Structure and dielectric function of two- and single-domain ZnO epitaxial films

Journal of Applied Physics

Volumn 102, Issue 11, 2007, Pages

  Vinnichenko, M ^a   Shevchenko, N ^a   Rogozin, A ^a   Grotzschel R ^a   Mucklich A ^a   Kolitsch, A ^a   Moller W ^a  

^a INSTITUTE OF ION BEAM PHYSICS AND MATERIALS RESEARCH   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DATA REDUCTION; DIELECTRIC PROPERTIES; MAGNETRON SPUTTERING; SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY; ZINC OXIDE;

DIELECTRIC FUNCTIONS; OXYGEN PARTIAL PRESSURES; SUBSTRATE TEMPERATURES;

EPITAXIAL FILMS;

EID: 37149039185     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2821390     Document Type: Article

References (51)

1. Ü. Özgür, Ya. I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. A. Reshchikov, S. Dogan, V. Avrutin, S.-J. Cho, and H. Morkoc, J. Appl. Phys. 98, 041301 (2005).
2. J. G. E. Gardeniers, Z. M. Rittersma, and G. J. Burger, J. Appl. Phys. 83, 7844 (1998).
3. K. Ellmer, J. Phys. D 33, R17 (2000).
4. P. Kuppusami, G. Vollweiler, D. Rafaja, and K. Ellmer, Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process. 80, 183 (2005).
5. D. M. Bagnall, Y. F. Chen, Z. Zhu, T. Yao, S. Koyama, M. Y. Shen, and T. Goto, Appl. Phys. Lett. 70, 2230 (1997).
6. R. Triboulet and J. Perriere, Prog. Cryst. Growth Charact. Mater. 47, 65 (2003).
7. K. C. Ruthe, D. J. Cohen, and S. A. Barnett, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 2446 (2004).
8. P. Fons, K. Iwata, A. Yamada, K. Matsubara, S. Niki, K. Nakahara, T. Tanabe, and H. Takasu, Appl. Phys. Lett. 77, 1801 (2000).
9. A. Zeuner, H. Alves, D. M. Hofmann, B. K. Meyer, M. Heuken, J. Bläsing, and A. Krost, Appl. Phys. Lett. 80, 2078 (2002).
10. E. M. Kaidashev, M. Lorenz, H. von Wenckstern, A. Rahm, H.-C. Semmelhack, K.-H. Han, G. Benndorf, C. Bundesmann, H. Hochmuth, and M. Grundmann, Appl. Phys. Lett. 82, 3901 (2003).
11. K.-K. Kim, J.-H. Song, H.-J. Jung, W.-K. Choi, and S.-J. Park, J. Appl. Phys. 87, 3573 (2000).
12. V. Darakchieva, J. Birch, M. Schubert, T. Paskova, S. Tungasmita, G. Wagner, A. Kasic, and B. Monemar, Phys. Rev. B 70, 045411 (2004).
13. B.-P. Zhang, L.-H. Mahn, K. Wakatsuki, K. Tamura, T. Ohnishi, M. Lippmaa, N. Usami, M. Kawasaki, H. Koinuma, and Y. Segawa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 42, L264 (2003).
14. R. D. Vispute, V. Talyansky, Z. Trajanovic, S. Choopun, M. Downes, R. P. Sharma, T. Venkatesan, M. C. Woods, R. T. Lareau, K. A. Jones, and A. A. Iliadis, Appl. Phys. Lett. 70, 2735 (1997).
15. I. Ohkubo, A. Ohtomo, T. Ohnishi, Y. Masumoto, H. Koinuma, and M. Kawasaki, Surf. Sci. 433, L1043 (1999).
16. P. Kuppusami, S. Fiechter, and K. Ellmer, Texture and Microstructure in Electronic and Magnetic Films, MRS Symposia Proceedings No. 721 (Materials Research Society, Pittsburgh, PA, 2002), p. 93.
17. M. Birkholz, B. Selle, F. Fenske, and W. Fuhs, Phys. Rev. B 68, 205414 (2003).
18. G. E. Jellison and L. Boatner, Phys. Rev. B 0163-1829 10.1103/PhysRevB.58.3586 58, 3586 (1998); G. E. Jellison, Phys. Rev. B 65, 049902 (E) (2001).
19. G. E. Jellison and L. Boatner, Phys. Rev. B 0163-1829 10.1103/PhysRevB.58.3586 58, 3586 (1998); G. E. Jellison, Phys. Rev. B 65, 049902 (E) (2001).
