Modeling the extended defect evolution in lateral epitaxial overgrowth of GaN: Subgrain stability

Journal of Applied Physics

Volumn 93, Issue 1, 2003, Pages 106-114

  Romanov, A E ^a,b   Fini, P ^a   Speck, J S ^a  

^a University of California   (United States)

^b IOFFE INSTITUTE   (Russian Federation)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTAL DEFECTS; CRYSTAL ORIENTATION; DISLOCATIONS (CRYSTALS); EPITAXIAL GROWTH; MORPHOLOGY;

LATERAL EPITAXIAL OVERGROWTH (LEO);

GALLIUM NITRIDE;

EID: 0037246605     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1524013     Document Type: Article

References (46)

1. S. J. Rosner, E. C. Carr, M. J. Ludowise, G. Girolami, and H. I. Erikson, Appl. Phys. Lett. 70, 420 (1997).
2. T. Sugahara, H. Sato, M. S. Hao, Y. Naoi, S. Kurai, S. Tottori, K. Yamashita, K. Nishino, L. T. Romano, and S. Sakai, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 37, L398 (1998).
3. N. G. Weimann, L. F. Eastman, D. Doppalapudi, H. M. Ng, and T. D. Moustakas, J. Appl. Phys. 83, 3656 (1998).
4. D. C. Look and J. R. Sizelove, Phys. Rev. Lett. 82, 1237 (1999).
5. J. L. Farvacque, Z. Bougrioua, and I. Moerman, Phys. Rev. B 63, 115202 (2002).
6. J. S. Speck and S. J. Rosner, Physica B 273-274, 24 (1999).
7. T. S. Zheleva, O. H. Nam, M. D. Bremser, and R. F. Davis, Appl. Phys. Lett. 71, 2472 (1997).
8. O. H. Nam, M. D. Bremser, T. S. Zheleva, and R. F. Davis, Appl. Phys. Lett. 71, 2638 (1997).
9. A. Sakai, H. Sunakawa, and A. Usui, Appl. Phys. Lett. 71, 2259 (1997).
10. C. Sasaoka, H. Sunakawa, A. Kimura, M. Nido, A. Usui, and A. Sakai, J. Cryst. Growth 189/190, 61 (1998).
11. J. Wang, R. S. Qhalid Fareed, M. Hao, S. Mahanty, S. Tottori, Y. Ishikawa, T. Sugahara, Y. Morishima, K. Nishino, M. Osinski, and S. Sakai, J. Appl. Phys. 85, 1895 (1999).
12. K. Hiramatsu, K. Nishiyama, A. Motogaito, H. Miyake, Y. Iyechika, and T. Maeda, Phys. Status Solidi A 176, 535 (1999).
13. Z. Liliental-Weber and D. Cherns, J. Appl. Phys. 89, 7833 (2001).
14. S. Nakamura, M. Senoh, S.-I. Nagahama, N. Iwasa, T. Yamada, T. Matsushita, H. Kiyoku, Y. Sugimoto, T. Kozaki, H. Umemoto, M. Sano, and K. Chocho, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, L1568 (1997).
15. P. Kozodoy, J. P. Ibbetson, H. Marchand, P. T. Fini, S. Keller, J. S. Speck, S. P. DenBaars, and U. K. Mishra, Appl. Phys. Lett. 73, 975 (1998).
16. L. McCarthy, I. Smorchkova, H. Xing, P. Fini, S. Keller, J. S. Speck, S. P. DenBaars, M. J. W. Rodwell, and U. Mishra, Appl. Phys. Lett. 78, 2235 (2001).
17. N. Kuroda, C. Sasaoka, A. Kimura, A. Usui, and Y. Mochizuki, J. Cryst. Growth 189/190, 551 (1998).
18. H. Marchand, J. P. Ibbetson, P. T. Fini, S. Keller, S. P. DenBaars, J. S. Speck, and U. K. Mishra, J. Cryst. Growth 195, 328 (1998).
19. P. Fini, H. Marchand, J. P. Ibbetson, S. P. DenBaars, U. K. Mishra, and J. S. Speck, J. Cryst. Growth 209, 581 (2000).
20. A. Sakai, H. Sunakawa, and A. Usui, Appl. Phys. Lett. 73, 481 (1998).
