Functionalization of fine particles using atomic and molecular layer deposition

ECS Transactions

Volumn 25, Issue 4, 2009, Pages 163-190

  King, D M ^a   Liang, X H ^a   Weimer, A W ^a  

^a University of Colorado at Boulder   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALUMINA; ALUMINUM OXIDE; ATOMS; CHEMICAL REACTORS; FLUIDIZED BED FURNACES; FLUIDIZED BEDS; HYBRID MATERIALS; II-VI SEMICONDUCTORS; INERT GASES; MAGNETIC SEMICONDUCTORS; OXIDE MINERALS; POLYMER FILMS; REFRACTORY METALS; SEMICONDUCTING ALUMINUM COMPOUNDS; SEMICONDUCTING ZINC COMPOUNDS; SILICA; SUPERSATURATION; TITANIUM DIOXIDE; WIDE BAND GAP SEMICONDUCTORS; ZINC OXIDE;

CONTINUOUS FLOWS; ECONOMIC VIABILITY; FLUIDIZED BED REACTORS; FUNCTIONALIZATIONS; MOLECULAR LAYER DEPOSITION; PRIMARY PARTICLES; REFRACTORY OXIDES; SEMICONDUCTOR FILMS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 74249121856     PISSN: 19385862     EISSN: 19386737     Source Type: Conference Proceeding    
DOI: 10.1149/1.3205053     Document Type: Conference Paper

References (74)

