Nitrogen bonding structure in carbon nitride thin films studied by soft x-ray spectroscopy

Applied Physics Letters

Volumn 79, Issue 26, 2001, Pages 4348-4350

  Hellgren, Niklas ^a   Guo, Jinghua ^b   Såthe, Conny ^b   Agui, Akane ^b   Nordgren, Joseph ^b   Luo, Yi ^c   Ågren, Hans ^c   Sundgren, Jan Eric ^a  

^a LINKÖPING UNIVERSITY   (Sweden)

^b UPPSALA UNIVERSITY   (Sweden)

^c ROYAL INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Sweden)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 0035945156     PISSN: 00036951     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1428108     Document Type: Article

References (19)

1. H. Sjöström, S. Stafström, M. Boman, and J.-E. Sundgren, Phys. Rev. Lett. 75, 1336 (1995).
2. E. Broitman, N. Hellgren, O. Wänstrand, M. P. Johansson, T. Berlind, H. Sjöström, J.-E. Sundgren, M. Larsson, and L. Hultman, Wear 248, 55 (2001).
3. For a review, see, C. Ronning, H. Feldermann, R. Merk, H. Hofsäss, P. Reinke, and J.-U. Thiele, Phys. Rev. B 58, 2207 (1998).
4. N. Hellgren, M. P. Johansson, E. Broitman, L. Hultman, and J.-E. Sundgren, Phys. Rev. B 59, 5162 (1999).
5. Y. Ma, H. Yang, J.-H. Guo, C. Såthe, A. Agui, and J. Nordgren, Appl. Phys. Lett. 72, 3353 (1998).
6. J.-H. Guo, W. T. Zheng, C. Såthe, N. Hellgren, A. Agui, J.-E. Sundgren, and J. Nordgren, J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom. 101-103, 551 (1999).
7. Y. Muramatsu, Y. Tani, Y. Aoi, E. Kamijo, T. Kaneyoshi, M. Motoyama, J. J. Delauny, T. Hayashi, M. M. Grush, T. A. Callcott, D. L. Ederer, C. Heske, J. H. Underwood, and R. C. C. Perera, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 38, 5143 (1999).
8. N. Lin, N. Hellgren, M. P. Johansson, L. Hultman, R. Erlandsson, and J.-E. Sundgren, Phys. Rev. B 61, 4898 (2000).
9. N. Hellgren, M. P. Johansson, E. Broitman, P. Sandström, L. Hultman, and J.-E. Sundgren, Thin Solid Films 382, 146 (2001).
10. T. Warwick, P. Heimann, D. Mossessian, W. MacKinney, and H. Padmore, Rev. Sci. Instrum. 66, 2037 (1995).
11. J. Nordgren, G. Bray, C. Cramm, R. Nyholm, J.-E. Rubensson, and N. Wassdahl, Rev. Sci. Instrum. 60, 1690 (1989).
12. M. E. Casida, C. Daul, A. Goursot, A. Koester, L. G. M. Pettersson, E. Proynov, A. St.-Amant, D. R. Salahub principal authors, H. Duarte, N. Godbout, J. Guan, C. Jamorski, M. Leboeuf, V. Malkin, O. Malkina, M. Nyberg, L. Pedocchi, F. Sim, L. Triguero, and A. Vela contributing authors, deMon-KS version 4.0, deMon Software, 1997.
13. L. Triguero, L. G. M. Pettersson, and H. Ågren, Phys. Rev. B 58, 8097 (1999).
14. M. Nyberg, Y. Luo, L. Triguero, L. G. M. Pettersson, and H. Ågren, Phys. Rev. B 60, 7956 (1999).
15. Y. Luo, H. Ågren, and F. Gel'mukhanov, J. Phys. B 27, 4169 (1994).
16. O. Plashkevych, A. Snis, L. Yang, H. Ågren, and S. F. Matar, Phys. Scr. 63, 70 (2001).
17. J. M. Ripalda, E. Román, N. Díaz, L. Galán, I. Montero, G. Comelli, A. Baraldi, S. Lizzit, A. Goldoni, and G. Paolucci, Phys. Rev. B 60, R3705 (1999).
18. I. Shimoyama, G. Wu, T. Sekiguchi, and Y. Baba, Phys. Rev. B 62, R6053 (2000).
19. C. Quirós, J. Gómez-García, F. J. Palomares, L. Soriano, E. Elizalde, and J. M. Sanz, Appl. Phys. Lett. 77, 803 (2000).