAL OXIDE LAYERS; PIEZOELECTRIC FIELDS; SENSOR APPLICATIONS;

ALUMINUM COMPOUNDS;

EID: 4744348261     PISSN: 16101634     EISSN: None     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1002/pssc.200303139     Document Type: Conference Paper

References (50)

1. A. Lloyd Spetz, A. Baranzahi, P.Tobias, and I. Lundström, phys. stat. sol. (a) 162, 493 (1997).
2. G. Mueller, G. Krötz, and J. Schalk, phys. stat. sol. (a) 185, 1 (2001).
3. E. Kohn, P. Gluche, M. Adamschik, Diam. Relat. Mater. 8, 934 (1998).
4. G. Krötz, M. Eickhoff, H. Moeller, Sens. Actuators 74, 182 (1999).
5. S. Nakamura, GaN and Related Materials, Ed. S. J. Pearton, Gordon and Breach, New York 1997.
6. Y. A. Goldberg, Semicond. Sci. Technolog. 14, R41 (1999).
7. M. Razeghi and A. Rogalski, J. Appl. Phys. 79, 7433 (1996).
8. R. Neuberger, G. Müller, O. Ambacher, M. Stutzmann, phys. stat. sol. (a) 185, 85 (2001).
9. R. Neuberger, G. Müller, O. Ambacher, and M. Stutzmann, phys. stat. sol. (a) 183, R10 (2001).
10. M. Eickhoff, O. Ambacher, G. Steinhoff, J. Schalwig, R. Neuberger, T. Palacios, E. Monroy, F. Calle, G. Müller, and M. Stutzmann, Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 693, 781 (2002).
11. M. Stutzmann, G. Steinhoff, M. Eickhoff, O. Ambacher, C.E. Nebel, J. Schalwig, R. Neuberger, G. Müller, Diamond and Related Materials 11, 886 (2002).
12. J. S. Shor, D. Goldstein, A. D. Kurtz, IEEE Trans. Electron. Dev. 40, 1093 (1993).
13. M. Eickhoff, H. Möller, G. Krötz, J. v. Berg, R. Ziermann, Sens. Actuators 74, 56 (1999).
14. R. Ziermann, J. v. Berg, E. Obermeier, F. Wischmeyer, E. Niemann, H. Möller, M. Eickhoff, G. Krötz, Mat. Sci. Eng. B 61-62, 576 (1999).
15. J. S. Shor, L. Bemis, A. D. Kurtz, IEEE Trans. Electron. Dev. 41, 661 (1994).
16. R. S. Okojie, A. A. Ned, A. D. Kurtz, W. N. Carr, IEEE Trans. Electron. Dev. 45, 785 (1998).
17. A. D. Bykhovski, V. V. Kamisnkii, M. S. Shur, Q. C. Chen, and M. A. Khan, Appl. Phys. Lett. 68, 818 (1996).
18. R. Gaska, J. W. Yang, A. D. Bykhovski, M. S. Shur, V. V. Kaminskii, and S. Soloviov, Appl. Phys. Lett. 71, 3817 (1997).
19. R. Gaska, M. S. Shur, A. D. Bykhovski, J. W. Yang, M. A. Khan, V. V. Kaminskii, and S. Soloviov, Appl. Phys. Lett. 76, 3956 (2000).
20. M. Eickhoff, O. Ambacher, G. Krötz, M. Stutzmann, J. Appl. Phys. 90, 3383 (2001).
21. R. Gaska, J. W. Yang, A. D. Bykhovski, M. S. Shur, V. V. Kaminskii, and S. Soloviov, Appl. Phys. Lett. 72, 64 (1997).
22. B. P. Luther, S. D. Wolter, S. E. Mohney, Sensors and Actuators B 56, 164 (1999).
23. A. Lloyd Spetz, L. Unéus, H. Svenningstorp, P. Tobias, L.- G. Ekedahl, O. Larsson, A. Göras, S. Savage, C. Harris, P. Martensson, R. Wigren, P. Salomonsson, B. Häggendahl, P. Ljung, M. Mattson, and I. Lundström, phys. stat. sol. (a) 185, 15 (2001).
