Numerical and experimental study of critical roof collapse conditions in soft lithography

Langmuir

Volumn 21, Issue 17, 2005, Pages 7971-7978

  Decre M M J ^a   Timmermans, P H M ^a   Van Der Sluis, O ^a   Schroeders, R ^a  

^a PHILIPS RESEARCH LABORATORIES   (Netherlands)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

COMPUTER SIMULATION; DEFORMATION; ELECTRONIC EQUIPMENT; MATHEMATICAL MODELS; MICROSTRUCTURE; NUMERICAL ANALYSIS;

ARRUDA-BOYCE CONSTITUTIVE MODEL; PATTERNING ACCURACY; SOFT LITHOGRAPHY;

LITHOGRAPHY;

EID: 33244456728     PISSN: 07437463     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/la050709p     Document Type: Article

References (45)

1. Xia, Y.; Whitesides, G. M. Angew. Chem., Int. Ed. Engl. 1998, 37, 550.
2. Xia, Y.; Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Chem. Rev. 1999, 99, 1823.
3. Michel, B.; Bernard, A.; Bietsch, A.; Delamarche, E.; Geissler, M.; Juncker, D.; Kind, H.; Renault, J. P.; Rothuizen, H.; Schmid, H.; Schmidt-Winkel, P.; Stutz, R.; Wolf, H. IBM J. Res., Dev. 2001, 45, 697.
4. Adv. Mater. 2004, 16, issue 15.
5. Rogers, J. A.; Dodabalapur, A.; Bao, Z.; Katz, H. E. Appl. Phys. Lett. 1999, 75, 1010.
6. Schmid, H.; Biebuyck, H.; Michel, B.; Martin, O.-J. F.; Piller, N. P. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 3422.
7. Kind, H.; Geissler, M.; Schmid, H.; Michel, B.; Kern, K.; Delamarche, E. Langmuir 2000, 16, 6367.
8. Delamarche, E.; Geissler, M.; Magnuson, R. H.; Schmid, H.; Michel, B. Langmuir 2003, 19, 5892.
9. Delamarche, E.; Geissler, M.; Vichiconti, J.; Graham, W. S.; Andry, P. A.; Flake, J. C.; Fryer, P. M.; Nunes, R. W.; Michel, B.; O'Sullivan, E. J.; Schmid, H.; Wolf, H.; Wisnieff, R. L. Langmuir 2003, 19, 5923.
10. Delamarche, E.; Vichiconti, J.; Hall, S. H.; Geissler, M.; Graham, W.; Michel, B.; Nunes, R. Langmuir 2003, 19, 6567.
11. Bao, Z. Chem. Mater. 1997, 9, 1299.
12. Rogers, J. A.; Bao, Z.; Dodabalapur, A.; Makhija, A. IEEE Electron. Device Lett. 2000, 21, 100.
13. Rogers, J. A. Science 2001, 291, 1502.
14. Rogers, J. A.; Baldwin, K.; Zhenan, B.; Dodabalapur, A.; Raju, V. R.; Ewing, J.; Amundson, K. Proc. Int. Symp. Adv. Packag. Mater. Processes 2001, 98, 4835.
15. Bernard, A.; Delamarche, E.; Schmid, H.; Michel, B.; Bosshard, H. R.; Biebuyck, H. Langmuir 1998, 14, 2225.
16. James, C. D.; Davis, R. C.; Kam, L.; Craighead, H. G.; Isaacson, M.; Turner, J. N.; Shain, W. Langmuir 1998, 14, 741.
17. James, C. D.; Davis, R.; Meyer, M.; Turner, A.; Turner, S.; Withers, G.; Kam, L.; Banker, G.; Craighead, H.; Isaacson, M.; Turner, J.; Shain, W. IEEE Trans. Biomed. Eng. 2000, 47, 17.
18. Whitesides, G. M.; Ostuni, E.; Takayama, S.; Jiang, W.; Ingber, D. E. Annu. Rev. Biomed. Eng. 2001, 3, 335.
19. Lauer, L.; Ingebrandt, S.; Scholl, M.; Offenhausser, A. IEEE Trans. Biomed. Eng. 2001, 48, 838.