20. K. Postava, H. Sueki, M. Aoyama, T. Yamaguchi, Ch. Ino, Y. Igasaki, and M. Horie, J. Appl. Phys. 87, 7820 (2000).
21. E. Dumont, B. Dugnoille, and S. Bienfait, Thin Solid Films 353, 93 (1999).
22. M. Rebien, W. Henrion, M. Bär, and Ch.-H. Fischer, Appl. Phys. Lett. 80, 3518 (2002).
23. A. I. Rogozin, M. V. Vinnichenko, A. Kolitsch, and W. Moeller, J. Vac. Sci. Technol. A 22, 349 (2004).
24. ICDD Powder Diffraction File No. 36-1451.
25. A. Rogozin, M. Vinnichenko, N. Shevchenko, A. Kolitsch, and W. Moeller, Thin Solid Films 496, 197 (2006).
26. B. Johs, C. M. Herzinger, J. H. Dinan, A. Cornfeld, and J. D. Benson, Thin Solid Films 313-314, 137 (1998); C. M. Herzinger and B. D. Johs, U.S. Patent No. 5796983 (August 18, 1998).
27. B. Johs, C. M. Herzinger, J. H. Dinan, A. Cornfeld, and J. D. Benson, Thin Solid Films 313-314, 137 (1998); C. M. Herzinger and B. D. Johs, U.S. Patent No. 5796983 (August 18, 1998).
28. H. Yoshikava and S. Adachi, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 36, 6237 (1997).
29. D. E. Aspnes, J. Opt. Soc. Am. 70, 1275 (1980).
30. T. J. Godin and J. P. LaFemina, Phys. Rev. B 49, 7691 (1994).
31. E. A. Soares, M. A. Van Hove, C. F. Walters, and K. F. McCarty, Phys. Rev. B 65, 195405 (2002).
32. J. Toofan and P. R. Watson, Surf. Sci. 401, 162 (1998).
33. Low Energy Ion-Surface Interactions, edited by, J. W. Rabalais, (Wiley, New York, 1994).
34. Y. Chen, D. M. Bagnall, H.-J. Koh, K.-T. Park, K. Hiraga, Z. Zhu, and T. Yao, J. Appl. Phys. 84, 3912 (1998).
35. Z. X. Mei, Y. Wang, X. L. Du, M. J. Ying, Z. Q. Zeng, H. Zheng, J. F. Jia, Q. K. Xue, and Z. Zhang, J. Appl. Phys. 96, 7108 (2004).
36. N. Fujimura, T. Nishihara, S. Goto, J. Xu, and T. Ito, J. Cryst. Growth 130, 269 (1993).
37. S. I. Park, T. S. Cho, S. J. Doh, J. L. Lee, and J. H. Je, Appl. Phys. Lett. 77, 349 (2000).
38. F. Oba, H. Ohta, Y. Sato, H. Hosono, T. Yamamoto, and Y. Ikuhara, Phys. Rev. B 70, 125415 (2004).
39. V. Srikant, J. S. Speck, and D. R. Clarke, J. Appl. Phys. 82, 4286 (1997).
40. G. G. Bentle and K. T. Miller, J. Appl. Phys. 38, 4248 (1967).
41. F. A. Ponce, D. Cherns, W. T. Young, and J. W. Steeds, Appl. Phys. Lett. 69, 770 (1996).
42. S. Choopun, R. D. Vispute, W. Noch, A. Balsamo, R. P. Sharma, and T. Venkatesan, Appl. Phys. Lett. 75, 3947 (1999).
43. S.-K. Hong, H.-J. Ko, Y. Chen, and T. Yao, J. Cryst. Growth 209, 537 (2000).
44. F. Vigue, P. Vennegue, C. Deparis, S. Vezian, M. Laügt, and J.-P. Faurie, J. Appl. Phys. 90, 5115 (2001).
45. D. J. Eaglesham, J. Appl. Phys. 77, 3597 (1995).
46. H. C. Ong, A. X. E. Zhu, and G. T. Du, Appl. Phys. Lett. 80, 941 (2002).
47. A. Fouchet, W. Prellier, B. Mercey, L. Ḿchin, V. N. Kulkarni, and T. Venkatesan, J. Appl. Phys. 96, 3228 (2004).
48. M. Lorenz, E. M. Kaidashev, H. von Wenckstern, V. Riede, C. Bundesmann, D. Spemann, G. Benndorf, H. Hochmuth, A. Rahm, H.-C. Semmelhack, and M. Grundmann, Solid-State Electron. 47, 2205 (2003).
49. V. Srikant and D. R. Clarke, J. Appl. Phys. 81, 6357 (1997).
50. G. E. Pikus, Sov. Phys. Solid State 6, 261 (1964).
51. J. E. Rowe, M. Cardona, and F. H. Pollak, Solid State Commun. 6, 239 (1968).