Non-destructive, room temperature characterization of wafer-sized III-V semiconductor device structures using contactless electromodulation and wavelength-modulated surface photovoltage spectroscopy

Physica Status Solidi (A) Applications and Materials Science

Volumn 202, Issue 7, 2005, Pages 1193-1207

  Huang, Y S ^a   Pollak, F H ^b,c  

^a NATIONAL TAIWAN UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY   (Taiwan)

^b CITY UNIVERSITY OF NEW YORK   (United States)

^c Semiconductor Characterization Instruments Inc   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CONTACTLESS ELECTROREFLECTANCE (CER); ELECTROMODULATION; EXCITONIC TRANSITIONS; WAVELENGTH-MODULATED SURFACE PHOTOVOLTAGE SPECTROSCOPY;

CHARACTERIZATION; ELECTRIC POTENTIAL; ELECTRON MOBILITY; HETEROJUNCTION BIPOLAR TRANSISTORS; LASERS; LIGHT REFLECTION; NONDESTRUCTIVE EXAMINATION; SEMICONDUCTING GALLIUM COMPOUNDS; SEMICONDUCTOR QUANTUM WELLS; THERMAL EFFECTS;

SEMICONDUCTOR DEVICE STRUCTURES;

EID: 25444489882     PISSN: 18626300     EISSN: 18626319     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/pssa.200460900     Document Type: Conference Paper

References (65)

