Unraveling the complex chemistry using dimethylsilane as a precursor gas in hot wire chemical vapor deposition

Physical Chemistry Chemical Physics

Volumn 16, Issue 17, 2014, Pages 7896-7906

  Toukabri, Rim ^a   Shi, Yujun ^a  

^a UNIVERSITY OF CALGARY   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84898756313     PISSN: 14639076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c4cp00275j     Document Type: Article

References (42)

1. P. S. Neudorfl O. P. Strausz J. Phys. Chem. 1978 82 241 242
2. M. A. Ring H. E. Oneal S. F. Rickborn B. A. Sawrey Organometallics 1983 2 1891 1894
3. S. F. Rickborn D. S. Rogers M. A. Ring H. E. Oneal J. Phys. Chem. 1986 90 408 414
4. H. E. Oneal M. A. Ring Organometallics 1988 7 1017 1025
5. A. G. Alexander O. P. Strausz J. Phys. Chem. 1976 80 2531 2538
6. K. Yasui K. Asada T. Akahane Appl. Surf. Sci. 2000 159 556 560
7. Y. Narita T. Inubushi K. Yasui T. Akahane Appl. Surf. Sci. 2003 212 730 734
8. Y. Narita M. Harashima K. Yasui T. Akahane M. Takata Appl. Surf. Sci. 2006 252 3460 3465
9. H. Nakayama K. Takatsuji K. Murakami Y. Miura N. Shimoyama H. Machida Thin Solid Films 2003 430 87 90
10. G. A. Zaharias H. L. Duan S. F. Bent J. Vac. Sci. Technol., A 2006 24 542 549
11. M. S. Lee S. F. Bent J. Vac. Sci. Technol., A 1998 16 1658 1663
12. Y. J. Shi X. M. Li R. Toukabri L. Tong J. Phys. Chem. A 2011 115 10290 10298
13. R. Toukabri Y. J. Shi J. Vac. Sci. Technol., A 2013 31 061606
14. X. M. Li B. D. Eustergerling Y. J. Shi Int. J. Mass Spectrom. 2007 263 233 242
15. J. K. Holt M. Swiatek D. G. Goodwin H. A. Atwater J. Appl. Phys. 2002 92 4803 4808
16. A. H. Mahan Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2003 78 299 327
17. L. Tong C. E. Sveen Y. J. Shi J. Appl. Phys. 2008 103 123534
18. C. E. Sveen Y. J. Shi Thin Solid Films 2011 519 4447 4450
19. Y. Q. Xu A. H. Mahan L. M. Gedvilas R. C. Reedy H. M. Branz Thin Solid Films 2006 501 198 201
20. N. Kniffler A. Pflueger D. Scheller B. Schroeder Thin Solid Films 2009 517 3424 3426
21. Y. J. Shi S. Consta A. K. Das B. Mallik D. Lacey R. H. Lipson J. Chem. Phys. 2002 116 6990 6999
22. S. D. Chambreau J. S. Zhang Chem. Phys. Lett. 2001 343 482 488
23. Y. J. Shi X. M. Li L. Tong R. Toukabri B. Eustergerling Phys. Chem. Chem. Phys. 2008 10 2543 2551
24. I. Badran T. D. Forster R. Roesler Y. J. Shi J. Phys. Chem. A 2012 116 10054 10062
25. S. Tannenbaum S. Kaye G. F. Lewenz J. Am. Chem. Soc. 1953 75 3753 3757
26. R. Toukabri N. Alkadhi Y. J. Shi J. Phys. Chem. A 2013 117 7697 7704
27. Y. J. Shi B. Lo L. Tong X. Li B. D. Eustergerling T. S. Sorensen J. Mass Spectrom. 2007 42 575 583
28. L. Tong Y. J. Shi J. Mass Spectrom. 2010 45 215 222
29. R. T. Conlin R. S. Gill J. Am. Chem. Soc. 1983 105 618 619
30. M. P. Clarke I. M. T. Davidson J. Chem. Soc., Chem. Commun. 1988 241 243
31. L. E. Gusel'nikov Coord. Chem. Rev. 2003 244 149 240
32. R. T. Conlin P. P. Gaspar J. Am. Chem. Soc. 1976 98 868 870
33. P. A. T. T. van Veenendaal O. L. J. Gijzeman J. K. Rath R. E. I. Schropp Thin Solid Films 2001 395 194 197
34. H. L. Duan S. F. Bent Thin Solid Films 2005 485 126 134
35. A. Li K. Norinaga W. Zhang O. Deutschmann Compos. Sci. Technol. 2008 68 1097 1104
36. J. E. Butler Y. A. Mankelevich A. Cheesman J. Ma M. N. R. Ashfold J. Phys.: Condens. Matter 2009 21 364201
37. X. W. Zhou D. K. Ward B. M. Wong F. P. Doty J. A. Zimmerman G. N. Nielson J. L. Cruz-Campa V. P. Gupta J. E. Granata J. J. Chavez D. Zubia Phys. Rev. A 2012 85 245302
38. A. Pant M. C. Huff T. W. F. Russell Ind. Eng. Chem. Res. 2001 40 1386 1396
39. A. Pflüger B. Schröder H. J. Bart Thin Solid Films 2003 430 73 77
40. C. D. Stinespring J. C. Wormhoudt J. Cryst. Growth 1988 87 481 493
41. M. D. Allendorf R. J. Kee J. Electrochem. Soc. 1991 138 841 852
42. G. Valente M. B. J. Wijesundara R. Maboudian C. Carraro J. Electrochem. Soc. 2004 151 C215 C219