21. X. H. Wu, C. R. Elsass, A. Abare, M. Mack, S. Keller, P. M. Petroff, S. P. DenBaars, J. S. Speck, and S. J. Rosner, Appl. Phys. Lett. 72, 692 (1998).
22. R. S. Qhalid Fareed, J. W. Yang, J. Zhang, V. Adivarahan, V. Chaturvedi, and M. Asif Khan, Appl. Phys. Lett. 77, 2343 (2000).
23. A. Sakai, H. Sunakawa, A. Kimura, and A. Usui, Appl. Phys. Lett. 76, 442 (2000).
24. X. H. Wu, P. Fini, E. J. Tarsa, B. Heying, S. Keller, U. K. Mishra, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, J. Cryst. Growth 189/190, 231 (1998).
25. P. Fini, X. Wu, E. J. Tarsa, Y. Golan, V. Srikant, S. Keller, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 37, 4460 (1998).
26. K. A. Dunn, S. E. Babcock, R. Vaudo, V. Phanse, and J. Redwing, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 482, 417 (1998).
27. A. E. Romanov and V. I. Vladimirov, in Dislocation in Solids, edited by F. R. N. Nabarro (Elsevier, New York, 1992), Vol. 9, p. 241.
28. J. P. Hirth and J. Lothe, Theory of Dislocations, 2nd ed. (Wiley, New York, 1982).
29. A. E. Romanov, M. J. Lefevre, J. S. Speck, W. Pompe, S. K. Streiffer, and C. M. Foster, J. Appl. Phys. 83, 2754 (1998).
30. S. K. Mathis, A. E. Romanov, L. F. Chen, G. E. Beltz, W. Pompe, and J. S. Speck, J. Cryst. Growth 231, 371 (2001).
31. J. S. Speck, M. A. Brewer, G. Beltz, A. E. Romanov, and W. Pompe, J. Appl. Phys. 80, 3808 (1996).
32. J. Lothe, in Elastic Strain Field and Dislocation Mobility, edited by V. L. Indenbom and J. Lothe, (North-Holland, Amsterdam, 1992), p. 329.
33. J. W. Steeds, Introduction to Anisotropic Elasticity Theory of Dislocations. (Oxford University, New York, 1973).
34. M. M. Savin, V. M. Chernov, and A. M. Strokova, Phys. Status Solidi A 35, 747 (1976).
35. A. Pollian, M. Grimsditch, and I. Grzegory, J. Appl. Phys. 79, 3343 (1996).
36. S. Einfeldt, A. M. Roskowski, E. A. Preble, and R. F. Davis, Appl. Phys. Lett. 80, 953 (2002).
37. Z. Feng, E. Lovell, R. Engelstad, T. Kuech, and S. Babcock, Appl. Phys. Lett. 80, 1547 (2002).
38. M. Benyoucef, M. Kuball, B. Beaumont, and P. Gibart, Appl. Phys. Lett. 80, 2275 (2002).
39. A. Seeger and P. Haasen, Philos. Mag. 3, 470 (1958).
40. A. A. Nazarov, A. E. Romanov, and R. Z. Valiev, Scr. Mater. 34, 729 (1996).
41. T. Böttcher, S. Einfeldt, S. Figge, R. Chierchia, H. Heinke, D. Hommel, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 78, 1976 (2001).
42. J. Han, K. E. Waldrip, S. R. Lee, J. J. Figiel, S. J. Hearne, G. A. Petersen, and S. M. Myers, Appl. Phys. Lett. 78, 67 (2001).
43. T. S. Zheleva, W. M. Ashmawi, O.-H. Nam, and R. F. Davis, Appl. Phys. Lett. 74, 2492 (1999).
44. P. Fini, A. Munkholm, C. Thompson, G. B. Stephenson, J. A. Eastman, M. V. R. Murty, O. Auciello, L. Zhao, S. P. DenBaars, and J. S. Speck, Appl. Phys. Lett. 76, 3893 (2000).
45. A. Seifert, A. Berger, and W. F. Muller, J. Am. Ceram. Soc. 75, 873 (1992).
46. J. W. Mathews and A. E. Blakeslee, J. Cryst. Growth 27, 118 (1974).