20. Renault, J. P.; Bernard, A.; Juncker, D.; Michel, B.; Bosshard, H. R.; Delamarche, E. Angew. Chem., Int. Ed. 2002, 41, 2320-2323.
21. Bernard, A.; Bietsch, A.; Michel, B.; Delamarche, E.; Renault, J. P.; Bosshard, H. R.; Kreiter, M.; Hecht, B.; Wild, U. P.; Renault, J. P.; Bernard, A.; Kreiter, M.; Hecht, B. J. Phys. Chem. B 2003, 107, 703.
22. Oliva, J.; Kingman, C. E.; Banker, G. A.; James, C. D.; Craighead, H. G. ; Banker, G. A. Neurochem. Res. 2003, 28, 1639.
23. Lange, S. A.; Bernard, A.; Lange, S. A.; Benes, V.; Kern, D. P.; Hörber, J. K. H. Anal. Chem. 2004, 76, 1641-1647.
24. Ng, J. M. K.; Gitlin, I.; Stroock, A. D.; Whitesides, G. M. Electrophoresis 2002, 23, 3461.
25. Anna, S. L.; Bontoux, N.; Stone, H. A. Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 364.
26. Fuerstman, M. J.; Deschatelets, P.; Kane, R.; Schwartz, A.; Kenis, P. J. A.; Deutch, J. M.; Whitesides, G. M. Langmuir 2003, 19, 4714.
27. Bietsch, A.; Michel, B. J. Appl. Phys. 2000, 4310.
28. Schmid, H.; Michel, B. Macromolecules 2000, 33, 3042.
29. Odom, T. W.; Love, J. C.; Wolfe, D. B.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. Langmuir 2002, 18, 5314.
30. Choi, K. M.; Rogers, J. A. J. Am. Chem. Soc. 2003, 125, 4060.
31. Burgin, T.; Choong V.E.; Maracas, G. Langmuir 2000, 16, 5371.
32. Wagner, S.; Gleskova, H.; Sturm J. C.; Suo Z. In Technology and Applications of Amorphous Silicon; Street, R. A., Ed.; Springer-Verlag: Berlin, 2000; Chapter 5.
33. Nuzzo, R. G. Proc. Natl. Acad. Sci. 2001, 98, 4827-4829.
34. Rogers, J. A.; Bao, Z.; Baldwin, K.; Dodabalapur, A.; Crone, B.; Raju, V.; Kuck, V.; Katz, H.; Amundson, K.; Ewing, J.; Drzaic, P. Proc. Natl. Acad. Sci. 2001, 98, 4835-4840.
35. Huebler, A.; Hahn, U.; Beier, W.; Lasch, N.; Fischer, T. IEEE Polytronic 2002 Conference, 172.
36. Deere, M. M. J.; Schneider, R. M.; Burdinski, D.; Schellekens, J.; Saalmink, M.; Dona, R. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. EXS-2 2004, M4.9.
37. Schellekens, J.; Burdinski, D.; Saalmink, M.; Beenhakkers, M.; Gelinck, G.; Deere, M. M. J. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. Vol. EXS-2 2004, M2.9.
38. Delamarche, E.; Schmid, H.; Michel, B.; Biebuyck, H. Adv. Mater. 1997, 9, 741.
39. Hui, C. Y.; Jagota, A.; Lin, Y. Y.; Kramer, E. J. Langmuir 2002, 18, 1394.
40. Sharp, K. G.; Blackman, G. S.; Glassmaker, N. J.; Jagota, A.; Hui, C. Y. Langmuir 2004, 20, 6430.
41. Rogers, J. A.; Paul, K. E.; Whitesides, G. M. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 88.
42. Arruda, E. M.; Boyce, M. C. J. Mech. Phys. Solids 1993, 41, 389.
43. van Melick, H. Deformation and failure of polymer glasses. Ph.D. Thesis, Eindhoven University of Technology, 2002, p 60.
44. Ward, I. M.; Sweeney, J. An Introduction to the Mechanical Properties of Solid Polymers; John Wiley & Sons: Chichester, U.K., 2004.
45. Roark, R. J.; Young, W. C. Formulas for Stress and Strain; 14th ed.; McGraw-Hill: Singapore, 1986.