Directed self-assembly of lamellar microdomains of block copolymers using topographic guiding patterns

Macromolecules

Volumn 42, Issue 15, 2009, Pages 5895-5899

  Park, Sang Min ^a   Rettner, Charles T ^a   Pitera, Jed W ^a   Kim, Ho Cheol ^a  

^a IBM ALMADEN RESEARCH CENTER   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

DIRECTED SELF-ASSEMBLY; GRAPHOEPITAXY; LAMELLAR MICRODOMAINS; LONGITUDINAL DIRECTION; METHYL METHACRYLATES; PATTERNED SUBSTRATES; PRECISE REGISTRATION; SIMULTANEOUS ALIGNMENT;

ALIGNMENT; BLOCK COPOLYMERS; SILICON COMPOUNDS; STYRENE; SUBSTRATES; TITANIUM;

POLYIMIDES;

EID: 68549140320     PISSN: 00249297     EISSN: None     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma9006335     Document Type: Article

References (28)

1. Hawker. C. J.; Russell, T. P. MRS Bull. 2005, 30, 952.
2. Segalman, R. A. Mater. Sci. Eng., R 2005, 48, 191.
3. Black, C. T.; Ruiz, R.; Breyta, G.; Cheng, J. Y.; Colburn, M. E.; Guarini, K. W.; Kim. H. C.; Zhang, Y. IBM J. Res. Dev. 2007, 51, 605.
4. Kim, H. C.; Hinsberg, W. D. J. Vac. Sci. Technol. A 2008, 26, 1369.
5. Darling. S. B. Prog. Polym. Sci. 2007, 32, 1152.
6. Segalman, R. A.; Yokoyama, H.; Kramer, E. J., Adv. Mater. 2001, 13, 1152.
7. Sundrani, D.; Darling, S. B.; Sibener, S. J. Nano Lett. 2004, 4, 273-276.
8. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Smith, H. I.; Thomas, E. L. Adv. Mater, 2006, 18, 2505.
9. Park, S. M.; Stoykovich. M. P.; Ruiz. R.; Zhang, Y.; Black, C. T.; Nealey, P. E. Adv. Mater. 2007, 19, 607.
10. Rockford, L.: Liu, Y.; Mansky, P.; Russell. T. P.: Yoon, M.; Mochrie, S. G. J. Phvs. Rev. Lett. 1999, 82, 2602.
11. Kim, S. O.; Solak, H. H.; Stoykovich, M. P.; Ferner, N. J.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Nature (London) 2003. 424, 441.
12. Stoykovich, M. P.; Muller, M.; Kim, S. O.; Solak. H. H.; Edwards, E. W.; de Pablo, J. J.; Nealey, P. F. Science 2005, 308, 1442.
13. Park. S. M.; Craig, G. S. W.: La, Y. H.: Solak, H. H.; Nealey, P. F. Macromolecules 2007, 40, 5084.
14. Stoykovich, M. P.; Kang, H.; Daoulas, K. C.; Liu, G.; Liu, C. C.; de Pablo, J. J.; Mueller, M.; Nealey, P. F. ACS Nano 2007, 1, 168.
15. Cheng, J. Y.: Rettner. C. T.; Sanders, D. P.; Kim, H. C.; Hinsberg, W. D. Adv. Mater. 2008, 20, 3155.
16. Ruiz, R.; Kang, H. M.; Detcheverry, F. A.; Dobisz, E.; Kercher, D. S.; Albrecht, T. R.; de Pablo. J. J.; Nealey, P. F. Science 2008, 321, 936.
17. Cheng, J. Y.; Pitera, J.; Park, O. H.; Flickner, M.; Ruiz, R.; Black, C. T.: Kim, H. C. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 143160.
18. Ruiz, R.; Ruiz. N.; Zhang. Y.; Sandstrom, R. L.; Black, C. T. Adv. Mater. 2007, 19, 2157.
19. Park, S. M.; Park, O. H.; Cheng. J. Y.; Rettner. C. T.; Kim, H. C. Nanoteclmology 2008, 19, 455304.
20. Sundrani, D.; Darling, S. B.; Sibener, S. J. Langmuir 2004, 20, 5091.
21. Sundrani, D.; Sibener, S. J. Macromolecules 2002, 35, 8531.
22. Namatsu, H.; Takahashi, Y.; Yamazaki, K.; Yamaguchi, T.; Nagase, M.; Kurihara, K. J. Vac. Sci. Technol. B 1998, 16, 69.
23. Mansky, P.; Liu. Y.; Huang, E.: Russell, T. P.; Hawker, C. J. Science 1997, 275, 1458.
24. de Gennes, P. G.; Prost, J. The Physics of Liquid Crystals, 2nd ed., Oxford University Press: New York, 1993.
25. Müller, M.; Smith, G. D. J. Polym. Sci. Part B: Polym. Phvs. 2005, 43, 934.
26. Gara, A.; Blumrich. M. A.: Chen, D.; Chiu, G. L. T.; Coteus. P.; Giampapa, M. E.; Hating, R. A.; Heidelberger, P.; Hoenicke, D.; Kopcsay, G. V.; Liebsch, T. A.; Ohmacht, M.; SteinmacherBurow, B. D.; Takken, T.; Vranas, P. IBM J. Res. Dev. 2005, 49, 195.
27. Open Visualization Data Explorer, v4.4.4 (http://www.opendx. org).
28. Daoulas, K. Ch.; Müller, M. J. Chem. Phys. 2006, 125, 184904.