Triangular elastomeric stamps for optical applications: Near-field phase shift photolithography, 3D proximity field patterning, embossed antireflective coatings, and SERS Sensing

Advanced Functional Materials

Volumn 22, Issue 14, 2012, Pages 2927-2938

  Bowen, Audrey M ^a   Motala, Michael J ^a   Lucas, J Matthew ^b   Gupta, Sidhartha ^a   Baca, Alfred J ^c   Mihi, Agustin ^d   Alivisatos, A Paul ^e   Braun, Paul V ^a   Nuzzo, Ralph G ^a  

^a University of Illinois at Urbana Champaign   (United States)

^b UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

^c NAVAL AIR WARFARE CENTER   (United States)

^d UNIVERSITY OF ILLINOIS AT URBANA CHAMPAIGN   (United States)

^e UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

antireflective coatings; embossing; phase shift lithography; polydimethylsiloxane; proximity field nanopatterning; surface enhanced Raman spectroscopy

Indexed keywords

ANTI REFLECTIVE COATINGS; EMBOSSING; PHASE SHIFT LITHOGRAPHY; PROXIMITY FIELD NANOPATTERNING; SURFACE ENHANCED RAMAN SPECTROSCOPY;

ANTIREFLECTION COATINGS; COATINGS; FABRICATION; LIGHT; LITHOGRAPHY; PHASE SHIFT; PHOTORESISTS; POLYDIMETHYLSILOXANE; PRISMS; RAMAN SPECTROSCOPY; SILICONES; SUBSTRATES; THREE DIMENSIONAL;

PHASE SHIFTERS;

EID: 84863952562     PISSN: 1616301X     EISSN: 16163028     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adfm.201102455     Document Type: Article

References (79)

1. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114.
2. L. J. Guo, Adv. Mater. 2007, 19, 495.
3. X. Zhang, J. Zhang, Z. Ren, X. Li, X. Zhang, D. Zhu, T. Wang, T. Tian, B. Yang, Langmuir 2009, 25, 7375.
4. Y. Li, J. Zhang, B. Yang, Nano Today 2010, 5, 117.
5. E. A. Dobisz, C. R. K. Marrian, Appl. Phys. Lett. 1991, 58, 2526.
6. B. D. Terris, H. J. Mamin, M. E. Best, J. A. Logan, D. Rugar, S. A. Rishton, Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 4262.
7. Z. Liu, D. G. Bucknall, M. G. Allen, Nanotechnology 2011, 22, 225302.
8. L. Miccio, M. Paturzo, A. Finizio, P. Ferraro, Opt. Express 2010, 18, 10947.
9. M.-H. Wu, C. Park, G. M. Whitesides, J. Colloid Interface Sci. 2003, 265, 304.
10. Y. S. Kim, K. Y. Suh, H. H. Lee, Appl. Phys. Lett. 2001, 79, 2285.
11. H. Dang, J. L.-P. Tan, M. W. Horn, J. Vac. Sci. Technol. B 2003, 21, 1143.
12. D. V. Gough, A. T. Juhl, P. V. Braun, Mater. Today 2009, 12, 28.
13. J. Park, S. Yoon, K. Kang, S. Jeon, Small 2010, 6, 1981.
14. J. Park, D.-H. Kim, G. Kim, Y. Kim, E. Choi, A. Levchenko, Lab Chip 2010, 10, 2130.
15. H. Sato, S. Ito, K. Tajima, N. Orimoto, S. Shoji, Sens. Actuators A 2005, 119, 365.
16. C. J. Evans, J. B. Bryan, CIRP Ann. Manuf. Tech. 1999, 48, 541.
17. S. Chattopadhyay, Y. F. Huang, Y. J. Jen, A. Ganguly, K. H. Chen, L. C. Chen, Mat. Sci. Eng. R 2010, 69, 1.
18. Z. Zheng, O. Azzaroni, F. Zhou, W. T. S. Huck, J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 7730.
19. S.-G. Park, S. Y. Lee, S. G. Jang, S.-M. Yang, Langmuir 2010, 26, 5295.
20. S.-J. Choi, S.-Y. Huh, Macromol. Rapid Commun. 2010, 31, 539.
21. S. Lal, S. Link, N. J. Halas, Nat. Photonics 2007, 1, 641.
22. K. Kneipp, Phys. Today 2007, 60, 40.
23. D. Wouters, U. S. Schubert, Angew. Chem. Int. Ed. 2004, 43, 2480.
24. B. D. Gates, Q. Xu, M. Stewart, D. Ryan, C. G. Wilson, G. M. Whitesides, Chem. Rev. 2005, 105, 1171.
25. V. P. Chuang, J. Y. Cheng, T. A. Savas, C. A. Ross, Nano Lett. 2006, 6, 2332.
26. G. Willeke, H. Nussbaumer, H. Bender, E. Bucher, Sol. Energy Mater. Sol. C. 1992, 26, 345.
27. K. E. Petersen, Proc. IEEE 1982, 70, 420.
28. K. B. Bean, IEEE Trans. Electron. Dev. 1978, 25, 1185.
29. K. Khare, J. Zhou, S. Yang, Langmuir 2009, 25, 1 2794.
30. J. Genzer, J. Groenewold, Soft Matter 2006, 2, 310.
31. S. Yang, K. Khare, P.-C. Lin, Adv. Funct. Mater. 2010, 20, 2550.
32. D. Huh, K. L. Mills, X. Zhu, M. A. Burns, M. D. Thouless, S. Takayama, Nat. Mater. 2007, 6, 424.
33. M. T. Russell, L. S. C. Pingree, M. C. Hersam, T. J. Marks, Langmuir 2006, 22, 6712.
34. W. R. Childs, M. J. Motala, K. J. Lee, R. G. Nuzzo, Langmuir 2005, 21, 10096.
35. W. R. Childs, R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 13583.
36. Y. Xia, G. M. Whitesides, Angew. Chem. Int. Ed. 1998, 37, 550.
37. J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Mater. Today 2005, 8, 50.
38. J. Yao, A.-P. Le, S. K. Gray, J. S. Moore, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Adv. Mater. 2010, 22, 1102.
39. M. E. Stewart, N. H. Mack, V. Malyarchuk, J. A. N. T. Soares, T.-W. Lee, S. K. Gray, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 2006, 103, 17143.
40. M. E. Stewart, J. Yao, J. Maria, S. K. Gray, J. A. Rogers, R. G. Nuzzo, Anal. Chem. 2009, 81, 5980.
41. J. Maria, S. Jeon, J. A. Rogers, J. Photochem. Photobiol. A 2004, 166, 149.
42. J. A. Rogers, K. E. Paul, R. J. Jackman, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1997, 70, 2658.
43. J. A. Rogers, K. E. Paul, R. J. Jackman, G. M. Whitesides, J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 59.
