Modification of thiol-derived self-assembling monolayers by electron and x-ray irradiation: Scientific and lithographic aspects

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Volumn 20, Issue 5, 2002, Pages 1793-1807

  Zharnikov, M ^a   Grunze, M ^a  

^a UNIVERSITY OF HEIDELBERG   (Germany)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

ABSORPTION SPECTROSCOPY; CHEMICAL ANALYSIS; ELECTRON BEAM PUMPING; ELECTRON IRRADIATION; INFRARED SPECTROSCOPY; MOLECULAR SPECTROSCOPY; NANOTECHNOLOGY; PHYSICAL PROPERTIES; REFLECTION; X RAY LITHOGRAPHY; X RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPY; X RAY SPECTROSCOPY;

ELECTRON BEAM PATTERNING; FINE STRUCTURE SPECTROSCOPY; INFRARED REFLECTION ABSORPTION SPECTROSCOPY; MOLECULAR ENGINEERING; NANOMETER SCALE; SELF ASSEMBLED MONOLAYERS; X RAY IRRADIATION; X RAY PHOTOELECTRON MICROSCOPY;

MONOLAYERS;

EID: 0036026344     PISSN: 10711023     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1116/1.1514665     Document Type: Article

References (72)

1. R. C. Tiberio, H. G. Craighead, M. J. Lercel, T. Lau, C. W. Sheen, and D. L. Allara, Appl. Phys. Lett. 62, 476 (1993).
2. M. J. Lercel, R. C. Tiberio, P. F. Chapman, H. G. Craighead, C. W. Sheen, A. N. Parikh, D. L. Allara, J. Vac. Sci. Technol. B 11, 2823 (1993).
3. M. J. Lercel, G. F. Redindo, F. D. Pardo, M. Rooks, R. C. Tiberio, P. Simpson, H. G. Craighead, C. W. Sheen, A. N. Parikh, and D. L. Allara, J. Vac. Sci. Technol. B 12, 3663 (1994).
4. M. J. Lercel, G. F. Redinbo, M. Rooks, R. C. Tiberio, H. G. Craighead, C. W. Sheen, and D. L. Allara, Microelectron. Eng. 27, 43 (1995).
5. M. J. Lercel, M. Rooks, R. C. Tiberio, H. G. Craighead, C. W. Sheen, A. N. Parikh, and D. L. Allara, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 1139 (1995).
6. H. U. Müller, C. David, B. Völkel, and M. Grunze, J. Vac. Sci. Technol. B 13, 2846 (1995).
7. C. David, H. U. Müller, B. Völkel, and M. Grunze, Microelectron. Eng. 30, 57 (1996).
8. M. J. Lercel, H. G. Craighead, A. N. Parikh, K. Seshadri, and D. L. Allara, Appl. Phys. Lett. 68, 1504 (1996).
9. R. Hild, D. David, H. U. Müller, B. Völkel, D. R. Kayser, and M. Grunze, Langmuir 14, 342 (1998).
10. A. Ulman, An Introduction to Ultrathin Organic Films: Langmuir-Blodgett to Self-Assembly (Academic, New York, 1991)
11. A. Ulman, Chem. Rev. 96, 1533 (1996).
12. Thin Films: Self-Assembled Monolayers of Thiols, edited by A. Ulman (Academic, San Diego, CA, 1998).
13. A. Gölzhäuser, W. Geyer, V. Stadler, W. Eck, M. Grunze, K. Edinger, Th. Weimann, and P. Hinze, J. Vac. Sci. Technol. B 18, 3414 (2000).
14. Ch. Zubragel, C. Deuper, F. Schneider, M. Neumann, M. Grunze, A. Schertel, and Ch. Wöll, Chem. Phys. Lett. 283, 308 (1995).
15. P. E. Laibinis, R. L. Graham, H. A. Biebuyck, and G. M. Whitesides, Science 254, 981 (1991).
