Graphene conductance uniformity mapping

Nano Letters

Volumn 12, Issue 10, 2012, Pages 5074-5081

  Buron, Jonas D ^a   Petersen, Dirch H ^a   Bøggild, Peter ^a   Cooke, David G ^b   Hilke, Michael ^b   Sun, Jie ^c   Whiteway, Eric ^b   Nielsen, Peter F ^d   Hansen, Ole ^a   Yurgens, August ^c   Jepsen, Peter U ^a  

^a TECHNICAL UNIVERSITY OF DENMARK   (Denmark)

^b MCGILL UNIVERSITY   (Canada)

^c CHALMERS UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Sweden)

^d Capres AS   (Denmark)

Author keywords

electrical characterization; Graphene; imaging; metrology; micro four point probe; noninvasive characterization; spectroscopy; terahertz

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITED; CONDUCTANCE MEASUREMENT; ELECTRICAL CHARACTERIZATION; MICRO RAMAN SPECTROSCOPY; MICRO-FOUR-POINT PROBES; MICRO-SCALES; MICROSCOPIC DEFECTS; NANOSCOPIC SCALE; NON-CONTACT; NON-CONTACT METROLOGY; OPTICAL IMAGING; QUANTITATIVE MAPPING; TERA HERTZ; TERAHERTZ TIME DOMAIN SPECTROSCOPY; THZ-TDS; TRANSFER PROCESS; WAFER-SCALE;

DEFECTS; IMAGING TECHNIQUES; LASER PULSES; MAPPING; MEASUREMENTS; RAMAN SPECTROSCOPY; SPECTROSCOPY; TERAHERTZ SPECTROSCOPY; UNITS OF MEASUREMENT;

GRAPHENE;

EID: 84867447128     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl301551a     Document Type: Article

References (63)

1. Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Zhang, Y.; Dubonos, S. V.; Grigorieva, I. V.; Fisov, A. A. Science 2004, 306, 666-669
2. Zhang, Y.; Tan, Y.-W.; Stormer, H. L.; Kim, P. Nature 2005, 438, 201-204
3. Lin, Y.-M.; Valdes-Garcia, A.; Han, S.-J.; Farmer, D. B.; Meric, I.; Sun, Y.; Wu, Y.; Dimitrakopoulos, C.; Grill, A.; Avouris, P.; Jenkins, K. A. Science 2011, 332, 1294-1297
4. Liao, L.; Bai, J.; Cheng, R.; Lin, Y.-C.; Jiang, S.; Qu, Y.; Huang, Y.; Duan, X. Nano Lett. 2010, 10, 3952-3956
5. Son, Y.-W.; Cohen, M. L.; Louie, S. G. Nature 2006, 444, 347-349
6. Li, X.; Zhu, H.; Wang, K.; Cao, A.; Wei, J.; Li, C.; Jia, Y.; Li, Z.; Li, X.; Wu, D. Adv. Mater. 2010, 22, 2743-2748
7. Matyba, P.; Yamaguchi, H.; Eda, G.; Chhowalla, M.; Edman, L.; Robinson, N. D. ACS Nano 2010, 4, 637-642
8. Bao, Q.; Zhang, H.; Wang, Y.; Ni, Z.; Yan, Y.; Shen, Z. X.; Loh, K. P.; Tang, D. Y. Adv. Funct. Mater. 2009, 19, 3077-3083
9. Feng, M.; Zhan, H.; Chen, Y. Appl. Phys. Lett. 2010, 96, 033107
10. Gu, T.; Petrone, N.; McMillan, J. F.; Zande, A.; van der; Yu, M.; Lo, G. Q.; Kwong, D. L.; Hone, J.; Wong, C. W. Nat. Photonics 2012, 6, 554-559
11. Boubanga-Tombet, S.; Chan, S.; Watanabe, T.; Satou, A.; Ryzhii, V.; Otsuji, T. Phys. Rev. B 2012, 85, 035443
12. Bonaccorso, F.; Sun, Z.; Hasan, T.; Ferrari, A. C. Nat. Photonics 2010, 4, 611-622
13. Sutter, P. W.; Flege, J.-I.; Sutter, E. A. Nat. Mater. 2008, 7, 406-411
14. Reina, A.; Jia, X.; Ho, J.; Nezich, D.; Son, H.; Bulovic, V.; Dresselhaus, M. S.; Kong, J. Nano Lett. 2008, 9, 30-35
15. Li, X.; Cai, W.; An, J.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; Banerjee, S. K.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Science 2009, 324, 1312-1314
16. Bae, S.; Kim, H.; Lee, Y.; Xu, X.; Park, J.-S.; Zheng, Y.; Balakrishnan, J.; Lei, T.; Ri Kim, H.; Song, Y. I.; Kim, Y.-J.; Kim, K. S.; Özyilmaz, B.; Ahn, J.-H.; Hong, B. H.; Iijima, S. Nat. Nanotechnol. 2010, 5, 574-578
17. Berger, C.; Song, Z.; Li, X.; Wu, X.; Brown, N.; Naud, C.; Mayou, D.; Li, T.; Hass, J.; Marchenkov, A. N.; Conrad, E. H.; First, P. N.; de Heer, W. A. Science 2006, 312, 1191-1196
18. Jepsen, P. U.; Cooke, D. G.; Koch, M. Laser Photonics Rev. 2011, 5, 124-166
19. Katzenellenbogen, N.; Grischkowsky, D. Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 840-842
20. Cooke, D. G.; MacDonald, A. N.; Hryciw, A.; Wang, J.; Li, Q.; Meldrum, A.; Hegmann, F. A. Phys. Rev. B 2006, 73, 193311
21. Horng, J.; Chen, C.-F.; Geng, B.; Girit, C.; Zhang, Y.; Hao, Z.; Bechtel, H. A.; Martin, M.; Zettl, A.; Crommie, M. F.; Shen, Y. R.; Wang, F. Phys. Rev. B 2011, 83, 165113
22. Choi, H.; Borondics, F.; Siegel, D. A.; Zhou, S. Y.; Martin, M. C.; Lanzara, A.; Kaindl, R. A. Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 172102
23. Dawlaty, J. M.; Shivaraman, S.; Strait, J.; George, P.; Chandrashekhar, M.; Rana, F.; Spencer, M. G.; Veksler, D.; Chen, Y. Appl. Phys. Lett. 2008, 93, 131905
24. Ren, L.; Zhang, Q.; Yao, J.; Sun, Z.; Kaneko, R.; Yan, Z.; Nanot, S.; Jin, Z.; Kawayama, I.; Tonouchi, M.; Tour, J. M.; Kono, J. Nano Lett. 2012, 12, 3711-3715
25. Tomaino, J. L.; Jameson, A. D.; Kevek, J. W.; Paul, M. J.; van der Zande, A. M.; Barton, R. A.; McEuen, P. L.; Minot, E. D.; Lee, Y.-S. Opt. Express 2011, 19, 141-146
26. Sensale-Rodriguez, B.; Yan, R.; Kelly, M. M.; Fang, T.; Tahy, K.; Hwang, W. S.; Jena, D.; Liu, L.; Xing, H. G. Nat. Commun. 2012, 3, 780
27. Barraza-Lopez, S.; Vanević, M.; Kindermann, M.; Chou, M. Y. Phys. Rev. Lett. 2010, 104, 076807
28. Huard, B.; Stander, N.; Sulpizio, J. A.; Goldhaber-Gordon, D. Phys. Rev. B 2008, 78, 121402
29. J. H. Lee, E.; Balasubramanian, K.; Weitz, R. T.; Burghard, M.; Kern, K. Nat. Nanotechnol. 2008, 3, 486-490
30. Khomyakov, P. A.; Starikov, A. A.; Brocks, G.; Kelly, P. J. Phys. Rev. B 2010, 82, 115437
31. Petersen, C..; Hansen, T..; Bøggild, P.; Boisen, A.; Hansen, O.; Hassenkam, T.; Grey, F. Sens. Actuators, A 2002, 96, 53-58
32. Petersen, D. H.; Lin, R.; Hansen, T. M.; Rosseel, E.; Vandervorst, W.; Markvardsen, C.; Kjr, D.; Nielsen, P. F. J. Vac. Sci. Technol., B 2008, 26, 362-367
