Gas phase reactions between SiH4 and B2H6: A theoretical study

Journal of Physical Chemistry A

Volumn 107, Issue 10, 2003, Pages 1635-1640

  Hu, Shao Wen ^a   Wang, Yi ^a   Wang, Xiang Yun ^a  

^a PEKING UNIVERSITY   (China)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIBORANE; ENERGY BARRIER; GAS-PHASE REACTIONS; SILABORANES; THERMAL ACTIVATION;

ADSORPTION; BORON; CARRIER CONCENTRATION; CHEMICAL BONDS; CHEMICAL VAPOR DEPOSITION; COMPOSITION; HYDROGEN; MOLECULES; SILANES; SILICON;

CHEMICAL REACTIONS;

EID: 0037435132     PISSN: 10895639     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/jp027113k     Document Type: Article

References (39)

1. Waltenburg, H. N.; Yates, J. T. Chem. Rev. 1995, 95, 1589.
2. Wang, Y. J.; Shan, J.; Hamers, R. J. J. Vac. Sci. Technol. B 1996, 14, 1038.
3. Sanganeria, M. K.; Violette, K. E.; Ozturk, M. C.; Harris, G.; Maher, D. M. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 285.
4. Habuka, H.; Akiyama, S.; Otsuka, T.; Qu, W. F. J. Cryst. Growth 2000, 209, 807.
5. Chattopadhyay, S.; Das, D.; Sharma, S. N.; Barua, A. K.; Banerjee, R.; Kshirsagar, S. T. Jpn. J. Appl. Phys. 1 1995, 34, 5743.
6. Gourbilleau, F.; Achiq, A.; Voivenel, P.; Rizk, R. Solid State Phenom. 1999, 67, 137.
7. Gong, B.; Brown, D. E.; Kang, J. H.; Jo, S. K.; Sun, Y. M.; Ekerdt, J. G. Phys. Rev. B 1999, 59, 15225.
8. Hess, G.; Parkinson, P.; Gong, B.; Xu, Z.; Lim, D.; Downer, M.; John, S.; Banerjee, S.; Ekerdt, J. G.; Jo, S. K. Appl. Phys. Lett. 1997, 71, 2184.
9. Meloni, G.; Gingerich, K. A. J. Chem. Phys. 2001, 115, 5470.
10. Cowern, N. E. B.; Mannino, G.; Stolk, P. A.; Roozeboom, F.; Huizing, H. G. A.; van Berkum, J. G. M.; Cristiano, F.; Claverie, A.; Jaraiz, M. Phys. Rev. Lett. 1999, 82, 4460.
11. Caputo, D.; de Cesare, G.; Nascetti, A; Palma, F. Thin Solid Films 1999, 348, 79.
12. Isomura, M.; Kinoshita, T.; Tsuda, S. J. Non-Cryst. Solids 1996, 200, 453.
13. Pietruszko, S. M.; Pachocki, M.; Jang, J. J. Non-Cryst. Solids 1996, 200, 73.
14. Nakamura, K.; Masuda, K.; Shigeta, Y. Surf. Sci. 2000, 454, 21.
15. Fujita, K.; Ichikawa, M. Surf. Sci. 2000, 468, 85.
16. Lin, S. Y. Thin Solid Films 1999, 344, 285.
17. Voz, C.; Peiro, D.; Bertomeu, J.; Soler, D.; Fonrodona, M.; Andreu, J. Mat. Sci. Eng. B - Solid 2000, 69, 278.
18. Niira, K.; Hakuma, H.; Komoda, M.; Fukui, K.; Shirasawa, K. Sol. Energ. Mat. Sol. C 2001, 69, 107.
19. Pietruszko, S. M.; Jang, J. Sol. Energ. Mat. Sol. C 2002, 71, 459.
20. Jadkar, S. R.; Sali, J. V.; Takwale, M. G.; Musale, D. V.; Kshirsagar, S. T. Sol. Energ. Mat. Sol. C 2000, 64, 333.
21. Ferreira, I.; Fortunato, E.; Martins, R.; Vilarinho, P. J. Appl. Phys. 2002, 91, 1644.
22. Habuka, H.; Otsuka, T.; Qu, W. F.; Shimada, M.; Okuyama, K. J. Cryst. Growth 2001, 222, 183.
23. Lengyel, I.; Jensen, K. F. Thin Solid Films 2000, 365, 231.
24. Jensen, K. F.; Rodgers, S. T.; Venkataramani, R. Curr. Opin. Solid State Mater. 1998, 3, 562.
25. Wang, S. W.; Radny, M. W.; Smith, P. V. Surf. Sci. 1997, 394, 235.
26. Simka, H.; Willis, B. G.; Lengyel, I.; Jensen, K. F. Prog. Cryst. Growth Ch. 1997, 35, 117.
27. Wang, L. G.; Clancy, P.; Thompson, M. O.; Murthy, C. S. J. Appl. Phys. 2002, 92, 2412.
28. Perrin, J.; Takeda, Y.; Hirano, N.; Takeuchi, Y.; Matsuda, A. Surf. Sci. 1989, 114, 210.
29. Fresquet, G.; Azzaro, C.; Couderc, J. P. J. Electrochem. Soc. 1995, 142, 538.
30. Ho, P.; Colvin, M. E.; Melius, C. F. J. Phys. Chem. A 1997, 101, 9470.
31. Allendorf, M. D.; Melius, C. F. Surf. Coat. Technol. 1998, 109, 191.
32. Allendorf, M. D.; Melius, C. F. J. Phys. Chem. A 2002, 106, 6370.
33. Hu, S. W.; Kim, J.; Tarakeshwar, P.; Kim, K. S. J. Phys. Chem. A 2002, 106, 6817.
34. Hu, S. W.; Wang, X. Y. J. Phys. Chem. A 2002, 106, 9558.
35. Peng, C. Y.; Ayala, P. Y.; Schlegel, H. B.; Frisch, M. J. J. Comput. Chem. 1996, 17, 49.
36. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.; Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Zakrzewski, V. G.; Montgomery, J. A., Jr.; Stratmann, R. E.; Burant, J. C.; Dapprich, S.; Millam, J. M.; Daniels, A. D.; Kudin, K. N.: Strain, M. C.; Farkas, O.; Tomasi, J.; Barone, V.; Cossi, M.; Cammi, R.; Mennucci, B.; Pomelli, C.; Adamo, C.; Clifford, S.; Ochterski, J.; Petersson, G. A.; Ayala, P. Y.; Cui, Q.; Morokuma, K.; Malick, D. K.; Rabuck, A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Cioslowski, J.; Ortiz, J.V.; Stefanov, B. B.; Liu, G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Gomperts, R.; Martin, R. L.; Fox, D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.; Gonzalez, C.; Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B. G.; Chen, W.; Wong, M. W.; Andres, J. L.; Head-Gordon, M.; Replogle, E. S.; Pople, J. A. Gaussian 98, revision A.7; Gaussian, Inc.; Pittsburgh, PA, 1998.
37. Biegler-Konig, F.; Schonbohm, J.; Bayles, D. J. Comput. Chem. 2001, 22, 545.
38. Bader, R. F. W. Atoms in Molecules: A Quantum Theory: Oxford University Press: Oxford, U.K., 1990.
39. McKee, M. L. J. Phys. Chem. 1992, 92, 5380.