16. P. C. Rieke, D. R. Baer, G. E. Fryxell, M. H. Engelhard, and M. S. Porter, J. Vac. Sci. Technol. A 11, 2292 (1993).
17. D. R. Baer, M. H. Engelhard, D. W. Schulte, D. E. Guenther, L.-Q. Wang, and P. C. Rieke, J. Vac. Sci. Technol. A 12, 2478 (1994).
18. K. Seshadri, K. Froyd, A. N. Parikh, D. L. Allara, M. J. Lercel, and H. G. Craighead, J. Phys. Chem. 100, 15900 (1996).
19. E. Frydman, H. Cohen, R. Maoz, and J. Sagiv, Langmuir 13, 5089 (1997).
20. D. Zerulla and T. Chasse, Langmuir 15, 5285 (1999).
21. R. L. Graham, C. D. Bain, H. A. Biebuyck, P. E. Laibinis, and G. M. Whitesides, J. Phys. Chem. 97, 9456 (1993).
22. P. Rowntree, P.-C. Dugal, D. Hunting, and L. Sanche, J. Phys. Chem. 100, 4546 (1996).
23. M. Wirde, U. Gelius, T. Dunbar, and D. L. Allara, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B 131, 245 (1997).
24. B. Jäger, H. Schürmann, H. U. Müller, H.-J. Himmel, M. Neumann, M. Grunze, and Ch. Wöll, Z. Phys. Chem. (Munich) 202, 263 (1997).
25. B. Völkel, A. Gölzhäuser, H. U. Müller, C. David, and M. Grunze, J. Vac. Sci. Technol. B 15, 2877 (1997).
26. C. Olsen and P. A. Rowntree, J. Chem. Phys. 108, 3750 (1998).
27. H. Kondoh and H. Nozoye, J. Phys. Chem. B 102, 2367 (1998).
28. D. A. Hutt and G. J. Leggett, J. Mater. Chem. 9, 923 (1999).
29. M. A. Huels, P. C. Dugal, and L. Sanche, J. Chem. Phys. (in press).
30. H. U. Müller, M. Zharnikov, B. Volkel, A. Schertel, P. Harder, and M. Grunze, J. Phys. Chem. B 102, 7949 (1998).
31. M. Zharnikov, S. Frey, A. Gölzhäuser, W. Geyer, and M. Grunze, Phys. Chem. Chem. Phys. 1, 3163 (1999).
32. M. Zharnikov, S. Frey, K. Heister, and M. Grunze, Langmuir 16, 2697 (2000).
33. R. Dahint, M. Zharnikov, M. Himmelhaus, and A. Gölzhäuser, Nachr. Chem., Tech. Lab. 3, 321 (2000).
34. K. Heister, M. Zharnikov, M. Grunze, L. S. O. Johansson, and A. Ulman, Langmuir 17, 8 (2001).
35. R. Klauser, I.-H. Hong, T.-H. Lee, G.-C. Yin, D.-H. Wei, K.-L. Tsang, T. J. Chuang, S.-C. Wang, S. Gwo, M. Zharnikov, and J.-D. Liao, Surf. Rev. Lett. 9, 213 (2002).
36. M. Zharnikov, S. Frey, K. Heister, M. Grunze, R. Klauser, G.-C. Yin, and I.-H. Hong (unpublished).
37. K. Heister, S. Frey, A. Gölzhäuser, A. Ulman, and M. Zharnikov, J. Phys. Chem. B 103, 11098 (1999).
38. K. Heister, W. Geyer, S. Frey, A. Gölzhäuser, A. Ulman, M. Zharnikov, and M. Grunze (unpublished).
39. S. Frey, K. Heister, M. Zharnikov, and M. Grunze, Phys. Chem. Chem. Phys. 2, 1979 (2000)
40. S. Frey, K. Heister, M. Zharnikov, and M. Grunze, Phys. Chem. Chem. Phys. 2, 3721 (2000).
41. W. Geyer, V. Stadler, W. Eck, M. Zharnikov, A. Gölzhäuser, and M. Grunze, Appl. Phys. Lett. 75, 2401 (1999).
42. W. Eck, V. Stadler, W. Geyer, M. Zharnikov, A. Gölzhäuser, and M. Grunze, Adv. Mater. 12, 805 (2000).
43. S. Frey, H.-T. Rong, K. Heister, Y.-J. Yang, M. Buck, and M. Zharnikov, Langmuir 18, 3142 (2000).
44. L. Strong and G. M. Whitesides, Langmuir 4, 546 (1988).
