Metalcones: Hybrid organic-inorganic films fabricated using atomic and molecular layer deposition techniques

Journal of Nanoscience and Nanotechnology

Volumn 11, Issue 9, 2011, Pages 7948-7955

  George, Steven M ^a   Lee, Byoung H ^a   Yoon, Byunghoon ^a   Abdulagatov, Aziz I ^a   Hall, Robert A ^a  

^a UNIVERSITY OF COLORADO   (United States)

Author keywords

Atomic layer deposition; Hybrid organic inorganic films; Metal oxides; Molecular layer deposition

Indexed keywords

DIETHYLZINC; METAL ALKOXIDES; METAL OXIDES; METAL PRECURSOR; MOLECULAR LAYER DEPOSITION; NUMBER OF CYCLES; ORGANIC-INORGANIC; PURE METALS; TRIMETHYLALUMINUM;

ATOMIC LAYER DEPOSITION; ETHYLENE GLYCOL; METALLIC COMPOUNDS; ZIRCONIUM;

GLYCEROL;

EID: 84863011428     PISSN: 15334880     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1166/jnn.2011.5034     Document Type: Conference Paper

References (30)

1. S. M. George, Chem. Rev. 110, 111 (2010).
2. S. M. George, B. Yoon, and A. A. Dameron, Acc. Chem. Res. 42, 498 (2009).
3. T. Yoshimura, S. Tatsuura, and W. Sotoyama, Appl. Phys. Lett. 59, 482 (1991).
4. M. Putkonen, J. Harjuoja, T. Sajavaara, and L. Niinisto, J. Mater. Chem. 17, 664 (2007).
5. N. M. Adamcyzk, A. A. Dameron, and S. M. George, Langmuir 24, 2081 (2008).
6. Y. Du and S. M. George, J. Phys. Chem. C 111, 8509 (2007).
7. A. Kim, M. A. Filler, S. Kim, and S. F. Bent, J. Am. Chem. Soc. 127, 6123 (2005).
8. J. S. Lee, Y. J. Lee, E. L. Tae, Y. S. Park, and K. B. Yoon, Science 301, 818 (2003).
9. P. W. Loscutoff, H. B. R. Lee, and S. F. Bent, Chem. Mater. 22, 5563 (2010).
10. Y. H. Li, D. Wang, and J. M. Buriak, Langmuir 26, 1232 (2010).
11. A. A. Dameron, D. Seghete, B. B. Burton, S. D. Davidson, A. S. Cavanagh, J. A. Bertand, and S. M. George, Chem. Mater. 20, 3315 (2008).
12. O. Nilsen, K. B. Klepper, H. O. Nielson, and H. Fjellvag, ECS Trans. 16, 3 (2008).
13. Q. Peng, B. Gong, R. M. VanGundy, and G. N. Parsons, Chem. Mater. 21, 820 (2009).
14. B. Yoon, J. L. O'Patchen, D. Seghete, A. S. Cavanagh, and S. M. George, Chem. Vap. Deposition 15, 112 (2009).
15. C. N. McMahon, L. Alemany, R. L. Callender, S. G. Bott, and A. R. Barron, Chem. Mater. 11, 3181 (1999).
16. A. C. Dillon, A. W. Ott, J. D. Way, and S. M. George, Surf. Sci. 322, 230 (1995).
17. A. W. Ott, J. W. Klaus, J. M. Johnson, and S. M. George, Thin Solid Films 292, 135 (1997).
18. C. A. Wilson, R. K. Grubbs and S. M. George, Chem. Mater. 17, 5625 (2005).
19. X. Liang, D. M. King, P. Li, S. M. George, and A. W. Weimer, AIChE Journal 55, 1030 (2009).
20. X. H. Liang, M. Yu, J. H. Li, Y. B. Jiang, and A. W. Weimer, Chem. Commun. 46, 7140 (2009).
21. M. Yu, H. H. Funke, R. D. Noble, and J. L. Falconer, J. Am. Chem. Soc. 133, 1748 (2011).
22. D. Seghete, R. A. Hall, B. Yoon, and S. M. George, Langmuir 26, 19045 (2010).
23. B. Yoon, D. Seghete, A. S. Cavanagh, and S. M. George, Chem. Mater. 21, 5365 (2009).
24. R. A. Hall, B. Yoon, and S. M. George, Unpublished Results (2011).
25. B. Yoon, Y. Lee, A. R. Derk, C. B. Musgrave, and S. M. George, ECS Trans. 33, 191 (2011).
26. C. K. Chiang, C. R. Fincher, Y. W. Park, A. J. Heeger, H. Shirakawa, E. J. Louis, S. C. Gau, and A. G. Macdiarmid, Phys. Rev. Lett. 39, 1098 (1977).
27. B. Yoon and S. M. George, Unpublished Results (2011).
28. A. L. Linsebigler, G. Q. Lu, and J. T. Yates, Chem. Rev. 95, 735 (1995).
29. A. I. Abdulagatov, R. A. Hall, B. Yoon, and S. M. George, Unpublished Results (2011).
30. B. H. Lee and S. M. George, Unpublished Results (2011).