Molecular orbital studies of titanium nitride chemical vapor deposition: Gas phase complex formation, ligand exchange, and elimination reactions

Chemistry of Materials

Volumn 12, Issue 8, 2000, Pages 2466-2474

  Cross, Jason B ^a   Schlegel, H Bernhard ^a  

^a WAYNE STATE UNIVERSITY   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

AMMONIA; CHLORIDE; HYDROCHLORIC ACID; IMIDE; METAL COMPLEX; NITRIDE; NITROGEN DERIVATIVE; TITANIUM DERIVATIVE; TITANIUM NITRIDE; UNCLASSIFIED DRUG;

ANALYTIC METHOD; ARTICLE; CHEMICAL REACTION; COMPLEX FORMATION; GAS; REACTION ANALYSIS; THERMODYNAMICS; VAPOR;

EID: 0033798386     PISSN: 08974756     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cm000107l     Document Type: Article

References (58)

1. Buhl, R.; Pulker, H. K.; Moll, E. Thin Solid Films 1981, 80, 265.
2. Pintchovski, F.; Travis, E. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1992, 260, 777.
3. Travis, E. O.; Fiordalice, R. W. Thin Solid Films 1993, 236, 325-329.
4. Dubois, L. H. Polyhedron 1994, 13, 1329-1336.
5. Hoffman, D. M. Polyhedron 1994, 13, 1169-1179.
6. Schintlmeister, W.; Pacher, O.; Pfaffinger, K.; Raine, T. J. Electrochem. Soc. 1976, 123, 924-929.
7. Kurtz, S. R.; Gordon, R. G. Thin Solid Flims 1986, 140, 277.
8. Hegde, R. I.; Fiordalice, R. W.; Tobin, P. J. Appl. Phys. Lett. 1993, 62, 2326-2328.
9. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1990, 2, 235-241.
10. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1990, 168, 357-362.
11. Fix, R.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1991, 3, 1138-1148.
12. Sugiyama, K.; Pac, S.; Takahashi, Y.; Motojima, S. J. Electrochem. Soc. 1975, 122, 614-619.
13. Fix, R. M.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. J. Am. Chem. Soc. 1990, 112, 7833-7835.
14. Dubois, L. H.; Zegarski, B. R.; Girolami, G. S. J. Electrochem. Soc. 1992, 139, 3603-3609.
15. Musher, J. N.; Gordon, R. G. J. Electrochem. Soc. 1996, 143, 736-744.
16. Musher, J. N.; Gordon, R. G. J. Mater. Res. 1996, 11, 989-1001.
17. Truong, C. M.; Chen, P. J.; Corneille, J. S.; Oh, W. S.; Goodman, D. W. J. Phys. Chem. 1995, 99, 8831-8842.
18. Baboul, A. G.; Schlegel, H. B. J. Phys. Chem. B 1998, 102, 5152-5157.
19. Hildenbrand, D. L. High. Temp. Mater. Sci. 1996, 35, 151-158.
20. Prybyla, J. A.; Chiang, C. M.; Dubois, L. H. J. Electrochem. Soc. 1993, 140, 2695-2702.
21. Everhart, J. B.; Ault, B. S. Inorg. Chem. 1995, 34, 4379-4384.
22. Winter, C. H.; Lewkebandara, T. S.; Sheridan, P. H.; Proscia, J. W. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1993, 282, 293.
23. Winter, C. H.; Lewkebandara, T. S.; Proscia, J. W.; Rheingold, A. L. Inorg. Chem. 1994, 33, 1227-1229.
24. Siodmiak, M.; Frenking, G.; Korkin, A. J. Mol. Model. 2000, 6, 413-424.
25. Allendorf, M. D.; Janssen, C. L.; Colvin, M. E.; Melius, C. F.; Nielsen, I. M. B.; Osterheld, T. H.; Ho, P. Proc. Electrochem. Soc. 1995, 95-2, 393-400.
26. Weiller, B. H. Chem. Mater. 1995, 7, 1609-1611.
27. Weiller, B. H. J. Am. Chem. Soc. 1996, 118, 4975-4983.
28. Weiller, B. H. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. ULSI 1996, 11, 409-415.
29. Winter, C. H.; Sheridan, P. H.; Lewkebandara, T. S.; Heeg, M. J.; Proscia, J. W. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 1095-1097.