45. F. Köhn, Diploma thesis, Universität Heidelberg, Heidelberg, Germany (1998).
46. K. Heister, M. Zharnikov, M. Grunze, and L. S. O. Johansson, J. Phys. Chem. B 105, 4058 (2001).
47. S. Bernstorff, W. Braun, M. Mast, M. Peatman, and T. Schröder, Rev. Sci. Instrum. 60, 2097 (1989).
48. P. E. Batson, Phys. Rev. B 48, 2608 (1993).
49. J. F. Moulder, W. E. Stickle, P. E. Sobol, and K. D. Bomben, in Handbook of X-Ray Photoelectron Spectroscopy, edited by J. Chastian (Perkin-Elmer, Eden Prairie, MN, 1992).
50. A. Schertel, G. Hähner, M. Grunze, and Ch. Wodie;ll, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1801 (1996).
51. P. E. Laibinis, G. M. Whitesides, D. L. Allara, Y.-T. Tao, A. N. Parikh, and R. G. Nuzzo, J. Am. Chem. Soc. 113, 7152 (1991).
52. M. M. Walczak, C. Chung, S. M. Stole, C. A. Widrig, and M. D. Porter, J. Am. Chem. Soc. 113, 2370 (1991).
53. D. M. Jaffey and R. J. Madrix, Surf. Sci. 311, 159 (1994).
54. S. P. Chenakin, B. Heinz, and H. Morgner, Surf. Sci. 421, 337 (1999).
55. M.-C. Wang, J.-D. Liao, C.-C. Weng, R. Klausser, S. Frey, M. Zharnikov, and M. Grunze, J. Phys. Chem. B 106, 77 (2002).
56. M.-C. Wang, J.-D. Liao, C.-C. Weng, R. Klauser, S. Frey, M. Zharnikov, and M. Grunze, J. Phys. Chem. B 106, 6220 (2002).
57. J. C. Ashley, Radiat. Res. 90, 433 (1982).
58. I. Engquist, I. Lundström, and B. Liedberg, J. Phys. Chem. 99, 12257 (1995).
59. A. Ulman, S. D. Evans, Y. Shnidman, R. Sharma, J. E. Eilers, and J. C. Chang, J. Am. Chem. Soc. 113, 1499 (1991).
60. A. J. Wagner, K. Han, A. L. Vaught, and D. H. Fairbrother, J. Phys. Chem. B 104, 3291 (2000).
61. S. Frey, K. Heister, M. Zharnikov, M. Grunze, K. Tamada, R. Colorado, Jr., M. Graupe, O. E. Shmakova, and T. R. Lee, Isr. J. Chem. 40, 81 (2001).
62. M. Zharnikov and M. Grunze, J. Phys.: Condens. Matter 13, 11333 (2001).
63. D. G. Castner, K. B. Lewis, A. F. Daniel, B. D. Ratner, and J. L. Gland, Langmuir 9, 537 (1993).
64. G. Beamson and D. Briggs, High Resolution XPS of Organic Polymers (Wiley, Chichester, U.K., 1995).
65. B. Zeysing, T. Eickhoff, W. Drube, and A. Terfort, Langmuir (submitted).
66. A. Gölzhäuser, W. Eck, W. Geyer, V. Stadler, T. Weimann, P. Hinze, and M. Grunze, Adv. Mater. 13, 806 (2001).
67. M. Zharnikov, S, Frey, H. Rong, Y.-J. Yang, K. Heister, M. Buck, and M. Grunze, Phys. Chem. Chem. Phys. 2, 3359 (2000).
68. H.-T. Rong, S. Frey, Y.-J. Yang, M. Zharnikov, M. Buck, M. Wühn, Ch. Wöll, and G. Helmchen, Langmuir 17, 1582 (2001).
69. K. Heister, H.-T. Rong, M. Buck, M. Zharnikov, M. Grunze, and L. S. O. Johansson, J. Phys. Chem. B 105, 6888 (2001).
70. T. Felgenhauer, C. Yan, W. Geyer, H.-T. Rong, A. Gölzhäuser, and M. Buck, Appl. Phys. Lett. 79, 3323 (2001).
71. A. Gölzhäuser and W. Eck (private communications).
72. R. Maoz, S. R. Cohen, and J. Sagiv, Adv. Mater. 11, 55 (1999).