First principles simulation of reaction steps in the atomic layer deposition of titania: Dependence of growth on Lewis acidity of titanocene precursor

Physical Chemistry Chemical Physics

Volumn 14, Issue 22, 2012, Pages 7954-7964

  Zydor, Aleksandra ^a   Kessler, Vadim G ^b   Elliott, Simon D ^a  

^a UNIVERSITY COLLEGE CORK   (Ireland)

^b SWEDISH UNIVERSITY OF AGRICULTURAL SCIENCES   (Sweden)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 84861381142     PISSN: 14639076     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1039/c2cp40491e     Document Type: Article

References (62)

1. M. Leskelä M. Ritala Thin Solid Films 2002 409 138 146
2. M. Leskelä M. Ritala Angew. Chem., Int. Ed. 2003 42 5548 5554
3. S. M. George A. W. Ott J. W. Klaus J. Phys. Chem. 1996 100 13121 13131
4. S. M. George Chem. Rev. 2010 110 111 131
5. M. Ritala M. Leskelä L. Niinistö P. Haussalo Chem. Mater. 1993 5 1174 1181
6. M. Kemell V. Pore J. Tupala M. Ritala M. Leskelä Chem. Mater. 2007 19 1816 1820
7. A. L. Linsebigler G. Q. Lu J. T. Yates Chem. Rev. 1995 95 735 758
8. R. Pheamhom C. Sunwoo D. H. Kim J. Vac. Sci. Technol., A 2006 24 1535 1539
9. M. Ni M. K. H. Leung D. Y. C. Leung K. Sumathy Renewable Sustainable Energy Rev. 2007 11 401 425
10. A. Fujishima X. T. Zhang D. A. Tryk Surf. Sci. Rep. 2008 63 515 582
11. Y. Paz Z. Luo L. Rabenberg A. Heller J. Mater. Res. 1995 10 2842 2848
12. R. Wang K. Hashimoto A. Fujishima M. Chikuni E. Kojima A. Kitamura M. Shimohigoshi T. Watanabe Nature 1997 388 431 432
13. M. Miyauchi N. Kieda S. Hishita T. Mitsuhashi A. Nakajima T. Watanabe K. Hashimoto Surf. Sci. 2002 511 401 407
14. K. F. Albertin I. Pereyra Thin Solid Films 2009 517 4548 4554
15. E. Langereis R. Roijmans F. Roozeboom M. C. M. van de Sanden W. M. M. Kessels J. Electrochem. Soc. 2011 158 G34 G38
16. R. L. Puurunen J. Appl. Phys. 2005 97 121301
17. V. Pore A. Rahtu M. Leskelä M. Ritala D. Sajavaara J. Keinonen Chem. Vap. Deposition 2004 10 143 148
18. D. A. Write D. A. Williams Acta Crystallogr., Sect. B: Struct. Crystallogr. Cryst. Chem. 1968 24 1107
19. S. Elliott, A. Zydor and M. Nolan, "Cyclopentadienyl precursors for ALD: Insights from atomic scale simulation", presented at the 8th International Conference on Atomic Layer Deposition, Bruges, Belgium, 29 June-2 July 2008
20. M. Putkonen J. Niinistö K. Kukli T. Sajavaara M. Karppinen H. Yamauchi L. Niinistö Chem. Vap. Deposition 2003 9 207 212
21. J. Niinistö M. Putkonen L. Niinistö S. L. Stoll K. Kukli T. Sajavaara M. Ritala M. Leskela J. Mater. Chem. 2005 15 2271 2275
22. C. L. Dezelah J. Niinistö K. Kukli F. Munnik J. Lu M. Ritala M. Leskelä L. Niinistö Chem. Vap. Deposition 2008 14 358 365
23. K. Black H. C. Aspinall A. C. Jones K. Przybylak J. Bacsa P. R. Chalker S. Taylor C. Z. Zhao S. D. Elliott A. Zydor P. Heys J. Mater. Chem. 2008 18 4561 4571
24. J. Niinistö A. Rahtu M. Putkonen M. Ritala M. Leskela L. Niinisto Langmuir 2005 21 7321 7325
25. J. W. Elam M. J. Pellin S. D. Elliott A. Zydor M. C. Fala J. T. Hupp Appl. Phys. Lett. 2007 91 253123
26. A. Zydor S. D. Elliott J. Phys. Chem. A 2010 114 1879 1886
