Depth profiling of metal overlayers on organic substrates with cluster SIMS

Analytical Chemistry

Volumn 85, Issue 21, 2013, Pages 10565-10572

  Shen, Kan ^a   Mao, Dan ^a   Garrison, Barbara J ^a   Wucher, Andreas ^b   Winograd, Nicholas ^a  

^a PENNSYLVANIA STATE UNIVERSITY   (United States)

^b UNIVERSITY OF DUISBURG ESSEN   (Germany)

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CLUSTER ION BEAMS; DAMAGE ACCUMULATION; METAL OVERLAYERS; MOLECULAR DEPTH PROFILING; ORGANIC STRUCTURES; ORGANIC SUBSTRATE; ORGANIC THIN FILMS; THIN-FILM STRUCTURE;

CHOLESTEROL; DEPTH PROFILING; EROSION; FILM PREPARATION; FILM THICKNESS; GOLD; GOLD DEPOSITS; HYBRID MATERIALS; METALLIC FILMS; SECONDARY ION MASS SPECTROMETRY; SPUTTERING; SUBSTRATES; THIN FILMS;

GOLD COMPOUNDS;

EID: 84887715949     PISSN: 00032700     EISSN: 15206882     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ac402658r     Document Type: Article

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