Spectroscopic studies of nitrogenated amorphous carbon films prepared by ion beam sputtering

Journal of Applied Physics

Volumn 91, Issue 8, 2002, Pages 4944-4955

  Das, Debajyoti ^a   Chen, K H ^a   Chattopadhyay, S ^b   Chen, L C ^b  

^a INSTITUTE OF ATOMIC AND MOLECULAR SCIENCES   (Taiwan)

^b NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY   (Taiwan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

BONDING CONFIGURATIONS; CARBON NETWORK; GAUSSIAN DECONVOLUTION; HIGH RESOLUTION; INTENSITY RATIO; ION-BEAM SPUTTERING; NITROGEN CONTENT; NITROGENATED AMORPHOUS CARBON FILMS; NITROGENATION; OPTICAL GAP; RAMAN BANDS; SPECTROSCOPIC STUDIES; X-RAY PHOTOELECTRONS;

AMORPHOUS CARBON; FILM PREPARATION; NITRIDES; NITROGEN; RAMAN SCATTERING; SPECTROSCOPIC ANALYSIS; SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY;

OPTICAL FILMS;

EID: 0037091842     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1459610     Document Type: Article

References (64)

1. H. Sjostrom, S. Stafstrom, M. Boman, and J. E. Sundgren, Phys. Rev. Lett. 75, 1336 (1995). prl PRLTAO 0031-9007
2. R. L. White, S. S. Bhatia, M. C. Friedenberg, S. W. Meeks, and C. M. Mate, Tribology 6, 33 (1996). trb TRBIBK 0301-679X
3. A. Grill, Surf. Coat. Technol. 94, 507 (1997). sct SCTEEJ 0257-8972
4. A. Grill and V. Patel, Diamond Relat. Mater. 2, 1519 (1993). drm DRMTE3 0925-9635
5. R. Prioli, S. I. Zanette, A. O. Caride, D. F. Franceschini, and F. L. Freire Jr., J. Vac. Sci. Technol. A 14, 2351 (1996). jva JVTAD6 0734-2101
6. J. M. Sivertsen, G. Wang, G. L. Chen, and J. H. Judy, IEEE Trans. Magn. 32, 3654 (1996). emg IEMGAQ 0018-9464
7. E. C. Cutiongco, D. Li, Y. W. Chung, and C. S. Bhatia, J. Tribol. 118, 543 (1996). jtq JOTRE9 0742-4787
8. H. Tsai and D. B. Bogy, J. Vac. Sci. Technol. A 5, 3287 (1987). jva JVTAD6 0734-2101
9. C. S. Bhatia, W. Fong, and D. B. Bogy, International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, May 2001, California.
10. B. Druz, S. Distefano, A. Hayes, E. Ostan, K. Williams, and L. Wang, Surf. Coat. Technol. 86, 708 (1996). sct SCTEEJ 0257-8972
11. M. Weiler, S. Sattel, T. Giessen, K. Jung, H. Ehrhardt, V. S. Veerasamy, and J. Robertson, Phys. Rev. B 53, 1594 (1996). prb PRBMDO 0163-1829
12. M. Nakayama, A. Tsujoshi, and M. Shibahara, J. Vac. Sci. Technol. A 13, 195 (1995). jva JVTAD6 0734-2101
13. Y. Lifschitz, Diamond Relat. Mater. 5, 388 (1996). drm DRMTE3 0925-9635
14. R. O. Dillon, J. A. Woollam, and V. Kathanant, Phys. Rev. B 29, 3482 (1994). prb PRBMDO 0163-1829
15. Y. Taki, T. Kitagawa, and O. Takai, Thin Solid Films 304, 183 (1997). tsf THSFAP 0040-6090
16. J. H. Kaufman, S. Metin, and D. D. Saparstein, Phys. Rev. B 39, 13053 (1989). prb PRBMDO 0163-1829
17. M. A. Tamor and W. C. Vassell, J. Appl. Phys. 76, 3823 (1994). jap JAPIAU 0021-8979
18. S. E. Rodil, A. C. Ferrari, J. Robertson, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 89, 5425 (2001). jap JAPIAU 0021-8979
