Nitrogen incorporation in carbon nitride films produced by direct and dual ion-beam sputtering

Journal of Applied Physics

Volumn 98, Issue 7, 2005, Pages

  Abrasonis, G ^a   Gago, R ^a,b   Jimenez, I ^c   Kreissig, U ^a   Kolitsch, A ^a   Moller W ^a  

^a INSTITUTE OF ION BEAM PHYSICS AND MATERIALS RESEARCH   (Germany)

^b CENTRO DE MICROANÁLISIS DE MATERIALES   (Spain)

^c INSTITUTO DE CIENCIA Y TECNOLOGÍA DE POLÍMEROS   (Spain)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ELASTIC RECOIL DETECTION ANALYSIS (ERDA); ION-BEAM SPUTTERING (IBS); SPUTTERING BEAMS; X-RAY ABSORPTION NEAR-EDGE SPECTROSCOPY (XANES);

CARBON NITRIDE; FILM GROWTH; ION BEAMS; ION BOMBARDMENT; NITROGEN; SILICON; SPUTTER DEPOSITION; X RAY SPECTROSCOPY;

THIN FILMS;

EID: 27144483842     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.2081112     Document Type: Article

References (47)

1. J. Neidhardt, L. Hultman, E. Broitman, T. W. Scharf, and I. L. Singer, Diamond Relat. Mater. 13, 1882 (2004).
2. E. Broitman, N. Hellgren, K. Järrendahl, M. P. Johansson, S. Olafsson, G. Radnoczi, J. E. Sundgren, and L. Hultman, J. Appl. Phys. 89, 1184 (2001).
3. T. Katsuno, S. Nitta, H. Habuchi, V. Stolojan, and S. R. P. Silva, Appl. Phys. Lett. 85, 2803 (2004).
4. V. S. Veersamy, J. Yuan, G. A. J. Amaratunga, W. I. Milne, K. W. R. Gilkes, M. Weiler, and L. M. Brown, Phys. Rev. B 48, 17954 (1993).
5. B. Kleinsorge, A. C. Ferrari, J. Robertson, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 88, 1149 (2000).
6. S. Waidmann, M. Knupfer, J. Fink, B. Kleinsorge, and J. Robertson, J. Appl. Phys. 89, 3783 (3783).
7. M. Friedrich, Th. Welzel, R. Rochotzki, H. Kupfer, and D. R. T. Zahn, Diamond Relat. Mater. 6, 33 (1997).
8. A. Laskarakis, S. Logothetidis, and M. Gioti, Phys. Rev. B 64, 125419 (2001).
9. D. Das, K. H. Chen, S. Chattopadhyay, and L. C. Chen, J. Appl. Phys. 91, 4944 (2002).
10. M. Gioti and S. Logothetidis, Diamond Relat. Mater. 12, 957 (2003).
11. S. R. P. Silva, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, B. Rafferty, L. M. Brown, J. Schwan, D. F. Franceschini, and G. Mariotto, J. Appl. Phys. 81, 2626 (1997).
12. A. Ilie, O. Harel, N. M. Conway, T. Yagi, J. Robertson, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 87, 789 (2000).
13. S. E. Rodil, in Recent Research Developments in Applied Physics (Transworld Research Network, Kerala, India, 2003), Vol. 6, pp. 391-426.
14. H. Sjöström, S. Stafström, M. Boman, and J. E. Sundgren, Phys. Rev. Lett. 75, 1336 (1995).
15. H. Sjöström, L. Hultman, J. E. Sundgren, S. V. Hainsworth, T. F. Page, and G. S. A. M. Theunissen, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 56 (1996).
16. W. T. Zheng, H. Sjöström, I. Ivanov, K. Z. Xing, W. R. Salaneck, J. E. Greene, and J. E. Sundgren, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2696 (1996).
17. A. A. Voevodin, J. G. Jones, J. S. Zabinski, and L. Hultman, J. Appl. Phys. 92, 724 (2002).
