Properties of Co-, Cr-, or Mn-implanted AlN

Journal of Applied Physics

Volumn 94, Issue 3, 2003, Pages 1592-1596

  Frazier, R M ^a   Stapleton, J ^a   Thaler, G T ^a   Abernathy, C R ^a   Pearton, S J ^a   Rairigh, R ^b   Kelly, J ^b   Hebard, A F ^b   Nakarmi, M L ^c   Nam, K B ^c   Lin, J Y ^c   Jiang, H X ^c   Zavada, J M ^d   Wilson, R G ^e  

^a University of Florida   (United States)

^b Kansas State University ^*  (United States)

^c KANSAS STATE UNIVERSITY   (United States)

^d U S ARMY RESEARCH OFFICE   (United States)

^e NONE

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ALUMINUM NITRIDE; ANNEALING; CRYSTAL IMPURITIES; CRYSTAL ORIENTATION; FERROMAGNETIC MATERIALS; ION IMPLANTATION; LUMINESCENCE OF SOLIDS; MAGNETIC HYSTERESIS; MAGNETIZATION; MAGNETOMETERS; METALLORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; SQUIDS; X RAY DIFFRACTION ANALYSIS;

CURIE TEMPERATURE EFFECTS;

SEMICONDUCTING ALUMINUM COMPOUNDS;

EID: 0042433391     PISSN: 00218979     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1063/1.1586987     Document Type: Article

References (34)

1. A. L. Martin, C. M. Spalding, E. I. Dimitrova, P. G. Van Patten, M. C. Caldwell, M. E. Kordesch and H. H. Richardson, J. Vac. Sci. Technol. A 19, 1894 (2001).
2. F. Lu, R. Carius, A. Alam, M. Heuken, and Ch. Buchal, J. Appl. Phys. 92, 2457 (2002).
3. D.-H. Cho, M. Shimizu, T. Ide, H. Ookita, and H. Koumwa, Jpn. J. Appl. Phys., Part 1 41, 4481 (2002).
4. X. Hu et al., Appl. Phys. Lett. 82, 1299 (2003).
5. F. Serina, K. Y. S. Ng, C. Huang, G. W. Amer, L. Romni, and R. Naik, Appl. Phys. Lett. 79, 3350 (2001).
6. S.-H. Lee, J.-K. Lee, and K. H. Yoon, J. Vac. Sci. Technol. A 21, 1 (2003).
7. Y. Takagaki, P. Santos, E. Wiebicke, O. Brandt, J. D. Schmerr, and K. Ploog, Appl. Phys. Lett. 81, 2538 (2002).
8. G. Kipshidze, V. Kuryatkov, K. Zhu, B. Vorizov, M. Holtz, S. Nikishin, and H. Temkin, J. Appl. Phys. 93, 1363 (2003).
9. T. Nishida, N. Kobayashi, and T. Ban, Appl. Phys. Lett. 82, 1 (2003).
10. R. Gaska et al., Appl. Phys. Lett. 81, 4658 (2002).
11. K. E. Waldrip, J. Han, J. J. Figel, H. Zhou, E. Maharama, and A. V. Normikko, Appl. Phys. Lett. 78, 3205 (2001).
12. A. Bhattacharya, S. Iyer, E. Iliopoulous, A. V. Samparth, J. Cabalu, T. D. Moustakas, and I. Friel, J. Vac. Sci. Technol. B 20, 1229 (2002).
13. S. N. Yoganand, K. Jaqannadhan, A. Karoui, and H. Wang, J. Vac. Sci. Technol. A 20, 1974 (2002).
14. C. R. Miskys, J. A. Garrido, C. Nebel, M. Hermann, O Ambacher, M. Eickoff, and M. Stutzmann, Appl. Phys. Lett. 82, 290 (2003).
15. V. I. Litvinov and V. K. Dugaev, Phys. Rev. Lett. 86, 5593 (2001).
16. S. G. Yang, A. B. Pakhomov, S. T. Hung, and C. Y. Wong, Appl. Phys. Lett. 81, 2418 (2002).
17. S. Y. Wu, H. X. Liu, L. Gu, R. K. Singh, L. Budd, M. Schilfgaaarde, M. R. McCartney, D. J. Smith, and N. Newman, Appl. Phys. Lett. 82, 3047 (2003).
18. N. Theodoropoulou, A. F. Hebard, M. E. Overberg, C. R. Abernathy, S. J. Pearton, S. N. G. Chu, and R. G. Wilson, Phys. Rev. Lett. 89, 107203 (2003).
19. S. O. Kucheyev, J. S. Williams, J. Zou, C. Jaegadish, M. Pophristic, S. Guo, I. T. Ferguson, and M. O. Manasreh, J. Appl. Phys. 92, 3554 (2002).
20. J. Li, K. B. Nam, M. C. Nakarmi, J. Y. Lin, and H. X. Jiang, Appl. Phys. Lett. 81, 3365 (2002).
21. E. Kuokstis et al., Appl. Phys. Lett. 81, 2755 (2002).
22. M. Hastimoto, Y.-K. Zhou, M. Kanamura, and H. Asahi, Solid State Commun. 122, 37 (2002).
23. S. E. Park, H.-J. Lee, Y. C. Cho, S.-Y. Jeong, C. R. Cho, and S. Cho, Appl. Phys. Lett. 80, 4187 (2002).
24. S. J. Pearton, C. R. Abernathy, D. P. Norton, A. F. Hebard, Y. D. Park, L. A. Boatner, and J. D. Budai, Mater. Sci. Eng., R. 40, 137 (2003).
25. T. Gral, M. Gjukic, M. S. Brandt, M. Stutzmann, and O. Ambacher, Appl. Phys. Lett. 81, 5159 (2002).
26. J. S. Williams, Mater. Sci. Eng., A 253, 9 (1998).
27. K. B. Nam, J. Li, K. H. Kim, J. Y. Lin, and H. X. Jiang, Appl. Phys. Lett. 78, 3690 (2001).
28. Y. Ji, G. J. Stijkers, F. Y. Yang, C. C. Chien, J. M. Byers, A. Angvelovch, G. Xiao, and A. Gupta, Phys. Rev. Lett. 86, 5585 (2001).
29. K. Inumarn, H. Okamoto, and S. J. Yamanka, J. Cryst. Growth 237-239, 2050 (2002).
30. K. Suzuki, T. Kancho, H. Yoshida, H. Morita, and H. Fujimori, J. Alloys Compd. 224, 232 (1995).
31. A. L. Chudnovskiy and D. Pfannkuche, Phys. Rev. B 65, 165216 (2002).
32. M. van Sehilfgaarde and O. N. Mryasov, Phys. Rev. B 63, 233205 (2001).
33. M. Bercui and R. N. Bhatt, Phys. Rev. Lett. 87, 107203 (2001).
34. A. Kaminski and S. D. Sarma, Phys. Rev. Lett. 88, 247202 (2002).