Behavior of lamellar forming block copolymers under nanoconfinement: Implications for topography directed self-assembly of sub-10 nm structures

Macromolecules

Volumn 47, Issue 1, 2014, Pages 276-283

  Keen, Imelda ^a   Cheng, Han Hao ^a   Yu, Anguang ^a   Jack, Kevin S ^a   Younkin, Todd R ^b   Leeson, Michael J ^b   Whittaker, Andrew K ^a   Blakey, Idriss ^a  

^a UNIVERSITY OF QUEENSLAND   (Australia)

^b INTEL CORPORATION   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

COMPUTER CHIPS; DIRECTED SELF-ASSEMBLY; FEATURE SIZES; INTERFACIAL INTERACTION; NANOCONFINEMENTS; ORDERED STRUCTURES; POLYMER CHAINS; SELF ASSEMBLED STRUCTURES;

BLOCK COPOLYMERS; CHAINS; DEFECTS; NANOTECHNOLOGY; NANOWIRES; PHOTOLITHOGRAPHY;

SELF ASSEMBLY;

EID: 84892610784     PISSN: 00249297     EISSN: 15205835     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma4019735     Document Type: Article

References (63)

1. Ruzette, A.-V.; Leibler, L. Nat. Mater. 2005, 4, 19-31
2. Holden, G. Thermoplastic Elastomers. In Applied Plastics Engineering Handbook; Myer, K., Ed.; William Andrew Publishing: Oxford, 2011; pp 77-91.
3. Jackson, E. A.; Hillmyer, M. A. ACS Nano 2010, 4, 3548-3553
4. Malenfant, P. R. L.; Wan, J.; Taylor, S. T.; Manoharan, M. Nat. Nanotechnol. 2007, 2, 43-46
5. Thurn-Albrecht, T.; Schotter, J.; Kästle, G. A.; Emley, N.; Shibauchi, T.; Krusin-Elbaum, L.; Guarini, K.; Black, C. T.; Tuominen, M. T.; Russell, T. P. Science 2000, 290, 2126-2129
6. Vignolini, S.; Yufa, N. A.; Cunha, P. S.; Guldin, S.; Rushkin, I.; Stefik, M.; Hur, K.; Wiesner, U.; Baumberg, J. J.; Steiner, U. Adv. Mater. 2012, 24, OP23-OP27
7. Schacher, F. H.; Rupar, P. A.; Manners, I. Angew. Chem., Int. Ed. 2012, 51, 7898-7921
8. Mansky, P.; Liu, Y.; Huang, E.; Russell, T. P.; Hawker, C. Science 1997, 275, 1458-1460
9. Sohn, B. H.; Yun, S. H. Polymer 2002, 43, 2507-2512
10. Han, E.; In, I.; Park, S. M.; La, Y. H.; Wang, Y.; Nealey, P. F.; Gopalan, P. Adv. Mater. 2007, 19, 4448-4452
11. Han, E.; Stuen, K. O.; La, Y.-H.; Nealey, P. F.; Gopalan, P. Macromolecules 2008, 41, 9090-9097
12. Ji, S.; Liu, C.-C.; Son, J. G.; Gotrik, K.; Craig, G. S. W.; Gopalan, P.; Himpsel, F. J.; Char, K.; Nealey, P. F. Macromolecules 2008, 41, 9098-9103
13. Han, E.; Stuen, K. O.; Leolukman, M.; Liu, C.-C.; Nealey, P. F.; Gopalan, P. Macromolecules 2009, 42, 4896-4901
14. Ryu, D. Y.; Ham, S.; Kim, E.; Jeong, U.; Hawker, C. J.; Russell, T. P. Macromolecules 2009, 42, 4902-4906
15. Bates, C. M.; Strahan, J. R.; Santos, L. J.; Mueller, B. K.; Bamgbade, B. O.; Lee, J. A.; Katzenstein, J. M.; Ellison, C. J.; Willson, C. G. Langmuir 2011, 27, 2000-2006
16. Liu, H.; O'Mahony, C. T.; Audouin, F.; Ventura, C.; Morris, M.; Heise, A. Macromol. Chem. Phys. 2012, 213, 108-115
