Growth mechanism for single-crystalline thin film of InGaO 3(ZnO)5 by reactive solid-phase epitaxy

Journal of Applied Physics

Volumn 95, Issue 10, 2004, Pages 5532-5539

  Nomura, Kenji ^a,d   Ohta, Hiromichi ^a   Ueda, Kazushige ^a,d   Kamiya, Toshio ^a,d   Orita, Masahiro ^a   Hirano, Masahiro ^a   Suzuki, Toshiyuki ^b   Honjyo, Chizuru ^b   Ikuhara, Yuichi ^c   Hosono, Hideo ^d  

^a JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY   (Japan)

^b JAPAN FINE CERAMICS CENTER   (Japan)

^c UNIVERSITY OF TOKYO   (Japan)

^d TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (Japan)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

CRYSTALLINE MATERIALS; ELECTRIC FIELDS; EPITAXIAL GROWTH; FILM GROWTH; THIN FILMS; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS; ZIRCONIA;

GROWTH MECHANISM; NANOMETER SCALES; SOLID PHASE EPITAXY; THERMAL ANNEALING;

ZINC OXIDE;

EID: 2942587136     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1712010     Document Type: Article

References (37)

1. G. Thomas, Nature (London) 389, 907 (1997).
2. H. Kawazoe, M. Yasukawa, H. Hyodo, M. Kurita, H. Yanagi, and H. Hosono, Nature (London) 389, 939 (1997).
3. M. W. J. Prins, K.-O. Grosse-Holz, G. Muller, J. F. M. Cillessen, J. B. Giesbers, R. P. Weening, and R. M. Wolf, Appl. Phys. Lett. 68, 3650 (1996).
4. A. Kudo, H. Yanagi, K. Ueda, H. Hosono, H. Kawazoe, and Y. Yano, Appl. Phys. Lett. 75, 2851 (1999).
5. H. Yanagi, K. Ueda, H. Ohta, M. Orita, M. Hirano, and H. Hosono, Solid State Commun. 121, 615 (2001).
6. H. Ohta, K. Kawamura, M. Orita, M. Hirano, N. Sarukura, and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 77, 475 (2000).
7. M. W. J. Prins, S. E. Zinnemers, J. F. M. Cillessen, and J. B. Giesbers, Appl. Phys. Lett. 70, 458 (1997).
8. R. L. Huffman, B. J. Norris, and J. F. Wager, Appl. Phys. Lett. 82, 733 (2003).
9. P. F. Carcia, R. S. McLean, M. H. Reilly, and G. Nunes, Jr., Appl. Phys. Lett. 82, 1117 (2003).
10. V. H. Kasper, Z. Anorg. Allg. Chem. 349, 113 (1967).
11. N. Kimizuka, M. Isobe, and M. Nakamura, J. Solid State Chem. 116, 170 (1995).
12. C. Li, Y. Bando, M. Nakamura, M. Onoda, and N. Kimizuka, J. Solid State Chem. 139, 347 (1998).
13. M. Isobe, N. Kimizuka, M. Nakamura, and T. Mohri, Acta Crystallogr., Sect. C: Cryst. Struct. Commun. 50, 332 (1994).
14. H. Hiramatsu, W. S. Seo, and K. Koumoto, Chem. Mater. 10, 3033 (1998).
15. T. Minami, H. Sonohara, K. Toshikazu, and S. Takata, Jpn. J. Appl. Phys., Part 2 34, L971 (1995).
16. L. Dupont, C. Maugy, N. Naghavi, C. Guery, and J. M. Tarascon, J. Solid State Chem. 158, 119 (2001).
17. J. W. Phillips, R. J. Cava, G. A. Thomas, S. A. Cater, J. Kwo, T. Siegrist, J. J. Krajewski, J. H. Marchall, W. F. Peak, Jr., and D. H. Papkine, Appl. Phys. Lett. 67, 2246 (1995).
18. N. Naghavi, A. Rougier, C. Marcet, C. Guerv, J. B. Leriche, and J. M. Trascon, Thin Solid Films 360, 233 (2000).
19. J.-K. Lee, H.-M. Kim, S.-H. Park, J.-J. Kim, B.-R. Rhee, and S.-H. Sohn, J. Appl. Phys. 92, 5761 (2002).
20. S.-H. Park, H.-M. Kim, B.-R. Rhee, E.-Y. Ko, and S.-H. Shon, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 40, 1429 (2001).
21. N. Ohashi, I. Sakaguchi, S. Hishita, Y. Adachi, H. Hareda, and T. Ogino, J. Appl. Phys. 92, 2378 (2002).
22. K. S. Yun, B. D. Choi, Y. Matsumoto, J. H. Song, N. Kanda, T. Itoh, M. Kawasaki, T. Chikyow, P. Ahmet, and H. Koinuma, Appl. Phys. Lett. 80, 61 (2002).
23. N. Chandrasekhar and D. G. Schlom, Physica C 235-240, 697 (1994).
24. R. S. Wagner and W. C. Ellis, Appl. Phys. Lett. 4, 89 (1964).
25. A. M. Morales and C. M. Lieber, Science 279, 208 (1998).
26. H. Ohta, K. Nomura, M. Orita, M. Hirano, K. Ueda, T. Suzuki, Y. Ikuhara, and H. Hosono, Adv. Funct. Mater. 13, 139 (2003).
27. H. Ohta, H. Tanji, M. Orita, H. Hosono, and H. Kawazoe, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 570, 309 (1999).
28. K. Nomura, H. Ohta, K. Ueda, M. Orita, M. Hirano, and H. Hosono, Thin Solid Films 411, 147 (2000).
29. H. Hiramatsu, K. Ueda, H. Ohta, M. Orita, M. Hirano, and H. Hosono, Appl. Phys. Lett. 81, 598 (2002).
30. H. Ohta, H. Mizoguchi, M. Hirano, S. Narushima, T. Kamiya, and Hideo Hosono, Appl. Phys. Lett. 82, 823 (2003).
31. K. Nomura, H. Ohta, K. Ueda, T. Kamiya, M. Hirano, and H. Hosono, Science 300, 1269 (2003).
32. H. Ohta, M. Orita, M. Hirano, and H. Hosono, J. Appl. Phys. 91, 3547 (2002).
33. M. Orita, H. Ohta, M. Hirano, S. Narushima, and H. Hosono, Philos. Mag. B 81, 501 (2001).
34. H. Kiessig, Ann. Phys. (Leipzig) 10, 771 (1931).
35. H. Ohta, K. Nomura, H. Hiramatsu, T. Suzuki, K. Ueda, M. Orita, M. Hirano, Y. Ikuhara, and H. Hosono, Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 747, V2.5.1 (2003).
36. T. Senda and R. C. Bradt, J. Am. Ceram. Soc. 73, 106 (1990).
37. H. Hiramatsu, H. Ohta, M. Hirano, T. Suzuki, C. Honjyo, Y. Ikuhara, K. Ueda, M. Hirano, and H. Hosono, Cryst. Growth Des. 4, 301 (2004).