Decomposition of hexamethyldisilane on a hot tungsten filament and gas-phase reactions in a hot-wire chemical vapor deposition reactor

Physical Chemistry Chemical Physics

Volumn 10, Issue 18, 2008, Pages 2543-2551

  Shi, Yujun ^a   Li, Xinmao ^a   Tong, Ling ^a   Toukabri, Rim ^a   Eustergerling, Brett ^a  

^a UNIVERSITY OF CALGARY   (Canada)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 43049083368     PISSN: 14639076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/b718743b     Document Type: Article

References (32)

1. A. J. Steckl C. Yuan J. P. Li M. J. Loboda Appl. Phys. Lett. 1993 63 3347 3349
2. M.-S. Lee S. F. Bent J. Vac. Sci. Technol., A 1998 16 1658 1663
3. J. L. C. Fonseca S. Tasker D. C. Apperley J. P. S. Badyal Macromolecules 1996 29 1705 1710
4. H.-T. Chiu J.-S. Hsu Thin Solid Films 1994 252 13 18
5. N. Nordell S. Nishino J.-W. Yang C. Jacob P. Pirouz Appl. Phys. Lett. 1994 64 1647 1649
6. J.-H. Boo M. C. Kim S.-B. Lee S.-J. Park J.-G. Han J. Vac. Sci. Technol., A 2000 18 1713 1717
7. A. Watanabe K. Osato S. Ninomiya M. Mukaida T. Tsunoda Y. Imai Thin Solid Films 1996 274 70 75
8. H. Matsumura Appl. Phys. Lett. 1987 51 804 805
9. A. H. Mahan J. Carapella B. P. Nelson R. S. Crandall I. Balberg J. Appl. Phys. 1991 69 6728 6730
10. H. Matsumura A. Masuda H. Umemoto Thin Solid Films 2006 501 58 60
11. X. M. Li B. D. Eustergerling Y. J. Shi Int. J. Mass Spectrom. 2007 263 233 242
12. A. M. Wróbel A. Walkiewicz-Pietrzykowska Chem. Vap. Deposition 1998 4 133 141
13. Y. J. Shi R. H. Lipson Can. J. Chem. 2005 83 1891 1902
14. Y. J. Hu H. B. Fu E. R. Bernstein J. Chem. Phys. 2006 125 154305-1 154305-6
15. Y. J. Shi B. Lo L. Tong X. Li B. D. Eustergerling T. S. Sorensen J. Mass Spectrom. 2007 42 575 583
16. L. Szepes T. Baer J. Am. Chem. Soc. 1984 106 273 278
17. J. Z. Dávalos T. Baer J. Phys. Chem. A 2006 110 8572 8579
18. I. M. T. Davidson A. V. Howard J. Chem. Soc., Faraday Trans. 1 1975 71 69 77
19. W. J. Bullock R. Walsh K. D. King J. Phys. Chem. 1994 98 2595 2601
20. S. T. Tokach R. D. Koob J. Phys. Chem. 1980 84 1 5
21. Th. B. E. Bastian P. Potzingger J. Photochem. Photobiol., A 1989 49 287 297
22. S. Patzer N. L. Arthur P. Potzinger H. Gg. Wagner J. Photochem. Photobiol., A 1997 110 221 227
23. S. Tange K. Inoue K. Tonokura M. Koshi Thin Solid Films 2001 395 42 46
24. J. K. Holt M. Swiatek D. G. Goodwin H. A. Atwater J. Appl. Phys. 2002 92 4803 4808
25. H. L. Duan S. F. Bent Thin Solid Films 2005 485 126 134
26. G. A. Zaharias H. L. Duan S. F. Bent J. Vac. Sci. Technol., A 2006 24 542 549
27. C. Eaborn J. M. Simmie Chem. Commun. (London) 1968 1426 1427
28. I. M. T. Davidson I. L. Stephenson J. Chem. Soc. A 1968 282 287
29. S. K. Tokach R. D. Koob J. Am. Chem. Soc. 1980 102 376 377
30. M. C. Flowers L. E. Gusel'nikov J. Chem. Soc. B 1968 419 423
31. O. M. Nefedov A. K. Maltsev V. N. Khabashesku V. A. Korolev J. Organomet. Chem. 1980 201 123 136
32. C. Kerst P. Potzinger H. Gg. Wagner J. Photochem. Photobiol., A 1995 90 19 30