17. Keen, I.; Yu, A.; Cheng, H.-H.; Jack, K. S.; Nicholson, T. M.; Whittaker, A. K.; Blakey, I. Langmuir 2012, 28, 15876-15888
18. Bates, C. M.; Seshimo, T.; Maher, M. J.; Durand, W. J.; Cushen, J. D.; Dean, L. M.; Blachut, G.; Ellison, C. J.; Willson, C. G. Science 2012, 338, 775-779
19. Cheng, J. Y.; Pitera, J.; Park, O.-H.; Flickner, M.; Ruiz, R.; Black, C. T.; Kim, H.-C. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 143106
20. Ruiz, R.; Ruiz, N.; Robert, Y. Z.; Sandstrom, L.; Black, C. T. Adv. Mater. 2007, 19, 2157-2162
21. Cheng, J. Y.; Sanders, D. P.; Truong, H. D.; Harrer, S.; Friz, A.; Holmes, S.; Colburn, M.; Hinsberg, W. D. ACS Nano 2010, 4, 4815-4823
22. Ruiz, R.; Dobisz, E.; Albrecht, T. R. ACS Nano 2010, 5, 79-84
23. Park, S.; Lee, D. H.; Xu, J.; Kim, B.; Hong, S. W.; Jeong, U.; Xu, T.; Russell, T. P. Science 2009, 323, 1030-1033
24. Chuang, Y.-M.; Jack, K. S.; Cheng, H. H.; Whittaker, A. K.; Blakey, I. Adv. Funct. Mater. 2013, 23, 173-183
25. Gowd, E. B.; Nandan, B.; Vyas, M. K.; Bigall, N. C.; Eychmüller, A.; Schlörb, H.; Stamm, M. Nanotechnology 2009, 20, 415302
26. Yi, H.; Bao, X.-Y.; Zhang, J.; Bencher, C.; Chang, L.-W.; Chen, X.; Tiberio, R.; Conway, J.; Dai, H.; Chen, Y.; Mitra, S.; Wong, H. S. P. Adv. Mater. 2012, 24, 3107-3114
27. Cheng, J. Y.; Rettner, C. T.; Sanders, D. P.; Kim, H.-C.; Hinsberg, W. D. Adv. Mater. 2008, 20, 3155-3158
28. Segalman, R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J. Adv. Mater. 2001, 13, 1152-1155
29. Sundrani, D.; Darling, S. B.; Sibener, S. J. Langmuir 2004, 20, 5091-5099
30. Xiao, S. G.; Yang, X. M.; Edwards, E. W.; La, Y. H.; Nealey, P. F. Nanotechnology 2005, 16, S324-S329
31. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Thomas, E. L.; Smith, H. I.; Vancso, G. J. Adv. Mater. 2003, 15, 1599-1602
32. Park, S.-M.; Rettner, C. T.; Pitera, J. W.; Kim, H.-C. Macromolecules 2009, 42, 5895-5899
33. Cheng, J. Y.; Mayes, A. M.; Ross, C. A. Nat. Mater. 2004, 3, 823-828
34. Ilievski, F.; Ross, C. A. J. Vac. Sci. Technol., B 2010, 28, 42-44
35. Jeong, S.-J.; Kim, J. E.; Moon, H.-S.; Kim, B. H.; Kim, S. M.; Kim, J. B.; Kim, S. O. Nano Lett. 2009, 9, 2300-5
36. Cheng, H.-H.; Keen, I.; Yu, A.; Chuang, Y.-M.; Blakey, I.; Jack, K. S.; Leeson, M. J.; Younkin, T. R.; Whittaker, A. K. Proc. SPIE 2011, 7970, 79701V
37. Kellogg, G. J.; Walton, D. G.; Mayes, A. M.; Lambooy, P.; Russell, T. P.; Gallagher, P. D.; Satija, S. K. Phys. Rev. Lett. 1996, 76, 2503-2506
38. Lambooy, P.; Russell, T. P.; Kellogg, G. J.; Mayes, A. M.; Gallagher, P. D.; Satija, S. K. Phys. Rev. Lett. 1994, 72, 2899-2902
39. Walton, D. G.; Kellogg, G. J.; Mayes, A. M.; Lambooy, P.; Russell, T. P. Macromolecules 1994, 27, 6225-6228
40. Xu, J.; Russell, T. P.; Checco, A. Small 2013, 9, 779-784