24. O. Ambacher, J. Phys. D: Appl. Phys. 31, 2653 (1998).
25. R. Dimitrov, M. Murphy, J. Smart, W. Schaff, J. R. Shealy, L. F. Eastman, O. Ambacher, and M. Stutzmann, J. Appl. Phys. 87, 3375 (2000).
26. J. Schalwig, G. Müller, U. Karrer, M. Eickhoff, O. Ambacher, M. Stutzmann, L. Görgens, G. Dollinger, Appl. Phys. Lett. 80, 1222 (2002).
27. I. Lundström, M. S. Shivaraman, C. Svensson, and L. Lundkvist, Appl. Phys. Lett. 26, 55 (1975).
28. A. Arbab, A. Spetz, and I. Lundström, Sens. Actuators B 15-16, 19 (1993).
29. J. Fogelberg, M. Eriksson, H. Dannetun, and L.- G. Petersson, J. Appl. Phys. 78, 988 (1995).
30. M. Eriksson and L.-G. Ekedahl, J. Appl. Phys. 83, 3947 (1998).
31. J. J. Schalwig, G. Müller, M. Eickhoff, O. Ambacher, M. Stutzmann, Mat. Sci. Eng. B 93, 207 (2002).
32. J. Schalwig, G. Müller, O. Ambacher, M. Stutzmann, phys. stat. sol. (a) 185, 39 (2001).
33. J. Schalwig, G. Müller, M. Eickhoff, O. Ambacher, M. Stutzmann, Sensors and Actuators B 87, 425 (2002).
34. I. Lundström, M. Armgarth, L.- G. Petersson, CRC. Crit. Rev. Solid State Mater. Sci. 15, 201 (1989).
35. O. Weidemann, M. Hermann, G. Steinhoff, H. Wingbrandt, A. Lloyd Spetz, M. Stutzmann, and M. Eickhoff, Appl. Phys. Lett. 83, 773 (2003).
36. S. W. King, J. P. Barnak, M. D. Bremser, K. M. Tracy, C. Ronning, R. F. Davis, and R. J. Nemanich, J. Appl. Phys. 84, 5248 (1998).
37. P. Bergveld, IEEE Trans. Biomed. Eng. 17, 70 (1970).
38. P. Bergveld, IEEE Trans. Biomed. Eng. 19, 342 (1972).
39. B. H. van der Schoot, P. Bergveld, M. Bos, L. J. Bousse, Sens. Actuators 4, 267 (1983).
40. T. Matsuo, K. D. Wise, IEEE Trans. Biomed. Eng. 21, 485 (1974).
41. W.H. Baumann, M. Lehmann, A. Schwinde, R. Ehert, M. Britschwein, B. Wolf, Sens. Actuators B 55, 77 (1999).
42. H. Abe, M. Esashi, T. Matsuo, IEEE Trans. Electr. Dev. ED-26(12), 1939 (1979).
43. L. Bousse, S. Mostarshed, Sens. Actuators B 17, 157 (1994).
44. G. Steinhoff, M. Hermann, W. Schaff, L. F. Eastman, M. Stutzmann, and M. Eickhoff, Appl. Phys. Lett. 83, 177 (2003).
45. M. J. Murphy, K. Chu, H. Wu, W. Yeo, W. J. Schaff, O. Ambacher, L. F. Eastman, T. J. Eustis, J. Silcox, R. Dimitrov, M. Stutzmann, Appl. Phys. Lett. 75, 3653 (1999).
46. M. Eickhoff, R. Neuberger, G. Steinhoff, O. Ambacher, G. Müller, M. Stutzmann, phys. stat. sol. (b) 228, 519 (2001).
47. D. E. Yates, S. Levine, T. W. Healy, J. Chem. Soc. Farady Trans. 170, 1807 (1974).
48. W. M. Siu, R. S. C. Cobbold, IEEE Trans. Electr. Dev. ED-26(11), 1805 (1979).
49. L. Bousse, N. F. De Rooij, P. Bergveld, IEEE Trans. Electr. Dev. ED-30(10), 1263 (1983).
50. G. Steinhoff, O. Purrucker, M. Tanaka, M. Stutzmann, M. Eickhoff, Adv. Funct. Mat. (2003), in press.