19. J. Shiao and R. W. Hoffman, Thin Solid Films 283, 145 (1996). tsf THSFAP 0040-6090
20. N. M. Victoria, P. Hammer, M. C. dos Santos, and F. Alvarez, Phys. Rev. B 61, 1083 (2000). prb PRBMDO 0163-1829
21. A. K. M. S. Chowdhury, D. C. Cameron, and M. S. J. Hashmi, Thin Solid Films 332, 62 (1998). tsf THSFAP 0040-6090
22. C. A. Davis, D. R. Mackenzie, Y. Yin, E. Kravtchinskaia, G. A. J. Amaratunga, and V. S. Veerasamy, Philos. Mag. B 69, 1133 (1994). pmb PMABDJ 0141-8637
23. B. Kleinsorge, A. C. Ferrari, J. Robertson, and W. I. Milne, J. Appl. Phys. 88, 1149 (2000). jap JAPIAU 0021-8979
24. N. Hellgren, M. P. Johansson, E. Broitman, L. Hultman, and J. E. Sundgren, Phys. Rev. B 59, 5162 (1999). prb PRBMDO 0163-1829
25. L. C. Chen, H. Y. Lin, C. S. Wong, K. H. Chen, S. T. Lin, Y. C. Yu, C. W. Wang, E. K. Lin, and K. C. Ling, Diamond Relat. Mater. 8, 618 (1999). drm DRMTE3 0925-9635
26. J. J. Wu, T. R. Lu, C. T. Wu, T. Y. Wang, L. C. Chen, K. H. Chen, C. T. Kuo, T. M. Chen, Y. C. Yu, C. W. Wang, and E. K. Lin, Diamond Relat. Mater. 8, 605 (1999). drm DRMTE3 0925-9635
27. L. C. Chen, T. R. Lu, C. T. Kuo, D. M. Bhusari, J. J. Wu, K. H. Chen, and T. M. Chen, Appl. Phys. Lett. 72, 3449 (1998). apl APPLAB 0003-6951
28. S. Bhattacharyya, C. Cardinaud, and G. Turban, J. Appl. Phys. 83, 4491 (1998). jap JAPIAU 0021-8979
29. D. Marton, K. J. Boyd, A. H. Al-Bayati, S. S. Todorov, and J. W. Rabalais, Phys. Rev. Lett. 73, 118 (1994). prl PRLTAO 0031-9007
30. B. C. Holloway, D. K. Shuh, M. A. Kelly, W. Tong, J. A. Carlisle, I. Jimenez, D. G. J. Sutherland, L. J. Terminello, P. Pianetta, and S. Hagstrom, Thin Solid Films 290, 94 (1996). tsf THSFAP 0040-6090
31. B. C. Holloway, O. Kraft, D. K. Shuh, M. A. Kelly, W. D. Nix, P. Pianetta, and S. Hagstrom, Appl. Phys. Lett. 74, 3290 (1999). apl APPLAB 0003-6951
32. F. Fujimoto and K. Ogata, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 32, L420 (1993). jjc JAPLD8 0021-4922
33. S. Logothetidis, Int. J. Mod. Phys. B 14, 113 (2000). imb IJPBEV 0217-9792
34. M. Kildemo and B. Drevillon, Appl. Phys. Lett. 67, 918 (1999). apl APPLAB 0003-6951
35. Y. Hayashi, G. Yu, M. M. Rahman, K. M. Krishna, T. Soga, T. Jimbo, and M. Umeno, Appl. Phys. Lett. 78, 3962 (2001). apl APPLAB 0003-6951
36. S. R. P. Silva, J. Robertson, G. A. J. Amaratunga, B. Rafferty, L. M. Brown, J. Schwan, D. F. Franceschini, and G. Mariotto, J. Appl. Phys. 81, 2626 (1997). jap JAPIAU 0021-8979
37. J. Lee, R. W. Collins, V. S. Veerasamy, and J. Robertson, J. Non-Cryst. Solids 227, 617 (1998). jnc JNCSBJ 0022-3093
38. J. Robertson and E. P. O'Reilly, Phys. Rev. B 35, 2946 (1987). prb PRBMDO 0163-1829
39. J. Robertson, Philos. Trans. R. Soc. London, Ser. A 342, 277 (1993). ptr PTRMAD 0962-8428
40. A. Helmbold and D. Meissner, Thin Solid Films 283, 196 (1996). tsf THSFAP 0040-6090