27. J. Niinistö K. Kukli M. Kariniemi M. Ritala M. Leskelä N. Blasco A. Pinchart C. Lachaud N. Laaroussi Z. Y. Wang C. Dussarrat J. Mater. Chem. 2008 18 5243 5247
28. J. Niinistö M. Mantymaki K. Kukli L. Costelle E. Puukilainen M. Ritala M. Leskelä J. Cryst. Growth 2010 312 245 249
29. S. Haukka, E. Tois, R. Matero A. Root, P. Ingman A. Zauner and S. Rushworth, "Study on Thermal Stability and Water Reactivity of Various Metal-Organic Titanium Precursors", presented at the 10th International Conference on Atomic Layer Deposition, 21 June 2010, Seoul, Korea
30. E. Langereis R. Roijmans F. Roozeboom M. C. M. van de Sanden W. M. M. Kessels J. Electrochem. Soc. 2011 158 G34 G38
31. M. Rose J. Niinistö P. Michalowski L. Gerlich L. Wilde I. Endler J. W. Bartha J. Phys. Chem. C 2009 113 21825 21830
32. Z. Hu C. H. Turner J. Phys. Chem. B 2006 110 8337 8347
33. Z. Hu C. H. Turner J. Am. Chem. Soc. 2007 129 3863 3878
34. M. Haran J. R. Engstrom P. Clancy J. Am. Chem. Soc. 2006 128 836 847
35. J. C. F. Rodriguez-Reyes A. V. Teplyakov J. Appl. Phys. 2008 104 084907
36. U. Terranova D. R. Bowler J. Mater. Chem. 2011 21 4197
37. V. Mäkinen K. Honkala H. Häkkinen J. Phys. Chem. C 2011 115 9250 9259
38. S. D. Elliott J. C. Greer J. Mater. Chem. 2004 14 3246
39. M. Nolan S. D. Elliott Chem. Mater. 2010 22 117 129
40. A. Zydor S. D. Elliott J. Nanosci. Nanotechnol. 2011 11 8089 8093
41. J. B. Cross H. B. Schlegel Chem. Mater. 2000 12 2466 2474
42. J.-K. Park J.-J. Myoung J.-B. Kyong H.-K. Kim Bull. Korean Chem. Soc. 2003 24 671 673
43. M. Ritala M. Leskelä L.-S. Johansson L. Niinistö Thin Solid Films 1993 228 32 35
44. R. J. Peglar F. H. Hambleton J. A. Hockey J. Catal. 1971 20 309 320
45. S. M. George O. Sneh A. C. Dillon M. L. Wise A. W. Ott L. A. Okada J. D. Way Appl. Surf. Sci. 1994 460 82 83
46. R. L. Puurunen A. Root S. Haukka E. I. Iiskola M. Lindblad A. O. I. Krause J. Phys. Chem. B 2000 104 6599 6609
47. Y. Widjaja C. B. Musgrave Appl. Phys. Lett. 2002 80 3304
48. S. Olivier J.-M. Ducéré C. Mastail G. Landa A. Estève M. Djafari Rouhani Chem. Mater. 2008 20 1555 1560
49. Z. Hu J. Shi C. H. Turner Mol. Simul. 2009 35 270 279
50. V. G. Kessler G. A. Seisenbaeva S. Gohil Surf. Coat. Technol. 2007 201 9082
51. G. Kresse J. Hafner Phys. Rev. B: Condens. Matter 1994 49 14251
52. G. Kresse J. Furthmüller Comput. Mater. Sci. 1996 6 15
53. P. E. Blöchl Phys. Rev. B: Condens. Matter 1994 50 17953
54. D. Joubert G. Kresse Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 1999 59 1758
55. J. P. Perdew K. Burke M. Ernzerhof Phys. Rev. Lett. 1996 77 3865
56. J. Ireta J. Neugebauer M. Scheffler J. Phys. Chem. A 2004 108 5692
57. K. S. Thanthiriwatte E. G. Hohenstein L. A. Burns C. D. Sherrill J. Chem. Theory Comput. 2011 7 88
58. F. D. Murnaghan Proc. Natl. Acad. Sci. U. S. A. 1944 30 244
59. M. Nolan S. D. Elliott J. S. Mulley M. Basham R. A. Bennett P. Mulheran Phys. Rev. B: Condens. Matter Mater. Phys. 2008 77 243545
60. C. Chizallet M. Digne C. Arrouvel P. Raybaud F. Delbeccq G. Costentin M. Che P. Sautet H. Toulhoat Top. Catal. 2009 52 1005 1016
61. U. Terranova D. R. Bowler J. Mater. Chem. 2011 21 4197
62. K. Sebbari C. Domain J. Roques H. Perron E. Simoni H. Catalette Surf. Sci. 2011 605 1275