44. J. Aizenberg, J. A. Rogers, K. E. Paul, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 3773.
45. E. Delamarche, H. Schmid, B. Michel, H. Biebuyck, Adv. Mater. 1997, 9, 741.
46. W.-H. Chang, Y.-C. Huang, Microsys. Technol. 2005, 11, 117.
47. T. W. Odom, J. C. Love, D. B. Wolfe, K. E. Paul, G. M. Whitesides, Langmuir 2002, 18, 5314.
48. B. D. Gates, G. M. Whitesides, J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 14986.
49. H. Schmid, B. Michel, Macromolecules 2000, 33, 3042.
50. V. Malyarchuk, F. Hua, N. H. Mack, V. T. Velasquez, J. O. White, R. G. Nuzzo, J. A. Rogers, Opt. Express 2005, 13, 5669.
51. M. M. J. Decre, P. H. M. Timmermans, O. van de rSluis, R. Schroeders, Langmuir 2005, 21, 7971.
52. C. Y. Hui, A. Jagota, Y. Y. Lin, E. J. Kramer, Langmuir 2002, 18, 1394.
53. K. G. Sharp, G. S. Blackman, N. J. Glassmaker, A. Jagota, C. Y. Hui, Langmuir 2004, 20, 6430.
54. W. Zhou, Y. Huang, E. Menard, N. R. Aluru, J. A. Rogers, A. G. Alleyne, Appl. Phys. Lett. 2005, 87, 251925.
55. G. Kostovski, A. Mitchell, A. Holland, E. Fardin, M. Austin, Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 133128.
56. C. Y. Hui, Y. Y. Lin, J. M. Baney, E. J. Kramer, J. Polym. Sci. Polym. Phys. 2001, 39, 1195.
57. M. C. George, E. C. Nelson, J. A. Rogers, P. V. Braun, Angew. Chem. Int. Ed. 2008, 121, 150.
58. D. Shir, H. Liao, S. Jeon, D. Xiao, H. T. Johnson, G. R. Bogart, K. H. A. Bogart, J. A. Rogers, Nano Lett. 2008, 8, 2236.
59. D. Shir, E. C. Nelson, Y. C. Chen, A. Brzezinski, H. Liao, P. V. Braun, P. Wiltzius, K. H. A. Bogart, J. A. Rogers, Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 011101.
60. S. Jeon, D. J. Shir, Y. S. Nam, R. Nidetz, M. Highland, D. G. Cahill, J. A. Rogers, M. F. Su, I. F. El-Kady, C. G. Christodoulou, G. R. Bogart, Opt. Express 2007, 15, 6358.
61. S. A. Boden, D. M. Bagnall, Prog. Photovoltaics 2010, 18, 195.
62. K. Yamada, M. Umetani, T. Tamura, Y. Tanaka, H. Kasa, J. Nishii, Appl. Surf. Sci. 2009, 255, 4267.
63. K. Choi, S. H. Park, Y. M. Song, Y. T. Lee, C. K. Hwangbo, H. Yang, H. S. Lee, Adv. Mater. 2010, 22, 3713.
64. Q. Chen, G. Hubbard, P. A. Shields, C. Liu, D. W. E. Allsopp, W. N. Wang, S. Abbott, Appl. Phys. Lett. 2009, 94, 263118.
65. Z. Yu, H. Gao, W. Wu, H. Ge, S. Y. Chou, J. Vac. Sci. Technol. B 2003, 21, 2874.
66. K.-Y. Yang, K.-S. Han, H. Lee, J. Electrochem. Soc. 2011, 158, K141.
67. K. Sogo, M. Nakajima, H. Kawata, Y. Hirai, Microelectron. Eng. 2007, 84, 909.
68. K.-S. Han, J.-H. Shin, W.-Y. Yoon, H. Lee, Sol. Energ. Mater. Sol. C 2011, 95, 288.
69. T.-I. Kim, J.-H. Kim, S. J. Son, S.-M. Seo, Nanotechnology 2008, 19, 295302.
70. P. K. Biswas, D. Kundu, D. Ganguli, J. Mater. Sci. Lett. 1989, 8, 1436.
71. C. J. Brinker, M. S. Harrington, Sol. Energy Mater. 1981, 5, 159.
72. W. Zhou, M. Tao, L. Chen, H. Yang, J. Appl. Phys. 2007, 102, 103105.
73. X. Wang, J. Shen, J. Sol-Gel Sci. Technol. 2010, 53, 322.
74. M. S. Schmidt, A. Boisen, J. Hubner, IEEE Sens. J. 2009, 1763.
75. W. Wu, M. Hu, F. S. Ou, Z. Li, R. S. Williams, Nanotechnology 2010, 21, 255502.
76. Y. Yang, M. Tanemura, Z. Huang, D. Jiang, Z.-Y. Li, Y.-P. Huang, G. Kawamura, K. Yamaguchi, M. Nogami, Nanotechnology 2010, 21, 325701.
77. G. A. Baker, D. S. Moore, Anal. Bioanal. Chem. 2005, 382, 1751.
78. S. K. Saikin, Y. Chu, D. Rappoport, K. B. Crozier, A. Aspuru-Guzik, J. Phys. Chem. Lett. 2010, 1, 2740.
79. J. Maria, V. Malyarchuk, J. White, J. A. Rogers, J. Vac. Sci. Technol. B 2006, 24, 828.