Vapor-assisted micropatterning in replica structures: A solventless approach towards topologically and chemically designable surfaces

Advanced Materials

Volumn 19, Issue 22, 2007, Pages 3801-3808

  Chen, Hsien Yeh ^a   Lahann, Joerg ^a  

^a UNIVERSITY OF MICHIGAN   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; FILM THICKNESS; MICROSTRUCTURE; MONOMERS; POLYMER FILMS; POLYMERIZATION;

CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (CVD) POLYMERIZATION; MICROPATTERNING; REPLICA STRUCTURES; ULTRATHIN POLYMER FILMS;

SURFACE STRUCTURE;

EID: 36549033753     PISSN: 09359648     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/adma.200602830     Document Type: Article

References (60)

1. M. A. Burns, B. N. Johnson, S. N. Brahmasandra, K. Handique, J. R. Webster, M. Krishnan, T. S. Sammarco, P. M. Man, D. Jones, D. Heldsinger, C. H. Mastrangelo, D. T. Burke, Science 1998, 282, 484.
2. J. D. Tian, H. Gong, N. J. Sheng, X. C. Zhou, E. Gulari, X. L. Gao, G. Church, Nature 2004, 432, 1050.
3. J. P. Pellois, X. C. Zhou, O. Srivannavit, T. C. Zhou, E. Gulari, X. L. Gao, Nat. Biotechnol. 2002, 20, 922.
4. C. S. Chen, M. Mrksich, S. Huang, G. M. Whitesides, D. E. Ingber, Science 1997, 276, 1425.
5. S. Takayama, J. C. McDonald, E. Ostuni, M. N. Liang, P. J. A. Kenis, R. F. Ismagilov, G. M. Whitesides, Proc. Natl. Acad. Sci. USA 1999, 96, 5545.
6. E. M. Lucchetta, J. H. Lee, L. A. Fu, N. H. Patel, R. F. Ismagilov, Nature 2005, 434, 1134.
7. T. Thorsen, S. J. Maerkl, S. R. Quake, Science 2002, 298, 580.
8. N. H. Mack, R. Dong, R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 7871.
9. B. R. Ringeisen, J. Callahan, P. K. Wu, A. Pique, B. Spargo, R. A. McGill, M. Bucaro, H. Kim, D. M. Bubb, D. B. Chrisey, Langmuir 2001, 17, 3472.
10. P. Rai-Choudhury, Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication, Vol. 1, SPIE, London, UK 1997.
11. N. Yao, Z. L. Wang, Handbook of Microscopy for Nanotechnology, Springer, New York, NY 2005.
12. A. A. Tseng, Small 2005, 1, 594.
13. F. Cerrina, J. Phys. D 2000, 33, R103.
14. D. Meschede, H. Metcalf, J. Phys. D 2003, 36, R17.
15. D. S. Ginger, H. Zhang, C. A. Mirkin, Angew. Chem. Int. Ed. 2004, 43, 30.
16. S. Kraemer, R. R. Fuierer, C. B. Gorman, Chem. Rev. 2003, 103, 4367.
17. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett. 1995, 67, 3114.
18. S. Y. Chou, P. R. Krauss, P. J. Renstrom, Science 1996, 272, 85.
19. Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Annu. Rev. Mater. Sci. 1998, 28, 153.
20. A. Kumar, G. M. Whitesides, Appl. Phys. Lett. 1993, 63, 2002.
21. J. L. Wilbur, A. Kumar, E. Kim, G. M. Whitesides, Adv. Mater. 1994, 6, 600.
22. Y. N. Xia, E. Kim, X. M. Zhao, J. A. Rogers, M. Prentiss, G. M. Whitesides, Science 1996, 273, 347.
23. X. M. Zhao, Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Adv. Mater. 1996, 8, 837.
24. E. Kim, Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Nature 1995, 376, 581.
25. E. Kim, Y. N. Xia, X. M. Zhao, G. M. Whitesides, Adv. Mater. 1997, 9, 651.
