Well-organized dense arrays of nanodomains in thin films of poly(dimethylsiloxane)-b-poly(lactide) diblock copolymers

Macromolecules

Volumn 46, Issue 20, 2013, Pages 8289-8295

  Pitet, Louis M ^a   Wuister, Sander F ^b   Peeters, Emiel ^c   Kramer, Edward J ^d,e   Hawker, Craig J ^d,e   Meijer, E W ^a  

^a EINDHOVEN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY   (Netherlands)

^b ASML   (Netherlands)

^c PHILIPS RESEARCH LABORATORIES   (Netherlands)

^d University of California   (United States)

^e UNIVERSITY OF CALIFORNIA   (United States)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

MICROELECTRONICS; THIN FILMS;

BLOCK COMPOSITION; DENSE ARRAYS; FLORY-HUGGINS INTERACTION PARAMETER; LONG RANGE ORDERS; MICROELECTRONICS INDUSTRY; PROCESSING CONDITION; THERMAL-ANNEALING; VARIOUS SUBSTRATES;

BLOCK COPOLYMERS;

EID: 84886638523     PISSN: 00249297     EISSN: 15205835     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/ma401719p     Document Type: Article

References (57)

1. Jackson, E. A.; Hillmyer, M. A. ACS Nano 2010, 4, 3548-3553
2. Qiu, X.; Yu, H.; Karunakaran, M.; Pradeep, N.; Nunes, S. P.; Peinemann, K.-V. ACS Nano 2013, 7, 768-776
3. Bosworth, J. K.; Paik, M. Y.; Ruiz, R.; Schwartz, E. L.; Huang, J. Q.; Ko, A. W.; Smilgies, D. M.; Black, C. T.; Ober, C. K. ACS Nano 2008, 2, 1396-1402
4. Ramanathan, M.; Darling, S. B. Prog. Polym. Sci. 2011, 36, 793-812
5. Tsarkova, L.; Sevink, G. J. A.; Krausch, G. Adv. Polym. Sci. 2010, 227, 33-73
6. Kim, H. C.; Park, S. M.; Hinsberg, W. D. Chem. Rev. 2010, 110, 146-177
7. Edwards, E. W.; Stoykovich, M. P.; Solak, H. H.; Nealey, P. F. Macromolecules 2006, 39, 3598-3607
8. Keymeulen, H. R.; Diaz, A.; Solak, H. H.; David, C.; Pfeiffer, F.; Patterson, B. D.; van der Veen, J. F.; Stoykovich, M. P.; Nealey, P. F. J. Appl. Phys. 2007, 102, 013528
9. Li, M. Q.; Coenjarts, C. A.; Ober, C. K. Adv. Polym. Sci. 2005, 190, 183-226
10. Li, M. Q.; Ober, C. K. Mater. Today 2006, 9, 30-39
11. Segalman, R. A. Mater. Sci. Eng., R 2005, 48, 191-226
12. Cheng, J. Y.; Ross, C. A.; Smith, H. I.; Thomas, E. L. Adv. Mater. 2006, 18, 2505-2521
13. Hamley, I. W. Prog. Polym. Sci. 2009, 34, 1161-1210
14. Albert, J. N. L.; Epps, T. H. Mater. Today 2010, 13, 24-33
15. Kempe, K.; Killops, K. L.; Poelma, J. E.; Jung, H.; Bang, J.; Hoogenboom, R.; Tran, H.; Hawker, C. J.; Schubert, U. S.; Campos, L. M. ACS Macro Lett. 2013, 677-682
16. Bang, J.; Jeong, U.; Ryu, D. Y.; Russell, T. P.; Hawker, C. J. Adv. Mater. 2009, 21, 4769-4792
17. Singh, G.; Batra, S.; Zhang, R.; Yuan, H.; Yager, K. G.; Cakmak, M.; Berry, B.; Karim, A. ACS Nano 2013, 7, 5291-5299
18. Bates, C. M.; Seshimo, T.; Maher, M. J.; Durand, W. J.; Cushen, J. D.; Dean, L. M.; Blachut, G.; Ellison, C. J.; Willson, C. G. Science 2012, 338, 775-779
19. In, I.; La, Y. H.; Park, S. M.; Nealey, P. F.; Gopalan, P. Langmuir 2006, 22, 7855-7860
20. Mansky, P.; Liu, Y.; Huang, E.; Russell, T. P.; Hawker, C. J. Science 1997, 275, 1458-1460
21. Cheng, J. Y.; Zhang, F.; Smith, H. I.; Vancso, G. J.; Ross, C. A. Adv. Mater. 2006, 18, 597-601
22. Yokoyama, H.; Mates, T. E.; Kramer, E. J. Macromolecules 2000, 33, 1888-1898
23. Park, M.; Harrison, C.; Chaikin, P. M.; Register, R. A.; Adamson, D. H. Science 1997, 276, 1401-1404
24. Koo, K.; Ahn, H.; Kim, S.-W.; Ryu, D. Y.; Russell, T. P. Soft Matter 2013, 9, 9059-9071
25. Nunns, A.; Gwyther, J.; Manners, I. Polymer 2013, 54, 1269-1284
