메뉴 건너뛰기




Volumn 75, Issue 7, 2007, Pages

Influence of isotopic substitution and He coimplantation on defect complexes and voids induced by H ions in silicon

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords


EID: 33846696383     PISSN: 10980121     EISSN: 1550235X     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevB.75.075201     Document Type: Article
Times cited : (32)

References (47)
  • 2
    • 11944266974 scopus 로고
    • RMPHAT 0034-6861 10.1103/RevModPhys.64.559
    • S. M. Myers, Rev. Mod. Phys. RMPHAT 0034-6861 10.1103/RevModPhys.64.559 64, 559 (1992).
    • (1992) Rev. Mod. Phys. , vol.64 , pp. 559
    • Myers, S.M.1
  • 5
    • 0001152889 scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.49.4579
    • Chris G. Van de Walle, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.49. 4579 49, 4579 (1994).
    • (1994) Phys. Rev. B , vol.49 , pp. 4579
    • Chris, G.1    De Walle, V.2
  • 6
    • 0029321534 scopus 로고
    • MIGIEA 0927-796X 10.1016/0927-796X(95)00178-6
    • Stefan K. Estreicher, Mater. Sci. Eng., R. MIGIEA 0927-796X 10.1016/0927-796X(95)00178-6 R14, 319 (1995).
    • (1995) Mater. Sci. Eng., R. , vol.14 , pp. 319
    • Stefan, K.1    Estreicher2
  • 10
    • 0029637854 scopus 로고
    • ELLEAK 0013-5194 10.1049/el:19950805
    • M. Bruel, Electron. Lett. ELLEAK 0013-5194 10.1049/el:19950805 31, 1201 (1995).
    • (1995) Electron. Lett. , vol.31 , pp. 1201
    • Bruel, M.1
  • 12
    • 0039331932 scopus 로고    scopus 로고
    • NIMBEU 0168-583X 10.1016/0168-583X(95)01056-4
    • M. Bruel, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B NIMBEU 0168-583X 10.1016/0168-583X(95)01056-4 108, 313 (1996).
    • (1996) Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B , vol.108 , pp. 313
    • Bruel, M.1
  • 16
    • 0035424207 scopus 로고    scopus 로고
    • JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1380409
    • S. W. Bedell and W. A. Lanford, J. Appl. Phys. JAPIAU 0021-8979 10.1063/1.1380409 90, 1138 (2001).
    • (2001) J. Appl. Phys. , vol.90 , pp. 1138
    • Bedell, S.W.1    Lanford, W.A.2
  • 27
  • 28
    • 8344228539 scopus 로고    scopus 로고
    • JCPSA6 0021-9606 10.1063/1.1794571
    • O. Moutanabbir and B. Terreault, J. Chem. Phys. JCPSA6 0021-9606 10.1063/1.1794571 121, 7973 (2004).
    • (2004) J. Chem. Phys. , vol.121 , pp. 7973
    • Moutanabbir, O.1    Terreault, B.2
  • 29
    • 0000096293 scopus 로고
    • CJPHAD 0008-4204
    • E. Bøgh, Can. J. Phys. CJPHAD 0008-4204 46, 653 (1968).
    • (1968) Can. J. Phys. , vol.46 , pp. 653
    • Bøgh, E.1
  • 35
    • 0000638823 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.57.7621
    • M. Hakala, M. J. Puska, and R. M. Nieminen, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.57.7621 57, 7621 (1998).
    • (1998) Phys. Rev. B , vol.57 , pp. 7621
    • Hakala, M.1    Puska, M.J.2    Nieminen, R.M.3
  • 38
    • 0032514055 scopus 로고    scopus 로고
    • PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.81.421
    • A. W. R. Leitch, V. Alex, and J. Weber, Phys. Rev. Lett. PRLTAO 0031-9007 10.1103/PhysRevLett.81.421 81, 421 (1998).
    • (1998) Phys. Rev. Lett. , vol.81 , pp. 421
    • Leitch, A.W.R.1    Alex, V.2    Weber, J.3
  • 43
    • 0037091445 scopus 로고    scopus 로고
    • PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.65.165436
    • Stefano Frabboni, Phys. Rev. B PRBMDO 0163-1829 10.1103/PhysRevB.65. 165436 65, 165436 (2002).
    • (2002) Phys. Rev. B , vol.65 , pp. 165436
    • Frabboni, S.1


* 이 정보는 Elsevier사의 SCOPUS DB에서 KISTI가 분석하여 추출한 것입니다.