Recent progress in transparent oxide semiconductors: Materials and device application

Thin Solid Films

Volumn 515, Issue 15 SPEC. ISS., 2007, Pages 6000-6014

  Hosono, Hideo ^a  

^a TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

Oxide; Semiconductor; Transparent conductive oxide

Indexed keywords

CONDUCTIVE MATERIALS; EPITAXIAL GROWTH; LIGHT EMITTING DIODES; NONLINEAR OPTICS; SENSORS; THIN FILMS; ULTRAVIOLET DEVICES;

OXYCHALCOGENIDES; TRANSPARENT CONDUCTIVE OXIDE (TCO);

SEMICONDUCTOR MATERIALS;

EID: 34247326380     PISSN: 00406090     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1016/j.tsf.2006.12.125     Document Type: Article

References (71)

1. Rupprecht G. Z. Phys. 139 (1954) 504
2. Kawazoe H., Yasukawa M., Hyodo H., Kurita M., Yanagi H., and Hosono H. Nature 389 (1997) 939
3. Kawazoe H., Yanagi H., Ueda K., and Hosono H. MRS Bulletin 25 (2000) 28
4. Hosono H., Yasukawa M., and Kawazoe H. J. Non-Cryst. Solids 203 (1996) 334
5. Hosono H. J. Non-Cryst. Sol. 352 (2006) 851
6. Ueda K., Hase T., Yanagi H., Kawazoe H., Hosono H., Ohta H., Orita M., and Hirano M. J. Appl. Phys. 89 (2001) 1790
7. Kudo A., Yanagi H., Hosono H., and Kawazoe H. Appl. Phys. Lett. 73 (1998) 220
8. Ohta H., Orita M., Hirano M., Yagi I., Ueda K., and Hosono H. J. Appl. Phys. 91 (2002) 3074
9. Mizoguchi M., Hirano, Fujitsu S., Takeuchi T., Ueda K., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 80 (2002) 1207
10. Ueda N., Hosono H., Waseda R., and Kawazoe H. Appl. Phys. Lett. 70 (1997) 3561
11. Orita M., Ohta H., Hirano M., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 77 (2001) 4166
12. Orita M., Hiramatsu H., Ohta H., Hirano M., and Hosono H. Thin Solid Films 411 (2002) 134
13. Mizoguchi H., Orita M., Hirano M., Fujitsu S., Takeuchi T., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 80 (2002) 4732
14. Shimakawa K., Narushima S., Hosono H., and Kawazoe H. Philos. Mag. Lett. 79 (1999) 755
15. Narushima S., Orita M., Hirano M., and Hosono H. Phys. Rev. B 66 (2002) 035203
16. Orita M., Ohta H., Hirano M., Narushima S., and Hosono H. Philos. Mag. B 81 (2001) 501
17. Narushima S., Mizoguchi H., Simizu K., Ueda K., Ohta H., Hirano M., Kamiya T., and Hosono H. Adv. Mater. 15 (2003) 1409
18. Kamiya T., Narushima S., Mizoguchi H., Ueda K., Ohta H., Hirano M., and Hosono H. Adv. Funct. Mater. 15 (2005) 965
19. MRS Bull. 25 8 (2002)
20. Hosono H. Int. J. Appl. Ceram. Technol. 1 (2004) 106
21. Hayashi K., Hirano M., Matsuishi S., and Hosono H. J. Am. Chem. Soc. 124 (2002) 736
22. Hayashi K., Matsuishi S., Kamiya T., Hirano M., and Hosono H. Nature 419 (2002) 462
23. Matsuishi S., Toda Y., Miyakawa M., Hayashi K., Kamiya T., Hirano M., Tanaka I., and Hosono H. Science 301 (2004) 626
24. Matsuishi S., Matsuishi S., Hayashi K., Hirano M., and Hosono H. J. Am. Chem. Soc. 127 (2005) 1245
25. Hayashi K., et al. Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 022109
26. Sushiko P., Shluger A., Hayashi K., Hirano M., and Hosono H. Phys. Rev. Lett. 91 (2003) 126401
27. Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 092101
28. Toda Y., et al. Adv. Mater. 16 (2004) 685
29. Ohta H., Orita M., Hirano M., Tanji H., Kawazoe H., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 76 (2000) 2740
30. Ohta H., Orita M., Hirano M., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 91 (2002) 3547
31. Ohta H., Mizoguchi H., Hirano M., Narushima S., Kamiya T., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 82 (2003) 823
32. Yanagi H., Ueda K., Hosono H., Ohta H., Orita M., and Hirano M. Solid State Commun. 121 (2002) 15
33. Ohta H., Kawamura K., Orita M., Hirano M., Sarukura N., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 77 (2000) 475
34. Ohta H., Hirano M., Nakahara K., Maruta H., Tanabe T., Kamiya M., Kamiya T., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 83 (2003) 1029