18. G. Bongiorno, Carbon 43, 1460 (2005).
19. J. Neidhardt, Zs. Czigany, I. F. Brunell, and L. Hultman, J. Appl. Phys. 93, 3002 (2003).
20. N. Hellgren, K. Macak, E. Broitman, M. P. Johansson, L. Hultman, and J. E. Sundgren, J. Appl. Phys. 88, 524 (2000).
21. L. Hultman, J. Neidhardt, N. Hellgren, H. Sjoestroem, and J.-E. Sundgren, MRS Bull. 28, 194 (2003).
22. M. C. dos Santos and F. Alvarez, Phys. Rev. B 58, 13918 (1998).
23. R. Gago, I. Jiḿnez, J. Neidhardt, B. Abendroth, I. Caretti, L. Hultman, and W. Möller, Phys. Rev. B 71, 125414 (2005).
24. R. Gago, J. Neidhardt, M. Vinnichenko, U. Kreissig, Zs. Czigany, A. Kolitsch, L. Hultman, and W. Möller, Thin Solid Films 483, 89 (2005).
25. J. Neidhardt, L. Hultman, B. Abendroth, R. Gago, and W. Moeller, J. Appl. Phys. 94, 7059 (2003).
26. J. Neidhardt, H. Högberg, and L. Hultman, Surf. Sci. 569, L289 (2004).
27. J. Neidhardt, H. Högberg, and L. Hultman, Thin Solid Films 478, 34 (2005).
28. S. S. Todorov, D. Marton, K. J. Boyd, A. H. Al-Bayati, and J. W. Rabalais, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 3192 (1994).
29. P. Hammer and W. Gissler, Diamond Relat. Mater. 5, 1152 (1996).
30. N. A. Morrison, S. E. Rodil, J. Robertson, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 89, 5754 (2001).
31. J. M. Ripalda, Phys. Rev. B 60, R3705 (1999).
32. I. Jimenez, W. M. Tong, D. K. Shuh, B. C. Holloway, M. A. Kelly, P. Pianetta, L. J. Terminello, and F. J. Himpsel, Appl. Phys. Lett. 74, 2620 (1999).
33. C. Quiros, J. Gomez-Garcia, F. J. Palomares, L. Soriano, E. Elizalde, and J. M. Sanz, Appl. Phys. Lett. 77, 803 (2000).
34. N. Hellgren, J. Guo, C. Sathe, A. Agui, J. Nordgren, Y. Luo, H. Agren, and J. E. Sungren, Appl. Phys. Lett. 79, 4348 (2001).
35. N. Hellgren, Thin Solid Films 471, 19 (2005).
36. I. Jimenez, R. Gago, J. M. Albella, and L. J. Terminello, Diamond Relat. Mater. 10, 1170 (2001).
37. N. Hellgren, N. Lin, E. Broitman, V. Serin, S. E. Grillo, R. Twesten, I. Petrov, C. Colliex, L. Hultman, J. E. Sundgren, J. Mater. Res. 16, 3188 (2001).
38. K. Meyer, I. K. Schuller, and C. M. Falco, J. Appl. Phys. 52, 5803 (1981).
39. S. M. Rossnagel, J. Vac. Sci. Technol. A 21, S74 (2003).
40. K. H. Müller, Phys. Rev. B 35, 7906 (1987).
41. J. J. Cuomo, J. P. Doyle, J. Bruley, and J. C. Liu, Appl. Phys. Lett. 58, 466 (1991).
42. B. Kleinsorge, A. C. Ferrari, J. Robertson, W. I. Milne, S. Waidmann, and S. Hearne, Diamond Relat. Mater. 9, 64 (2000).
43. N. Hellgren, M. P. Johansson, E. Broitman, L. Hultman, and J. E. Sundgren, Phys. Rev. B 59, 5162 (1999).
44. M. Zeuner, J. Meichsner, H. Neumann, F. Scholze, and F. Bigl, J. Appl. Phys. 80, 611 (1996).
45. N. Hellgren, M. P. Johansson, E. Broitman, P. Sandström, L. Hultman, and J. E. Sungren, Thin Solid Films 382, 146 (2001).
46. P. Hammer, N. M. Victoria, and F. Alvarez, J. Vac. Sci. Technol. A 18, 2277 (2000).
47. C. Hopf, A. von Keudell, and W. Jacob, J. Appl. Phys. 94, 2373 (2003).