33. Clarysse, T.; Moussa, A.; Leys, F.; Loo, R.; Vandervorst, W.; Benjamin, M. C.; Hillard, R. J.; Faifer, V. N.; Current, M. I.; Lin, R.; Petersen, D. H. In Doping Engineering for Device Fabrication; Pawlak, B.; Jones, K.; Felch, S.; Hane, M., Eds.; Materials Research Society: Warrendale, 2006; Vol. 912, pp 197-202.
34. Clarysse, T.; Moussa, A.; Parmentier, B.; Bogdanowicz, J.; Vandervorst, W.; Bender, H.; Pfeffer, M.; Schellenberger, M.; Nielsen, P. F.; Thorsteinsson, S.; Lin, R.; Petersen, D. J. Vac. Sci. Technol., B 2010, 28, C1C8
35. Clarysse, T.; Eyben, P.; Parmentier, B.; Van Daele, B.; Satta, A.; Vandervorst, W.; Lin, R.; Petersen, D. H.; Nielsen, P. F. J. Vac. Sci. Technol. B 2008, 26, 317-321
36. Clarysse, T.; Bogdanowicz, J.; Goossens, J.; Moussa, A.; Rosseel, E.; Vandervorst, W.; Petersen, D. H.; Lin, R.; Nielsen, P. F.; Hansen, O.; Merklin, G.; Bennett, N. S.; Cowern, N. E. B. Mater. Sci. Eng. 2008, 154-155, 24-30
37. Clarysse, T.; Eyben, P.; Hantschel, T.; Vandervorst, W. Mater. Sci. Semicond. Process. 2001, 4, 61-66
38. Vandervorst, W. AIP Conf. Proc. 2007, 931, 233-245
39. Fei Wang; Petersen, D. H.; Osterberg, F. W.; Hansen, O. In 17th International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors; IEEE: 2009; pp. 1-6.
40. Klarskov, M. B.; Dam, H. F.; Petersen, D. H.; Hansen, T. M.; Löwenborg, A.; Booth, T. J.; Schmidt, M. S.; Lin, R.; Nielsen, P. F.; Bøggild, P. Nanotechnology 2011, 22, 445702
41. Yu, V.; Whiteway, E.; Maassen, J.; Hilke, M. Phys. Rev. B 2011, 84, 205407
42. Sun, J.; Lindvall, N.; Cole, M. T.; Angel, K. T. T.; Wang, T.; Teo, K. B. K.; Chua, D. H. C.; Liu, J.; Yurgens, A. IEEE Trans. Nanotechnol. 2012, 11, 255-260
43. Sun, J.; Lindvall, N.; Cole, M. T.; Teo, K. B. K.; Yurgens, A. Appl. Phys. Lett. 2011, 98, 252107
44. Sun, J.; Cole, M. T.; Lindvall, N.; Teo, K. B. K.; Yurgens, A. Appl. Phys. Lett. 2012, 100, 022102
45. Van Der Pauw, L. J. Philips Techn. Rev. 1958, 20, 220-224
46. Rymaszewski, R. J. Phys. E: Sci. Instrum. 1969, 2, 170-174
47. Thorsteinsson, S.; Wang, F.; Petersen, D. H.; Hansen, T. M.; Kjr, D.; Lin, R.; Kim, J.-Y.; Nielsen, P. F.; Hansen, O. Rev. Sci. Instrum. 2009, 80, 053902
48. Petersen, D. H.; Hansen, O.; Hansen, T. M.; Bøggild, P.; Lin, R.; Kjr, D.; Nielsen, P. F.; Clarysse, T.; Vandervorst, W.; Rosseel, E.; Bennett, N. S.; Cowern, N. E. B. J. Vac. Sci. Technol., B 2010, 28, C1C27
49. Jepsen, P. U.; Fischer, B. Opt. Lett. 2005, 30, 29-31
50. Cooke, D. G.; Krebs, F. C.; Jepsen, P. U. Phys. Rev. Lett. 2012, 108, 056603
51. Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Katsnelson, M. I.; Grigorieva, I. V.; Dubonos, S. V.; Firsov, A. A. Nature 2005, 438, 197-200
52. Tan, Y.-W.; Zhang, Y.; Bolotin, K.; Zhao, Y.; Adam, S.; Hwang, E. H.; Das Sarma, S.; Stormer, H. L.; Kim, P. Phys. Rev. Lett. 2007, 99, 246803
53. Peres, N. M. R.; Guinea, F.; Castro Neto, A. H. Phys. Rev. B 2006, 73, 125411
54. Li, Z. Q.; Henriksen, E. A.; Jiang, Z.; Hao, Z.; Martin, M. C.; Kim, P.; Stormer, H. L.; Basov, D. N. Nat. Phys. 2008, 4, 532-535
55. Mak, K. F.; Sfeir, M. Y.; Wu, Y.; Lui, C. H.; Misewich, J. A.; Heinz, T. F. Phys. Rev. Lett. 2008, 101, 196405
56. Nair, R. R.; Blake, P.; Grigorenko, A. N.; Novoselov, K. S.; Booth, T. J.; Stauber, T.; Peres, N. M. R.; Geim, A. K. Science 2008, 320, 1308
57. Koon, D. W.; Knickerbocker, C. J. Rev. Sci. Instrum. 1992, 63, 207-210
58. Herring, C. J. Appl. Phys. 1960, 31, 1939-1953
59. Petersen, D. H.; Hansen, O.; Lin, R.; Nielsen, P. F.; Clarysse, T.; Goossens, J.; Rosseel, E.; Vandervorst, W. In 16th IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors; IEEE: (2008; pp 251- 256.
60. Henning, P. F.; Homes, C. C.; Maslov, S.; Carr, G. L.; Basov, D. N.; Nikolić, B.; Strongin, M. Phys. Rev. Lett. 1999, 83, 4880-4883
61. Yazyev, O. V.; Louie, S. G. Nat. Mater. 2010, 9, 806-809
62. Kim, D. W.; Kim, Y. H.; Jeong, H. S.; Jung, H.-T. Nat. Nanotechnol. 2011, 7, 29-34
63. Petersen, D. H.; Hansen, O.; Lin, R.; Nielsen, P. F. J. Appl. Phys. 2008, 104, 013710