1. F. H. Pollak and H. Shen, Mater. Sci. Eng. R 10, 275 (1993).
2. F. H. Pollak, Modulation Spectroscopy of Semiconductors and Semiconductor Microstructures, edited by M. Balkanski, Handbook on Semiconductors Vol. 2 (Elsevier, Amsterdam, 1994), p. 527.
3. O. J. Glembocki, and B. V. Shanabrook, Semiconductors and Semimetals Vol. 36, edited by D. G. Seiler and C. L. Littler (Academic Press, New York, 1992), p. 222.
4. F. H. Pollak, Encyclopedia of Materials Characterization: Surfaces, Interfaces and Thin Films, edited by C. Evans, R. Brundle, and S. Wilson, (Butterworth-Heinemann, Boston, 1992), p. 235.
5. J. Misiewicz, P. Sitarek, G. Sȩk, and R. Kudrawiec, Mater. Sci. 21, 263 (2003).
6. X. Yin, F. H. Pollak, L. Pawlowicz, T. O'Neill, and M. Hafizi, Appl. Phys. Lett. 56, 1278 (1990).
7. N. Bottka, D. K. Gaskill, P. D. Wright, R. W. Kaliski, and D. A. Williams, J. Cryst. Growth 107, 893 (1991).
8. W. D. Sun and F. H. Pollak, J. Appl. Phys. 83, 4447 (1998).
9. Y. S. Huang, W. D. Sun, L. Malikova, F. H. Pollak, T. S. Low, and J. S. C. Chang, Appl. Phys. Lett. 73, 1215 (1998).
10. A. C. Han, M. Wojtowicz, T. R. Block, X. Zhang, T. P. Chin, A. Cavus, A. Oki, and D. C. Streit, J. Appl. Phys. 86, 6160 (1999).
11. Y. S. Huang, W. D. Sun, F. H. Pollak, J. L. Freeouf, I. D. Calder, and R. E. Mallard, Appl. Phys. Lett. 73, 214 (1998).
12. C. J. Lin, Y. S. Huang, N. Y. Li, P. W. Li, and K. K. Tiong, J. Appl. Phys. 90, 4565 (2001).
13. Y. S. Huang, C. J. Lin, C. H. Wang, N. Y. Li, C. C. Fan, and P. W. Li, IEE Proc., Optoelectron. 150, 99 (2003).
14. D. Yan, F. H. Pollak, V. T. Boccio, C. L. Lin, P. D. Kirchner, J. M. Woodall, R. C. Gee, and P. M. Asbeck, Appl. Phys. Lett. 61, 2066 (1992).
15. K. T. Hsu, Y. H. Chen, K. L. Chen, H. P. Chen, H. H. Lin, and G. J. Jan, Appl. Phys. Lett. 64, 1974 (1994).
16. K. L. Chen, H. H. Lin, G. J. Jan, Y. H. Chen, and P. K. Tseng, Appl. Phys. Lett. 66, 2697 (1995).
17. Y. Yin, H. Qiang, F. H. Pollak, D. C. Streit, and M. Wojtowicz, Appl. Phys. Lett. 61, 1579 (1992).
18. G. Gumbs, D. Huang, Y. Yin, H. Qiang, D. Yan, F. H. Pollak, and T. F. Noble, Phys. Rev. B 48, 18328 (1993).
19. Y. Yin, H. Qiang, D. Yan, F. H. Pollak, and T. F. Noble, Semicond. Sci. Technol. 8, 1599 (1993).
20. A. Dimoulas, K. Zekentes, M. Androulidaki, N. Kornelios, C. Michelakis, and Z. Hatzopoulos, Appl. Phys. Lett. 63, 1417 (1993).
21. A. Dimoulas, J. Davidow, K. P. Giapis, A. Georgakilas, G. Halkias, and N. Kornelios, J. Appl. Phys. 80, 3484 (1996).
22. A. C. Han, M. Wojtowicz, D. Pascua, T. R. Block, and D. C. Streit, J. Appl. Phys. 82, 2607 (1997).
23. Y. S. Huang, W. D. Sun, L. Malikova, F. H. Pollak, I. Ferguson, H. Hou, Z. C. Feng, T. Ryan, and E. B. Fantner, Appl. Phys. Lett. 74, 1851 (1999).
24. D. Y. Lin, Y. S. Huang, K. K. Tiong, F. H. Pollak, and K. R. Evans, Semicond. Sci. Technol. 14, 103 (1999).
25. D. Y. Lin, S. H. Liang, Y. S. Huang, K. K. Tiong, F. H. Pollak, and K. R. Evans, J. Appl. Phys. 85, 8235 (1999).
26. T. H. Chen, Y. S. Huang, D. Y. Lin, F. H. Pollak, M. S. Goorsky, D. C. Streit, and M. Wojtowicz, J. Appl. Phys. 88, 883 (2000).
27. D. Y. Lin, Y. S. Huang, T. S. Shou, K. K. Tiong, and F. H. Pollak, J. Appl. Phys. 90, 6421 (2001).
28. W. Krystek, M. Leibovitch, W. D. Sun, F. H. Pollak, G. Gumbs, G. T. Burnham, and X. Wang, J. Appl. Phys. 84, 2229 (1998).
29. S. Moneger, H. Qiang, F. H. Pollak, D. L. Mathine, R. Droopad, and G. N. Maracas, Solid-State Electron. 39, 871 (1996).
30. A. Jaeger, W. D. Sun, F. H. Pollak, C. L. Reynolds, Jr., and M. Geva, J. Appl. Phys. 86, 2020 (1999).
31. L. Aigouy, F. H. Pollak, and G. Gumbs, Appl. Phys. Lett. 70, 2562 (1997).
32. P. D. Berger, C. Bru, T. Benyattou, G. Guillot, A. Chenevas-Paule, L. Couturier, and P. Grosse, Appl. Phys. Lett. 68, 4 (1995).
