Ultrathin oxide films by atomic layer deposition on graphene

Nano Letters

Volumn 12, Issue 7, 2012, Pages 3706-3710

  Wang, Luda ^a   Travis, Jonathan J ^b   Cavanagh, Andrew S ^b   Liu, Xinghui ^a   Koenig, Steven P ^a   Huang, Pinshane Y ^c   George, Steven M ^b   Bunch, J Scott ^a  

^a University of Colorado at Boulder   (United States)

^b UNIVERSITY OF COLORADO   (United States)

^c School of Operations Research and Industrial Engineering   (United States)

Author keywords

Atomic layer deposition; grapheme; nanomechanics; thin films

Indexed keywords

ALUMINUM OXIDE FILMS; GRAPHEME; IN-FIELD; MECHANICAL INTEGRITY; MECHANICALLY ROBUST; NANO-METER-SCALE; NEW APPLICATIONS; PRESSURIZED BLISTER TEST; PURE ALUMINUM; THIN-FILM COATINGS; ULTRA-THIN; ULTRA-THIN OXIDE FILMS;

ALUMINA; ELASTIC MODULI; GRAPHENE; NANOMECHANICS; OPTICAL FILMS; OXIDE FILMS; THIN FILMS; ULTRATHIN FILMS;

ATOMIC LAYER DEPOSITION;

EID: 84863854245     PISSN: 15306984     EISSN: 15306992     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/nl3014956     Document Type: Article

References (35)