1. S. L. Zhang and M. Ostling, Crit Rev Solid State, 28, 1 (2003).
2. Y. Song, A. L. Schmitt and S. Jin, Nano Lett., 7, 965 (2007).
3. D. K. Lim, O. Kubo, Y. Shingaya, T. Nakayama, Y. H. Kim, J. Y. Lee, M. Aono, H. Lee, D. Lee and S. Kim, Appl. Phys. Lett., 92, 203114 (2008).
4. E. J. Tan, K. L. Pey, N. Singh, G. Q. Lo, D. Z. Chi, Y. K. Chin, L. J. Tang, P. S. Lee and C. K. F. Ho, Electron Device Letters. IEEE, 29, 902 (2008).
5. B. Liu, Y. Wang, S. Dilts, T. S. Mayer and S. E. Mohney, Nano Lett., 7, 818 (2007).
6. J. Xiang, W. Lu, Y. Hu, Y. Wu, H. Yan and C. M. Lieber, Nature, 441, 489 (2006).
7. L. J. Lauhon, M. S. Gudiksen, D. Wang and C. M. Lieber, Nature, 420, 57 (2002).
8. Y. Li, F. Qian, J. Xiang and C. M. Lieber, Materials Today, 9, 18 (2006).
9. H.-B.-R. Lee and H. Kim, ECS Transactions, 16, 219 (2008).
10. W.-H. Kim, S.-J. Park, J.-Y. Son and H. Kim, Nanotechnology, 19, 045302 (2008).
11. K. Maex, Mater. Sci. Eng., R, 11, vii (1993).
12. A. C. Dillon, A. W. Ott, J. D. Way and S. M. George, Surf. Sci., 322, 230 (1995).
13. S. George, A. Ott and J. Klaus, J PHYS CHEM-US, 100, 13121 (1996).
14. M. Ritala and M. Leskela, Atomic Layer Deposition, Academic Press, San Diego (2002).
15. B. S. Lim, A. Rahtu and R. G. Gordon, Nature Materials, 2, 749 (2003).
16. C. H. L. Goodman and M. V. Pessa, Journal of Applied Physics, 60, R65 (1986).
17. T. Suntola, Materials Science Reports, 4, 261 (1989).
18. J. D. Ferguson, A. W. Weimer and S. M. George, Chemistry of Materials, 16, 5602 (2004).
19. J. D. Ferguson, K. J. Buechler, A. W. Weimer and S. M. George, Powder Technology, 156, 154 (2005).
20. J. D. Ferguson, E. R. Smith, A. W. Weimer and S. M. George, Journal of the Electrochemical Society, 151, G528 (2004).
21. J. D. Ferguson, A. W. Weimer and S. M. George, Chemistry of Materials, 12, 3472 (2000).
22. J. D. Ferguson, A. W. Weimer and S. M. George, Applied Surface Science, 162, 280 (2000).
23. J. D. Ferguson, A. W. Weimer and S. M. George, Thin Solid Films, 371, 95 (2000).
24. J. D. Ferguson, A. W. Weimer and S. M. George, Thin Solid Films, 413, 16 (2002).
25. J. D. Ferguson, A. W. Weimer and S. M. George, Journal of Vacuum Science & Technology A, 23, 118 (2005).
26. J. D. Ferguson, A. R. Yoder, A. W. Weimer and S. M. George, Applied Surface Science, 226, 393 (2004).
27. J. R. Wank, S. M. George and A. W. Weimer, Powder Technology, 121, 195 (2001).
28. J. R. Wank, S. M. George and A. W. Weimer, Powder Technology, 142, 59 (2004).
29. J. R. Wank, S. M. George and A. W. Weimer, Journal of the American Ceramic Society, 87, 762 (2004).
30. L. F. Hakim, J. Blackson, S. M. George and A. W. Weimer, Chemical Vapor Deposition, 11, 420 (2005).
31. L. F. Hakim, J. H. Blackson and A. W. Weimer, Chemical Engineering Science, 62, 6199 (2007).
32. L. F. Hakim, S. M. George and A. W. Weimer, Nanotechnology, 16, S375 (2005).
33. L. F. Hakim, D. M. King, Y. Zhou, C. J. Gump, S. M. George and A. W. Weimer, Advanced Functional Materials, 17, 3175 (2007).
34. L. F. Hakim, J. A. McCormick, G. D. Zhan, A. W. Weimer, P. Li and S. M. George, Journal of the American Ceramic Society, 89, 3070 (2006).
35. L. F. Hakim, J. L. Portman, M. D. Casper and A. W. Weimer, Powder Technology, 160, 149 (2005).
36. D. M. King, X. H. Liang, Y. Zhou, C. Carney, P. Li, L. F. Hakim and A. W. Weimer, Powder Technology, 183 (2008).
37. C. A. Wilson, D. N. Goldstein, J. A. McCormick, A. W. Weimer and S. M. George, Journal of Vacuum Science & Technology A, 26, 430 (2008).
38. C. A. Wilson, J. A. McCormick, A. S. Cavanagh, D. N. Goldstein, A. W. Weimer and S. M. George, Thin Solid Films, 516, 6175 (2008).
39. X. Liang, D. M. King, M. D. Groner, J. H. Blackson, J. D. Harris, S. M. George and A. W. Weimer, Journal of Membrane Science, 322, 105 (2008).
40. X. H. Liang, S. M. George, A. W. Weimer, N. H. Li, J. H. Blackson, J. D. Harris and P. Li, Chemistry of Materials, 19, 5388 (2007).