33. P. J. Klar, G. Rowland, T. E. Sale, T. J. C. Hosea, and R. Grey, phys. stat. sol. (a) 170, 145 (1998).
34. P. M. A. Vincente, P. J. S. Thomas, D. Lancefield, T. E. Sale, T. J. C. Hosea, and R. Grey, phys. stat. sol. (b) 211, 255 (1999).
35. P. J. Klar, G. Rowland, P. J. S. Thomas, A. Onischenko, T. E. Sale, T. J. C. Hosea, and R. Grey, Phys. Rev. B 59, 2894 (1999).
36. P. J. Klar, G. Rowland, P. J. S. Thomas, A. Onischenko, T. E. Sale, T. J. C. Hosea, and R. Grey, Phys. Rev. B 59, 2902 (1999).
37. T. E. Sale, T. J. C. Hosea, and P. J. S. Thomas, IEEE Photonics Technol. Lett. 12, 1328 (2000).
38. S. Ghosh, T. J. C. Hosea, and S. B. Constant, Appl. Phys. Lett. 78, 3050 (2001).
39. Y. S. Huang, L. Malikova, F. H. Pollak, H. Shen, J. Pamulapati, and P. Newman, Appl. Phys. Lett. 77, 37 (2000).
40. B. Adamowicz and J. Szuber, Surf. Sci. 247, 94 (1991).
41. L. Kronik and Y. Shapira, Surf. Sci. Rep. 37, 1 (1999).
42. N. Ashkenasy, M. Leibovitch, Y. Rosenwaks, and Y. Shapira, Mater. Sci. Eng. B 74, 1125 (2000).
43. L. Kronik and Y. Shapira, Surf. Interface Anal. 31, 954 (2001).
44. B. Mishori, M. Leibovitch, Y. Shapira, F. H. Pollak, D. C. Streit, and M. Wojtowicz, Appl. Phys. Lett. 73, 650 (1998).
45. Y. T. Cheng, Y. S. Huang, D. Y. Lin, K. K. Tiong, F. H. Pollak, and K. R. Evans, Appl. Phys. Lett. 79, 949 (2001).
46. N. Ashkenasy, M. Leibovitch, Y. Shapira, F. H. Pollak, G. T. Burnham, and X. Wang, J. Appl. Phys. 83, 1146 (1998).
47. J. S. Liang, Y. S. Huang, C. W. Tien, Y. M. Chang, C. W. Chen, N. Y. Li, P. W. Li, and F. H. Pollak, Appl. Phys. Lett. 79, 3227 (2001).
48. J. S. Liang, S. D. Wang, Y. S. Huang, C. W. Tien, Y. M. Chang, C. W. Chen, N. Y. Li, D. Y. Lin, and F. H. Pollak, Appl. Phys. Lett. 80, 752 (2002).
49. J. S. Liang, S. D. Wang, Y. S. Huang, C. W. Tien, Y. M. Chang, C. W. Chen, N. Y. Li, K. K. Tiong, and F. H. Pollak, J. Phys.: Condens. Matter 15, 55 (2003).
50. Y. S. Huang, L. Malikova, F. H. Pollak, J. P. Debray, R. Hoffman, A. Amtout, and R. A. Stall, J. Appl. Phys. 91, 6203 (2002).
51. S. D. Wang, J. S. Liang, Y. S. Huang, C. W. Tien, Y. M. Chang, C. W. Chen, N. Y. Li, K. K. Tiong, and F. H. Pollak, J. Appl. Phys. 92, 2350 (2002).
52. J. S. Liang, S. D. Wang, Y. S. Huang, L. Malikova, F. H. Pollak, J. P. Debray, R. Hoffman, A. Amtout, and R. A. Stall, J. Appl. Phys. 93, 1874 (2003).
53. F. H. Pollak, Modulation Spectroscopy of the Group III-Nitrides, in: Group III Nitride Semiconductor Compounds, edited by B. Gil (Clarendon, Oxford, 1998), p. 158.
54. W. Krystek, F. H. Pollak, Z. C. Feng, M. Schurman, and R. A. Stall, Appl. Phys. Lett. 72, 1353 (1998).
55. D. Yan, H. Qiang, and F. H. Pollak, Rev. Sci. Instrum. 65, 1988 (1994).
56. W. M. Theis, G. D. Sanders, C. E. Leak, K. K. Bajaj, and H. Morkoç, Phys. Rev. B 37, 3042 (1988).
57. O. J. Glembocki and B. V. Shanabrook, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. (SPIE, Bellingham) 794, 74 (1987).
58. H. Shen and M. Dutta, Appl. Phys. Lett. 57, 587 (1990).
59. M. Sydor and A. Badakhshan, J. Appl. Phys. 70, 2322 (1991).
60. H. C. Kuo, J. M. Kuo, Y. C. Wang, C. H. Lin, and G. E. Stillman, J. Electron. Mater. 26, 944 (1997).
61. A. Lindell, M. Pessa, A. Salokatve, F. Bemardini, R. M. Nieminen, and M. Paalanen, J. Appl. Phys. 82, 3374 (1997).
62. F. H. Pollak, W. Krystek, S. Moneger, H. Qiang, and D. Yan, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng. (SPIE, Bellingham) 2397, 92 (1995).
63. P. M. Amirtharaj, D. Chandler-Horowitz, and D. Bour, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 406, 229 (1995).
64. L. Aigouy, T. Holden, F. H. Pollak, N. N. Ledentsov, V. M. Ustinov, P. S. Kop'ev, and D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 70, 3329 (1997).
65. A. Jaeger, P. M. Petroff, and T. D. Lowes, Appl. Phys. Lett. 78, 3012 (2001).