41. Zalusky, A. S.; Olayo-Valles, R.; Wolf, J. H.; Hillmyer, M. A. J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 12761-12773
42. Vayer, M.; Hillmyer, M. A.; Dirany, M.; Thevenin, G.; Erre, R.; Sinturel, C. Thin Solid Films 2010, 518, 3710-3715
43. Phillip, W. A.; O'Neill, B.; Rodwogin, M.; Hillmyer, M. A.; Cussler, E. L. ACS Appl. Mater. Interfaces 2010, 2, 847-853
44. Baruth, A.; Rodwogin, M. D.; Shankar, A.; Erickson, M. J.; Hillmyer, M. A.; Leighton, C. ACS Appl. Mater. Interfaces 2011, 3, 3472-3481
45. Chang, S. W.; Ayothi, R.; Bratton, D.; Yang, D.; Felix, N.; Cao, H. B.; Deng, H.; Ober, C. K. J. Mater. Chem. 2006, 16, 1470-1474
46. Blakey, I.; Yu, A.; Howdle, S. M.; Whittaker, A. K.; Thurecht, K. J. Green Chem. 2011, 13, 2032-2037
47. Matyjaszewski, K.; Xia, J. Chem. Rev. 2001, 101, 2921-2990
48. Peng, H.; Blakey, I.; Dargaville, B.; Rasoul, F.; Rose, S.; Whittaker, A. K. Biomacromolecules 2009, 10, 374-381
49. Dove, A. P.; Pratt, R. C.; Lohmeijer, B. G. G.; Culkin, D. A.; Hagberg, E. C.; Nyce, G. W.; Waymouth, R. M.; Hedrick, J. L. Polymer 2006, 47, 4018-4025
50. Roberts, J. M.; Bacuita, T.; Bristol, R. L.; Cao, H. B.; Chandhok, M.; Lee, S. H.; Panning, E. M.; Shell, M.; Zhang, G.; Rice, B. J. Proc. SPIE 2005, 5751, 64-77
51. Caudillo, R.; Younkin, T.; Putna, S.; Myers, A.; Shroff, Y.; Bacuita, T.; Kloster, G.; Sohmen, E. Proc. SPIE 2010, 7636, 76363I
52. Prabhu, V. M.; Kang, S.; VanderHart, D. L.; Satija, S. K.; Lin, E. K.; Wu, W.-L. Adv. Mater. 2010, 388-408
53. Owens, D. K.; Wendt, R. C. J. Appl. Polym. Sci. 1969, 13, 1741-1747
54. Russell, T. P.; Lambooy, P.; Kellogg, G. J.; Mayes, A. M. Physica B: Condens. Matter 1995, 213-214, 22-25
55. Park, S. M.; Stoykovich, M. P.; Ruiz, R.; Zhang, Y.; Black, C. T.; Nealey, P. F. Adv. Mater. 2007, 19, 607-611
56. Koneripalli, N.; Singh, N.; Levicky, R.; Bates, F. S.; Gallagher, P. D.; Satija, S. K. Macromolecules 1995, 28, 2897-2904
57. Cheng, J. Y.; Zhang, F.; Chuang, V. P.; Mayes, A. M.; Ross, C. A. Nano Lett. 2006, 6, 2099-2103
58. Turner, M. S. Phys. Rev. Lett. 1992, 69, 1788-1791
59. Keen, I.; Yu, A.; Cheng, H.-H.; Jack, K. S.; Nicholson, T.; Whittaker, A. K.; Blakey, I. Langmuir 2012, 28, 15876-15888
60. Detcheverry, F. A.; Pike, D. Q.; Nealey, P. F.; Muller, M.; de Pablo, J. J. Faraday Discuss. 2010, 144, 111-125
61. Perera, G. M.; Wang, C.; Doxastakis, M.; Kline, R. J.; Wu, W.-L.; Bosse, A. W.; Stein, G. E. ACS Macro Lett. 2012, 1, 1244-1248
62. Wallow, T. I.; Rayasam, M.; Yamaguchi, M.; Yamada, Y.; Kim, R.-H.; Kye, J.; Levinson, H. J. J. Micro-Nanolith MEM 2009, 8, 011010-011010
63. Bae, Y. C.; Liu, Y.; Cardolaccia, T.; McDermott, J. C.; Trefonas, P.; Spizuoco, K.; Reilly, M.; Pikon, A.; Joesten, L.; Zhang, G. G.; Barclay, G. G.; Simon, J.; Gaurigan, S. Proc. SPIE 2009, 7273, 727306