41. X. H. Liang, L. F. Hakim, G. D. Zhan, J. A. McCormick, S. M. George, A. W. Weimer, J. A. Spencer, K. J. Buechler, J. Blackson, C. J. Wood and J. R. Dorgan, Journal of the American Ceramic Society, 90, 57 (2007).
42. X. H. Liang, D. M. King, P. Li and A. W. Weimer, Journal of the American Ceramic Society, 92, 649 (2009).
43. D. M. King, S. I. Johnson, J. H. Li, X. H. Du, X. H. Liang and A. W. Weimer, Nanotechnology, 20 (2009).
44. D. M. King, X. H. Liang, B. B. Burton, M. K. Akhtar and A. W. Weimer, Nanotechnology, 19 (2008).
45. D. M. King, X. H. Liang, C. S. Carney, L. F. Hakim, P. Li and A. W. Weimer, Advanced Functional Materials, 18, 607 (2008).
46. D. M. King, X. H. Liang, P. Li and A. W. Weimer, Thin Solid Films, 516, 8517 (2008).
47. D. M. King, Y. Zhou, L. F. Hakim, X. H. Liang, P. Li and A. W. Weimer, Industrial & Engineering Chemistry Research, 48, 352 (2009).
48. D. M. King, J. H. Li, X. H. Liang, S. I. Johnson, M. M. Channel and A. W. Weimer, Crystal Growth & Design, 9, 2828 (2009).
49. S. George, J. Ferguson and A. Weimer, U.S. Patent 6, 613, 383 (2003).
50. R. E. Winans, S. Vajda, G. E. Ballentine, J. W. Elam, B. D. Lee, M. J. Pelline, S. Seifert, G. Y. Tikhonov and N. A. Tomczyk, Topics in Catalysis, 39, 145 (2006).
51. S. Vajda, M. J. Pellin, J. P. Greeley, C. L. Marshall, L. A. Curtiss, G. A. Ballentine, J. W. Elam, S. Catillon-Mucherie, P. C. Redfern, F. Mehmood and P. Zapol, Nature Materials, 8, 213 (2009).
52. S. T. Christensen, J. W. Elam, B. Lee, Z. Feng, M. J. Bedzyk and M. C. Hersam, Chemistry of Materials, 21, 516 (2009).
53. S. T. Christensen, J. W. Elam, F. A. Rabuffetti, Q. Ma, S. J. Weigand, B. Lee, S. Seifert, P. C. Stair, K. R. Poeppelmeier, M. C. Hersam and M. J. Bedzyk, Small, 5, 750 (2009).
54. S. Ghosal, T. F. Baumann, J. S. King, S. O. Kucheyev, Y. M. Wang, M. A. Worsley, J. Biener, S. F. Bent and A. V. Hamza, Chemistry of Materials, 21, 1989 (2009).
55. J. S. King, A. Wittstock, J. Biener, S. O. Kucheyev, Y. M. Wang, T. F. Baumann, S. K. Giri, A. V. Hamza, M. Baeumer and S. F. Bent, Nano Letters, 8, 2405 (2008).
56. X. R. Jiang, H. Huang, F. B. Prinz and S. F. Bent, Chemistry of Materials, 20, 3897 (2008).
57. S. M. George, B. Yoon and A. A. Dameron, Accounts of Chemical Research, 42, 498 (2009).
58. A. A. Dameron, D. Seghete, B. B. Burton, S. D. Davidson, A. S. Cavanagh, J. A. Bertrand and S. M. George, Chemistry of Materials, 20, 3315 (2008).
59. N. M. Adarnczyk, A. A. Dameron and S. M. George, Langmuir, 24, 2081 (2008).
60. X. Liang, D. M. King, P. Li, S. M. George and A. W. Weimer, Aiche Journal, 55, 1030(2009).
61. D. Kunii and O. Levenspiel, Fluidization Engineering, p. 534, John Wiley and Sons, New York (1969).
62. C. Nam, R. Pfeffer, R. Dave and S. Sundaresan, AICHE J, 50, 1776 (2004).
63. J. Jung and D. Gidaspow, J NANOPARTRES, 4, 483 (2002).
64. J. Wank, S. George and A. Weimer, Powder Technology, 121, 195 (2001).
65. L. Hakim, J. Portman, M. Casper and A. Weimer, Powder Technology, 160, 149 (2005).
66. D. M. King, J. A. Spencer, X. H. Liang, L. F. Hakim and A. W. Weimer, Surface & Coatings Technology, 201, 9163 (2007).
67. C. J. Brinker and G. W. Scherer, Sol-Gel Science, Academic Press, San Diego (1990).
68. Powell, J. Mater. Res., 12, 557 (1997).
69. M. Leskela and M. Ritala, THIN SOLID FILMS, 409, 138 (2002).
70. X. H. Liang, G. D. Zhan, D. M. King, J. A. McCormick, J. Zhang, S. M. George and A. W. Weimer, Diamond and Related Materials, 17, 185 (2008).
71. D. B. Farmer and R. G. Gordon, Nano Letters, 6, 699 (2006).
72. J. H. Braun, A. Baidins and R. E. Marganski, Progress in Organic Coatings, 20, 105 (1992).
73. J. R. Scheffe, A. Frances, D. M. King, X. H. Liang, B. A. Branch, A. S. Cavanagh, S. M. George and A. W. Weimer, Thin Solid Films, 517, 1874 (2009).
74. D. M. King, X. H. Du, A. S. Cavanagh and A. Weimer, Nanotechnology, 19 (2008).