26. Cushen, J. D.; Otsuka, I.; Bates, C. M.; Halila, S.; Fort, S.; Rochas, C.; Easley, J. A.; Rausch, E. L.; Thio, A.; Borsali, R.; Willson, C. G.; Ellison, C. J. ACS Nano 2012, 6, 3424-3433
27. Cushen, J. D.; Bates, C. M.; Rausch, E. L.; Dean, L. M.; Zhou, S. X.; Willson, C. G.; Ellison, C. J. Macromolecules 2012, 45, 8722-8728
28. Chuang, V. P.; Ross, C. A.; Gwyther, J.; Manners, I. Adv. Mater. 2009, 21, 3789-3793
29. Rider, D. A.; Manners, I. Polym. Rev. 2007, 47, 165-195
30. Choi, H. K.; Gwyther, J.; Manners, I.; Ross, C. A. ACS Nano 2012, 6, 8342-8348
31. Cheng, J. Y.; Zhang, F.; Chuang, V. P.; Mayes, A. M.; Ross, C. A. Nano Lett. 2006, 6, 2099-2103
32. Temple, K.; Kulbaba, K.; Power-Billard, K. N.; Manners, I.; Leach, K. A.; Xu, T.; Russell, T. P.; Hawker, C. J. Adv. Mater. 2003, 15, 297-300
33. Gotrik, K. W.; Hannon, A. F.; Son, J. G.; Keller, B.; Alexander-Katz, A.; Ross, C. A. ACS Nano 2012, 6, 8052-8059
34. Tavakkoli, K. G. A.; Gotrik, K. W.; Hannon, A. F.; Alexander-Katz, A.; Ross, C. A.; Berggren, K. K. Science 2012, 336, 1294-1298
35. Son, J. G.; Hannon, A. F.; Gotrik, K. W.; Alexander-Katz, A.; Ross, C. A. Adv. Mater. 2011, 23, 634-639
36. Chang, J. B.; Son, J. G.; Hannon, A. F.; Alexander-Katz, A.; Ross, C. A.; Berggren, K. K. ACS Nano 2012, 6, 2071-2077
37. Son, J. G.; Chang, J. B.; Berggren, K. K.; Ross, C. A. Nano Lett. 2011, 11, 5079-5084
38. Jung, Y. S.; Ross, C. A. Nano Lett. 2007, 7, 2046-2050
39. Bita, I.; Yang, J. K. W.; Jung, Y. S.; Ross, C. A.; Thomas, E. L.; Berggren, K. K. Science 2008, 321, 939-943
40. Ross, C. A.; Jung, Y. S.; Chuang, V. P.; Ilievski, F.; Yang, J. K. W.; Bita, I.; Thomas, E. L.; Smith, H. I.; Berggren, K. K.; Vancso, G. J.; Cheng, J. Y. J. Vac. Sci. Technol., B 2008, 26, 2489-2494
41. Wadley, M. L.; Cavicchi, K. A. J. Appl. Polym. Sci. 2010, 115, 635-640
42. Connal, L. A.; Qiao, G. G. Adv. Mater. 2006, 18, 3024-3028
43. Miller, P. J.; Matyjaszewski, K. Macromolecules 1999, 32, 8760-8767
44. Huan, K.; Bes, L.; Haddleton, D. M.; Khoshdel, E. J. Polym. Sci., Part A: Polym. Chem. 2001, 39, 1833-1842
45. Rodwogin, M. D.; Spanjers, C. S.; Leighton, C.; Hillmyer, M. A. ACS Nano 2010, 4, 725-732
46. Ho, C.-H.; Wang, C.-H.; Lin, C.-I.; Lee, Y.-D. Eur. Polym. J. 2009, 45, 2455-2466
47. Chao, C.-C.; Wang, T.-C.; Ho, R.-M.; Georgopanos, P.; Avgeropoulos, A.; Thomas, E. L. ACS Nano 2010, 4, 2088-2094
48. Wadley, M. L.; Hsieh, I. F.; Cavicchi, K. A.; Cheng, S. Z. D. Macromolecules 2012, 45, 5538-5545
49. Ringard-Lefebvre, C.; Baszkin, A. Langmuir 1994, 10, 2376-2381
50. Stein, G. E.; Kramer, E. J.; Li, X.; Wang, J. Macromolecules 2007, 40, 2453-2460
51. Lin, Y.; Boker, A.; He, J. B.; Sill, K.; Xiang, H. Q.; Abetz, C.; Li, X. F.; Wang, J.; Emrick, T.; Long, S.; Wang, Q.; Balazs, A.; Russell, T. P. Nature 2005, 434, 55-59
52. Sun, Y.; Henderson, K. J.; Jiang, Z.; Strzalka, J. W.; Wang, J.; Shull, K. R. Macromolecules 2011, 44, 6525-6531
53. Stein, G. E.; Kramer, E. J.; Li, X. F.; Wang, J. Macromolecules 2007, 40, 2453-2460
54. Thomas, E. L.; Kinning, D. J.; Alward, D. B.; Henkee, C. S. Macromolecules 1987, 20, 2934-2939
55. Segalman, R. A.; Hexemer, A.; Hayward, R. C.; Kramer, E. J. Macromolecules 2003, 36, 3272-3288
56. Stein, G. E.; Cochran, E. W.; Katsov, K.; Fredrickson, G. H.; Kramer, E. J.; Li, X.; Wang, J. Phys. Rev. Lett. 2007, 98, 158302
57. Stein, G. E.; Kramer, E. J.; Li, X.; Wang, J. Phys. Rev. Lett. 2007, 98, 086101