1. Novoselov, K. S.; Jiang, D.; Schedin, F.; Booth, T. J.; Khotkevich, V. V.; Morozov, S. V.; Geim, A. K. Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2005, 102, 10451-10453
2. Geim, A. K. Science 2009, 324, 1530-1534
3. Bunch, J. S.; van der Zande, A. M.; Verbridge, S. S.; Frank, I. W.; Tanenbaum, D. M.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G.; McEuen, P. L. Science 2007, 315, 490-493
4. Lee, C.; Wei, X.; Kysar, J. W.; Hone, J. Science 2008, 321, 385-388
5. Bunch, J. S.; Verbridge, S. S.; Alden, J. S.; Zande, A. M. V. D.; Parpia, J. M.; Craighead, H. G.; McEuen, P. L. Nano Lett. 2008, 8, 2458-2462
6. Novoselov, K. S.; Geim, A. K.; Morozov, S. V.; Jiang, D.; Katsnelson, M. I.; Grigorieva, I. V.; Dubonos, S. V.; Firsov, A. A. Nature 2005, 438, 197-200
7. Zhang, Y. B.; Tan, Y. W.; Stormer, H. L.; Kim, P. Nature 2005, 438, 201-204
8. Balandin, A. A.; Ghosh, S.; Bao, W.; Calizo, I.; Teweldebrhan, D.; Miao, F.; Lau, C. N. Nano Lett. 2008, 8, 902-907
9. Dean, C. R.; Young, A. F.; Meric, I.; Lee, C.; Wang, L.; Sorgenfrei, S.; Watanabe, K.; Taniguchi, T.; Kim, P.; Shepard, K. L.; Hone, J. Nat Nanotechnol. 2010, 5, 722-726
10. Williams, J. R.; DiCarlo, L.; Marcus, C. M. Science 2007, 317, 638-641
11. Rogers, J. A.; Lagally, M. G.; Nuzzo, R. G. Nature 2011, 477, 45-53
12. Jen, S.-H.; Bertrand, J. A.; George, S. M. J. Appl. Phys. 2011, 109, 84305-84311
13. Huang, P. Y.; Kurasch, S.; Srivastava, A.; Skakalova, V.; Kotakoski, J.; Krasheninnikov, A. V.; Hovden, R.; Mao, Q.; Meyer, J. C.; Smet, J.; Muller, D. A.; Kaiser, U. Nano Lett. 2012, 12, 1081-1086
14. Coleman, J. N.; Lotya, M.; ONeill, A.; Bergin, S. D.; King, P. J.; Khan, U.; Young, K.; Gaucher, A.; De, S.; Smith, R. J.; Shvets, I. V.; Arora, S. K.; Stanton, G.; Kim, H.-Y.; Lee, K.; Kim, G. T.; Duesberg, G. S.; Hallam, T.; Boland, J. J.; Wang, J. J.; Donegan, J. F.; Grunlan, J. C.; Moriarty, G.; Shmeliov, A.; Nicholls, R. J.; Perkins, J. M.; Grieveson, E. M.; Theuwissen, K.; McComb, D. W.; Nellist, P. D.; Nicolosi, V. Science 2011, 331, 568-571
15. Li, X.; Cai, W.; An, J.; Kim, S.; Nah, J.; Yang, D.; Piner, R.; Velamakanni, A.; Jung, I.; Tutuc, E.; Banerjee, S. K.; Colombo, L.; Ruoff, R. S. Science 2009, 324, 1312-1314
16. Zhan, Y.; Liu, Z.; Najmaei, S.; Ajayan, P. M.; Lou, J. Small 2012, 8, 966-971
17. Suk, J. W.; Murali, S.; An, J.; Ruoff, R. S. Carbon 2012, 50, 2220-2225
18. Leskelä, M.; Ritala, M. Thin Solid Films 2002, 409, 138-146
19. Leskelä, M.; Ritala, M. Angew. Chem., Int. Ed. 2003, 42, 5548-5554
20. Elam, J. W.; Groner, M. D.; George, S. M. Rev. Sci. Instrum. 2002, 73, 2981-2987
21. Ritala, M.; Leskelä, M.; Dekker, J.-P.; Mutsaers, C.; Soininen, P. J.; Skarp, J. Chem. Vap. Deposition 1999, 5, 7-9
22. Cavanagh, A. S.; Wilson, C. a; Weimer, A. W.; George, S. M. Nanotechnology 2009, 20, 255602
23. Farmer, D. B.; Gordon, R. G. Nano Lett. 2006, 6, 699-703
24. Wang, X.; Tabakman, S. M.; Dai, H. J. Am. Chem. Soc. 2008, 130, 8152-8153
25. Ott, A. W.; Klaus, J. W.; Johnson, J. M.; George, S. M. Thin Solid Films 1997, 292, 135-144
26. Dillon, A. C.; Ott, A. W.; Way, J. D.; George, S. M. Surf. Sci. 1995, 322, 230-242
27. Koenig, S. P.; Boddeti, N. G.; Dunn, M. L.; Bunch, J. S. Nat. Nanotechnol. 2011, 6, 543-546
28. Hencky, H. Z. Math. Phys. 1915, 63, 311-317
29. Ott, A. W.; McCarley, K. C.; Klaus, J. W.; Way, J. D.; George, S. M. Appl. Surf. Sci. 1996, 107, 128-136
30. Tripp, M. K.; Stampfer, C.; Miller, D. C.; Helbling, T.; Herrmann, C. F.; Hierold, C.; Gall, K.; George, S. M.; Bright, V. M. Sens. Actuators A: Physical 2006, 130-131, 419-429
31. Tapily, K.; Jakes, J. E.; Stone, D. S.; Shrestha, P.; Gu, D.; Baumgart, H.; Elmustafa, A. A. Journal of The Electrochemical Society 2008, 155, H545-H551
32. Miller, D. C.; Foster, R. R.; Jen, S.-H.; Bertrand, J. A.; Cunningham, S. J.; Morris, A. S.; Lee, Y.-C.; George, S. M.; Dunn, M. L. Sensors and Actuators, A 2010, 164, 58-67
33. Groner, M. D.; Fabreguette, F. H.; Elam, J. W.; George, S. M. Chem. Mater. 2004, 16, 639-645
34. Davidson, B. D.; Seghete, D.; George, S. M.; Bright, V. M. Sens. Actuators, A 2011, 166, 269-276
35. Yoneoka, S.; Lee, J.; Liger, M.; Yama, G.; Kodama, T.; Gunji, M.; Provine, J.; Howe, R. T.; Goodson, K. E.; Kenny, T. W. Nano Lett. 2012, 12, 683-6