Energetics of self-interstitial clusters in si

Physical Review Letters

Volumn 82, Issue 22, 1999, Pages 4460-4463

  Cowern, N E B ^a   Mannino, G ^a,d   Stolk, P A ^a   Roozeboom, F ^a   Huizing, H G A ^a   van Berkum, J G M ^a   Cristiano, F ^b   Claverie, A ^b   Jaraiz M ^c  

^a PHILIPS RESEARCH LABORATORIES   (Netherlands)

^b CEMES CNRS   (France)

^c UNIVERSITY OF VALLADOLID   (Spain)

^d UNIVERSITY OF CATANIA   (Italy)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 3342986580     PISSN: 00319007     EISSN: 10797114     Source Type: Journal    
DOI: 10.1103/PhysRevLett.82.4460     Document Type: Article

References (17)

1. M. Kohyama and S. Takeda, Phys. Rev. B, 46, 12 305, (1992); Phys. Rev. B
2. M. Kohyama, S. Takeda 51, 13 111, (1995).
3. D. J. Eaglesham, P. A. Stolk, H.-J. Gossmann and J. M. Poate, Appl. Phys. Lett., 65, 2305, (1994).
4. N. E. B. Cowern, G. F. A. van de Walle, P. C. Zalm and D. W. E. Vandenhoudt, Appl. Phys. Lett., 65, 2981, (1994).
5. H. G. A. Huizing, C. C. G. Visser, N. E. B. Cowern, P. A. Stolk and R. C. M. de Kruif, Appl. Phys. Lett., 69, 1211, (1996).
6. H. S. Chao, P. B. Griffin, J. D. Plummer and C. S. Rafferty, Appl. Phys. Lett., 69, 2113, (1996).
7. P. A. Stolk, H.-J. Gossmann, D. J. Eaglesham, D. C. Jacobson, C. S. Rafferty, G. H. Gilmer, M. Jaraiz, J. M. Poate, H. S. Luftman and T. E. Haynes, J. Appl. Phys., 81, 6031, (1997).
8. Y. H. Lee, Appl. Phys. Lett., 73, 1119, (1998).
9. N. Arai, S. Takeda and M. Kohyama, Phys. Rev. Lett., 78, 4265, (1997).
10. N. Cuendet, T. Halicioglu and W. A. Tiller, Appl. Phys. Lett., 68, 19, (1996).
11. J. L. Benton, K. Halliburton, S. Libertino, D. J. Eaglesham and S. Coffa, J. Appl. Phys., 84, 4749, (1998).
12. N. E. B. Cowern, G. F. A. van de Walle, D. J. Gravesteijn and C. J. Vriezema, Phys. Rev. Lett., 67, 212, (1991).
13. N. E. B. Cowern, K. T. F. Janssen, G. F. A. van de Walle and D. J. Gravesteijn, Phys. Rev. Lett., 65, 2434, (1990).
14. R. B. Fair, in Impurity Doping Processes in Si, F. F. Y. Wang (North-Holland, Amsterdam, 1981), p. 315.
15. D. R. Lim, C. S. Rafferty and F. P. Clemens, Appl. Phys. Lett., 67, 2303, (1995).
16. M. Jaraíz, L. Pelaz, E. Rubio, J. Barbolla, G. H. Gilmer, D. J. Eaglesham, H. J. Gossmann and J. M. Poate, Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 532, 43, (1998).
17. H. Bracht, E. E. Haller and R. Clark-Phelps, Phys. Rev. Lett., 81, 393, (1998).