41. A. Dasgupta, F. Demichelis, C. F. Pirri, and A. Tagliaferro, Phys. Rev. B 43, 2131 (1991). prb PRBMDO 0163-1829
42. L. C. Chen, C. T. Wu, J. J. Wu, and K. H. Chen, Int. J. Mod. Phys. B 14, 333 (2000). imb IJPBEV 0217-9792
43. O. Amir and R. Kalish, J. Appl. Phys. 70, 4958 (1991). jap JAPIAU 0021-8979
44. J. Schwan, V. Batori, S. Ulrich, H. Ehrhardt, and S. R. P. Silva, J. Appl. Phys. 84, 2071 (1998). jap JAPIAU 0021-8979
45. J. Schwan, W. Dworschak, K. Jung, and H. Ehrhardt, Diamond Relat. Mater. 3, 1034 (1994). drm DRMTE3 0925-9635
46. Y. Hayashi, H. Ebisu, M. K. Kalaga, T. Soga, M. Umeno, and T. Jimbo, Diamond Relat. Mater. 10, 1002 (2001). drm DRMTE3 0925-9635
47. F. Demichelis, Y. Lui, X. Rong, S. Schreiter, and A. Tagliaferro, Solid State Commun. 95, 475 (1995). ssc SSCOA4 0038-1098
48. S. F. Yoon, R. J. Ahn, Q. Zhang, C. Y. Yang, H. Yang, and F. Walt, Thin Solid Films 340, 62 (1999). tsf THSFAP 0040-6090
49. F. Tuinstra and J. Koenig, J. Chem. Phys. 53, 1126 (1970). jcp JCPSA6 0021-9606
50. N. Wada and S. A. Solin, Physica B & C 105, 353 (1981). pbc PHBCDQ 0378-4363
51. P. Lespada, R. Al-Jishi, and M. S. Dresselhaus, Carbon 20, 427 (1982). car CRBNAH 0008-6223
52. R. Nemanich, J. Glass, G. Lucovsky, and R. Shroder, J. Vac. Sci. Technol. A 6, 1782 (1988). jva JVTAD6 0734-2101
53. A. K. M. S. Chowdhury, D. C. Cameron, and M. A. Monclus, Thin Solid Films 355, 85 (1999). tsf THSFAP 0040-6090
54. M. Tabbal, P. Merel, S. Moisa, M. Chaker, A. Ricard, and M. Moisan, Appl. Phys. Lett. 69, 1698 (1996). apl APPLAB 0003-6951
55. C. Niu, Y. Z. Lu, and C. M. Lieber, Science 261, 334 (1993). sci SCIEAS 0036-8075
56. T. W. Scharf, R. D. Ott, D. Yang, and J. A. Barnard, J. Appl. Phys. 85, 3142 (1999). jap JAPIAU 0021-8979
57. C. Ronning, H. Feldermann, R. Merk, and H. Hofsass, P. Reinke, and J.-U. Thiele, Phys. Rev. B 58, 2207 (1998). prb PRBMDO 0163-1829
58. F. Rossi, B. Andre, A. Veen, P. E. Mijnarends, H. Schut, F. Labohm, H. Dunlop, M. P. Delplancke, and F. Hubbard, J. Mater. Res. 9, 2440 (1994). jmr JMREEE 0884-2914
59. A. Hoffman, R. Brener, I. Gouzman, C. Cytermann, H. Geller, L. Levin, and M. Kenny, Diamond Relat. Mater. 4, 292 (1995). drm DRMTE3 0925-9635
60. J. Q. Zhang, Y. Setsuhara, S. Miyake, and B. Kyoh, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 36, 6894 (1997). jjc JAPLD8 0021-4922
61. S. Chattopadhyay, L. C. Chen, C. T. Wu, K. H. Chen, J. S. Wu, Y. F. Chen, G. Lehmann, and P. Hess, Appl. Phys. Lett. 79, 332 (2001). apl APPLAB 0003-6951
62. J. C. Sanchez-Lopez, C. Donnet, F. Lefebvre, C. Fernandez-Ramos, and A. Fernandez, J. Appl. Phys. 90, 675 (2001). jap JAPIAU 0021-8979
63. L. C. Chen, C. T. Wu, C. Y. Wen, J. J. Wu, W. T. Liu, and C. W. Liu, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 592, 219 (2000). mrs MRSPDH 0272-9172
64. S. Chattopadhyay, S. C. Chien, L. C. Chen, K. H. Chen, and H. Y. Lee, Diam. Relat. Mater. (to be published).