30. Cundari, T. R. J. Am. Chem. Soc. 1992, 114, 7879-7888.
31. Cundari, T. R.; Gordon, M. S. J. Am. Chem. Soc. 1993, 115, 4210-4217.
32. Cundari, T. R.; Morse, J. M. Chem. Mater. 1996, 8, 189-196.
33. Cundari, T. R.; Sommerer, S. O. Chem. Vapor Depos. 1997, 3, 183-192.
34. Fix, R.; Gordon, R. G.; Hoffman, D. M. Chem. Mater. 1993, 5, 614-619.
35. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Zakrzewski, V. G.; Montgomery, J. A.; Stratmann, R. E.; Burant, J. C.; Dapprich, S.; Millam, J. M.; Daniels, A. D.; Kudin, K. N.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Tomasi, J.; Barone, V.; Cossi, M.; Cammi, R.; Mennucci, B.; Pomelli, C.; Adamo, C.; Clifford, S.; Ochterski, J.; Petersson, G. A.; Ayala, P. Y.; Cui, Q.; Morokuma, K.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Cioslowski, J.; Ortiz, J. V.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Gomperts, R.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Gonzalez, C.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B. G.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Head-Gordon, M.; Replogle, E. S.; Pople, J. A. Gaussian 98; Gaussian, Inc.: Pittsburgh, PA.
36. Becke, A. D. Phys. Rev. A 1988, 38, 3098-3100.
37. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648-5652.
38. Lee, C.; Yang, W.; Parr, R. D. Phys. Rev. B 1988, 37, 785-789.
39. Krishnan, R.; Binkley, J. S.; Seeger, R.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1980, 72, 650.
40. McLean, A. D.; Chandler, G. S. J. Chem. Phys. 1980, 72, 5639.
41. Wachters, A. J. H. J. Chem. Phys. 1970, 52, 1033.
42. Hay, J. P. J. Chem. Phys. 1977, 66, 4377.
43. Raghavachari, K.; Trucks, G. W. J. Chem. Phys. 1989, 91, 1062.
44. Scott, A. P.; Radom, L. J. Phys. Chem. 1996, 100, 16502-16513.
45. McQuarrie, D. A. Statistical Thermodynamics; University Science Books: Mill Valley, CA, 1973.
46. Curtiss, L. A.; Raghavachari, K.; Trucks, G. W.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1991, 94, 7221-7230.
47. Curtiss, L. A.; Carpenter, J. E.; Raghavachari, K.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1992, 96, 9030-9034.
48. Curtiss, L. A.; Raghavachari, K.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1993, 98, 1293-1298.
49. Raghavachari, K.; Curtiss, L. A. In Modern Electronic Structure Theory; Yarkony, D. R., Ed.; World Scientific Publishing: River Edge, NJ, 1995; p 459.
50. Cremer, D. In Encyclopedia of Computational Chemistry; Schleyer, P. v. R., Allinger, N. L., Clark, T., Gasteiger, J., Kollman, P. A., Schaefer III, H. F., Schreiner, P. R., Eds.; Wiley: Chichester, 1998.
51. Møller, C.; Plesset, M. S. Phys. Rev. 1934, 46, 618.
52. Pople, J. A.; Head-Gordon, M.; Raghavachari, K. J. Chem. Phys. 1987, 87, 5968.
53. Hawkins, N. M.; Carpenter, D. R. J. Chem. Phys. 1955, 23, 1700.
54. Hojo, J.; Kato, A. Yogyo-Kyokai-Shi 1981, 89, 277.
55. Fowles, G. W. A.; Pollard, F. H. J. Chem. Soc. 1953, 2588.
56. Guzei, I. A.; Winter, C. H. Inorg. Chem. 1997, 36, 4415-4420.
57. Cotton, F. A.; Wilkinson, G. Advanced Inorganic Chemistry; Wiley: New York, 1992.
58. Bradley, D. C.; Torrible, E. G. Can. J. Chem. 1963, 41, 134.