Enhanced performance of gan-based light-emitting diodes by using al mirror and atomic layer deposition-TiO2/Al2O3 distributed bragg reflector backside reflector with Patterned Sapphire Substrate

Applied Physics Express

Volumn 6, Issue 2, 2013, Pages

  Chen, Hongjun ^a,b   Guo, Hao ^b   Zhang, Peiyuan ^b   Zhang, Xiong ^b   Liu, Honggang ^a   Wang, Shengkai ^a   Cui, Yiping ^b  

^a INSTITUTE OF GEOLOGY AND GEOPHYSICS   (China)

^b SOUTHEAST UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ATOMIC LAYER; BACKSIDE REFLECTORS; DBR; GAN-BASED LIGHT-EMITTING DIODES; LIGHT OUTPUT POWER (LOP); PATTERNED SAPPHIRE SUBSTRATE; TIO;

ALUMINUM; ALUMINUM COATINGS; ATOMIC LAYER DEPOSITION; DEPOSITION; DISTRIBUTED BRAGG REFLECTORS; GALLIUM ALLOYS; MIRRORS; REFLECTION; SAPPHIRE; TITANIUM DIOXIDE;

LIGHT EMITTING DIODES;

EID: 84875198927     PISSN: 18820778     EISSN: 18820786     Source Type: Journal    
DOI: 10.7567/APEX.6.022101     Document Type: Article

References (25)

1. N. Shibata, T. Uemura, H. Yamaguchi, and T. Yasukawa: Phys. Status Solidi A 200 (2003) 58.
2. C. Y. Cho, J. J. Kim, S. J. Lee, S. H. Hong, K. J. Lee, S. Y. Yim, and S. J. Park: Appl. Phys. Express 5 (2012) 122103.
3. J. Cho, H. Kim, Y. Park, and E. Yoon: Appl. Phys. Express 1 (2008) 052001.
4. A. I. Zhmakin: Phys. Rep. 498 (2011) 189.
5. Y. J. Lee, C. J. Lee, and C. H. Chen: IEEE J. Quantum Electron. 47 (2011) 636.
6. N. M. Lin, S. C. Shei, S. J. Chang, and X. F. Zeng: IEEE Photonics Technol. Lett. 24 (2012) 815.
7. J. K. Kim, T. Gessmann, H. Luo, and E. F. Schubert: Appl. Phys. Lett. 84 (2004) 4508.
8. C. Y. Shen, H. J. Feng, Z. H. Xu, and S. Z. Jin: Chin. Opt. Lett. 6 (2008) 152.
9. H. W. Huang, C. H. Lin, C. C. Yu, B. D. Lee, H. C. Kuo, K. M. Leung, and S. C. Wang: Semicond. Sci. Technol. 23 (2008) 125006.
10. S. J. Chang, C. F. Shen, M. H. Hsieh, C. T. Kuo, T. K. Ko, W. S. Chen, and S. C. Shei: J. Lightwave Technol. 26 (2008) 3131.
11. K. Ban, H. Hong, D. Noh, J. Sohn, D. Kang, and T. Seong: Mater. Sci. Eng. B 133 (2006) 26.
12. J. W. Seo, H. S. Oh, and J. S. Kwak: Curr. Appl. Phys. 11 (2011) S385.
13. H. W. Huang, H. C. Kuo, C. F. Lai, C. E. Lee, C. W. Chiu, T. C. Lu, S. C. Wang, C. H. Lin, and K. M. Leung: IEEE Photonics Technol. Lett. 19 (2007) 565.
14. C. H. Lin, C. F. Lai, T. S. Ko, H. W. Huang, H. C. Kuo, Y. Y. Hung, K. M. Leung, C. C. Yu, R. J. Tsai, C. K. Lee, T. C. Lu, and S. C. Wang: IEEE Photonics Technol. Lett. 18 (2006) 2050.
15. W. C. Lee, S. J. Wang, K. M. Uang, T. M. Chen, D. M. Kuo, P. R. Wang, and P. H. Wang: Jpn. J. Appl. Phys. 50 (2011) 04DG06.
16. H. L. Lu, Y. B. Li, M. Xu, S. J. Ding, L. Sun, W. Zhang, and L. K. Wang: Chin. Phys. Lett. 23 (2006) 1929.
17. R. A. Wind and S. M. George: J. Phys. Chem. 114 (2010) 1281.
18. X. F. Li, Y. Y. Fu, X. J. Liu, A. D. Li, H. Li, and D. Wu: Appl. Phys. A 105 (2011) 763.
19. L. C. Haspert, P. Banerjee, and L. H. Lecordier: J. Vac. Sci. Technol. B 29 (2011) 041807.
20. T. S. Oh, Y. S. Lee, H. Jeong, J. D. Kim, T. H. Seo, and E. K. Suh: Phys. Status Solidi C 6 (2009) 589.
21. J. H. Lee, D. Y. Lee, B. W. Oh, and J. H. Lee: IEEE Trans. Electron Devices 57 (2010) 157.
22. J. J. Chen, Y. K. Su, C. L. Lin, S. M. Chen, W. L. Li, and C. C. Kao: IEEE Photonics Technol. Lett. 20 (2008) 1193.
23. Y. J. Lee, H. C. Kuo, T. C. Lu, S. C. Wang, K. W. Ng, K. M. Lau, Z. P. Yang, A. Chang, and S. Y. Lin: J. Lightwave Technol. 26 (2008) 1455.
24. Y. F. Li, S. You, M. W. Zhu, L. Zhao, W. T. Hou, T. Detchprohm, Y. Taniguchi, N. Tamura, S. Tanaka, and C. Wetzel: Appl. Phys. Lett. 98 (2011) 151102.
25. M. Kim, T. Fujita, S. Fukahori, T. Inazu, C. Pernot, Y. Nagasawa, A. Hirano, M. Ippommatsu, M. Iwaya, T. Takeuchi, S. Kamiyama, M. Yamaguchi, Y. Honda, H. Amano, and I. Akasaki: Appl. Phys. Express 4 (2011) 092102.