35. Ohta H., Kambayashi T., Hirano M., Hoshi H., Ishikawa K., Takezoe H., and Hosono H. Adv. Mater. 15 (2003) 1258
36. Ohta H., Kambayashi T., Nomura K., Hirano M., Ishikawa K., Takezoe H., and Hosono H. Adv. Mater. 16 (2004) 312
37. Nomura K., Ohta H., Ueda K., Kamiya T., Hirano M., and Hosono H. Science 300 (2003) 1269
38. Prins M.W.J., Zinnemers S.E., Cillessen J.F.M., and Giesbers J.B. Appl. Phys. Lett. 70 (1997) 458
39. Ohta H., Nomura K., Orita M., Hirano M., Ueda K., Suzuki T., Ikuhara Y., and Hosono H. Adv. Funct. Mater. 13 (2003) 139
40. Nomura K., Ohta H., Takagi A., Kamiya T., Hirano M., and Hosono H. Nature 488 (2004) 432
41. Nomura K., Takagi A., Kamiya T., Ohta H., Hirano M., and Hosono H. Jpn. J. Appl. Phys. 45 (2006) 4303
42. Yabuta H., et al. Appl. Phys. Lett. 89 (2006) 112
43. H. Hosono, 352 (2006) 851
44. Hosono H., Kikuchi N., Ueda N., and Kawazoe H. J. Non-Cryst. Sol. 198-200 (1996) 165
45. Presley R.E., Hong D., Chiang H.Q., Hung C.M., Hoffman R.L., and Wager J.F. Solid-State Electron. 50 (2006) 500
46. Görrn P., Sander M., Meyer J., Kröger M., Becker E., Johannes H.-H., Kowalsky W., and Riedl T. Adv. Mater. 18 (2006) 738
47. Charkin D.O., Akopyan A.V., and Dolgikh V.A. Russ. J. Inorg. Chem. 44 (1999) 833 and references therein
48. Hiramatsu H., Ueda K., Kamiya T., Ohta H., Hirano M., and Hosono H. J. Phys. Chem. B 108 (2004) 17344
49. Ueda K., Hiramatsu H., Ohta H., Hirano M., Kamiya T., and Hosono H. Phys. Rev. B 69 (2004) 155305
50. Hiramatsu H., Ueda K., Ohta H., Orita M., Hirano M., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 81 (2002) 598
51. Hiramatsu H., Ueda K., Takafuji K., Ohta H., Hirano M., Kamiya T., and Hosono H. J. Mater. Res. 19 (2004) 2137
52. Hiramatsu H., Ohta H., Suzuki T., Honjo C., Ikuhara Y., Ueda K., Kamiya T., Hirano M., and Hosono H. Cryst. Growth Des. 4 (2004) 301
53. Nomura K., Ohta H., Suzuki T., Honjo C., Ueda K., Kamiya T., Orita M., Ikuhara Y., Hirano M., and Hosono H. J. Appl. Phys. 95 (2004) 5532
54. Hiramatsu H., Ueda K., Ohta H., Hirano M., Kamiya T., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 82 (2003) 1048
55. Ueda K., Inoue S., Hirose S., Kawazoe H., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 77 (2000) 2701
56. Ueda K., Inoue S., Hosono H., Sarukura N., and Hirano M. Appl. Phys. Lett. 78 (2001) 2333
57. Ueda K., and Hosono H. J. Appl. Phys. 91 (2002) 4768
58. Ueda K., Takafuji K., Hiramatsu H., Ohta H., Kamiya T., Hirano M., and Hosono H. Chem. Mater. 15 (2003) 3692
59. Hiramatsu H., Ueda K., Takafuji K., Ohta H., Hirano M., Kamiya T., and Hosono H. J. Appl. Phys. 94 (2003) 5805
60. Kamioka H., Hiramatsu H., Ohta H., Ueda K., Hirano M., Kamiya T., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 84 (2004) 879
61. Kamioka H., Hiramatsu H., Ueda K., Hirano M., Kamiya T., and Hosono H. Opt. Lett. 29 (2004) 1659
62. Kawamura K., Maekawa K., Yanagi H., Hirano M., and Hosono H. Thin Solid Films 445 (2003) 182
63. Hiramatsu H., Ueda K., Ohta H., Kamiya T., Hirano M., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 87 (2005) 211107
64. Kamihara Y., Hiramatsu H., Hirano M., Kawamura R., Yanagi H., Kamiya T., and Hosono H. J. Am. Chem. Soc. 128 (2006) 10012
65. Wang Z.L. Materials Today 4 6 (2003) 26
66. Dai Z.R., Pan Z.W., and Wang Z.L. Adv. Funct. Mater. 13 (2003)
67. Arnold M.S., Avouris P., Pan Z.W., and Wang Z.L. J. Phys. Chem. B 107 (2003) 659
68. Comini E., Fraglia G., Shervegliieri G., Z.W. Z.L., and Wang. Appl. Phys. Lett. 81 (2002) 1869
69. Lee C.J., Lee T.J., Lyu S.C., Zhang Y., Ruh H., and Lee H.L. Appl. Phys. Lett. 81 (2002) 3648
70. Miyauchi M., Tokudome H., Toda Y., Kamiya T., and Hosono H. Appl. Phys. Lett. 89 (2006) 043114
71. Wang Z.L., and Song J. Science 312 (2006) 242