26. K. Y. Suh, Y. S. Kim, H. H. Lee, Adv. Mater. 2001, 13, 1386.
27. W. T. Tsang, A. Y. Cho, Appl. Phys. Lett. 1978, 32, 491.
28. T. Schallenberg, T. Borzenko, G. Schmidt, M. Obert, G. Bacher, C. Schumacher, G. Karczewski, L. W. Molenkamp, S. Rodt, R. Heitz, D. Bimberg, Appl. Phys. Lett. 2003, 82, 4349.
29. S. De Vusser, S. Steudel, K. Myny, J. Genoe, P. Heremans, Appl. Phys. Lett. 2006, 88.
30. D. C. Duffy, R. J. Jackman, K. M. Vaeth, K. F. Jensen, G. M. White-sides, Adv. Mater. 1999, 11, 546.
31. N. Takano, L. M. Doeswijk, M. A. F. van den Boogaart, J. Auerswald, H. F. Knapp, O. Dubochet, T. Hessler, J. Brugger, J. Micromech. Microeng. 2006, 16, 1606.
32. E. Ostuni, R. Kane, C. S. Chen, D. E. Ingber, G. M. Whitesides, Langmuir 2000, 16, 1811.
33. R. Pal, K. E. Sung, M. A. Burns, Langmuir 2006, 22, 5392.
34. D. G. Castner, B. D. Ratner, Surf. Sci. 2002, 500, 28.
35. J. Lahann, D. Klee, H. Hocker, Macromol. Rapid Commun. 1998, 19, 441.
36. J. Lahann, R. Langer, Macromolecules 2002, 35, 4380.
37. J. Lahann, M. Balcells, H. Lu, T. Rodon, K. F. Jensen, R. Langer, Anal. Chem. 2003, 75, 2117.
38. H.-Y. Chen, J. Lahann, Anal. Chem. 2005, 77, 6909.
39. H. Y. Chen, Y. Elkasabi, J. Lahann, J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 374.
40. J. Lahann, M. Balcells, T. Rodon, J. Lee, I. S. Choi, K. F. Jensen, R. Langer, Langmuir 2002, 18, 3632.
41. J. Lahann, H. Hocker, R. Langer, Angew. Chem. Int. Ed. 2001, 40, 726.
42. J. Lahann, I. S. Choi, J. Lee, K. F. Jenson, R. Langer, Angew. Chem. Int. Ed. 2001, 40, 3166.
43. R. J. Jackman, D. C. Duffy, O. Cherniavskaya, G. M. Whitesides, Langmuir 1999, 15, 2973.
44. H. W. Gu, R. K. Zheng, X. X. Zhang, B. Xu, Adv. Mater. 2004, 16, 1356.
45. A. Tixier, Y. Mita, J. P. Gouy, H. Fujita, J. Micromech. Microeng. 2000, 10, 157.
46. T. Schallenberg, C. Schumacher, S. Gundel, W. Faschinger, Thin Solid Films 2002, 412, 24.
47. M. Graff, S. K. Mohanty, E. Moss, A. B. Frazier, J. Microelectromech. Syst. 2004, 13, 956.
48. G. M. Kim, M. A. F. van den Boogaart, J. Brugger, Microelectron. Eng. 2003, 67-8, 609.
49. Y. X. Zhou, A. T. Johnson, Nano Lett. 2003, 3, 1371.
50. H. Nandivada, H. Y. Chen, J. Lahann, Macromol. Rapid Commun. 2005, 26, 1794.
51. H. Nandivada, H. Y. Chen, L. Bondarenko, J. Lahann, Angew. Chem. Int. Ed. 2006, 45, 3360.
52. K. Schurmann, J. Lahann, P. Niggemann, B. Klosterhalfen, J. Meyer, A. Kulisch, D. Klee, R. W. Gunther, D. Vorwerk, Radiology 2004, 230, 151.
53. W. F. Gorham, J. Polym. Sci. Polym. Chem. Ed. 1966, 4, 3027.
54. Y. Elkasabi, H. Y. Chen, J. Lahann, Adv. Mater. 2006, 18, 1521.
55. G. T. Hermanson, Bioconjugate Techniques, Academic, San Diego, CA 1996.
56. E. M. Tolstopyatov, J. Phys. D 2002, 35, 1516.
57. E. M. Tolstopyatov, S. H. Yang, M. C. Kim, J. Phys. D 2002, 35, 2723.
58. D. Briggs, Surface Analysis of Polymers by XPS and Static SIMS, Cambridge University Press, Cambridge 1998.
59. M. Yoshida, R. Langer, A. Lendlein, J. Lahann, Polym. Rev. 2006, 46, 347.
60. J. Lahann, Chem. Eng. Commun. 2006, 193, 1457.