Fabrication of hierarchical pillar arrays from thermoplastic and photosensitive SU-8

Small

Volumn 6, Issue 6, 2010, Pages 768-775

  Zhang, Ying ^a   Lin, Chia Tai ^a   Yang, Shu ^a  

^a UNIVERSITY OF PENNSYLVANIA   (United States)

Author keywords

Capillary force lithography; Hierarchical pillar arrays; SU 8; Thermal reflow

Indexed keywords

BILEVEL; CAPILLARY FORCE LITHOGRAPHY; CROSSLINKED; DEVELOPING STRATEGY; GLASS TRANSITION TEMPERATURE; HIERARCHICAL STRUCTURES; HIGH ASPECT RATIO; INITIAL FILM; MICRO PILLARS; MICRO-DOT ARRAYS; PHOTO PATTERNING; PHOTOPATTERNED; PILLAR ARRAYS; POST-EXPOSURE; SINGLE-POLY; SU-8 PHOTORESIST; THERMAL REFLOW; UNEXPOSED REGIONS; UV EXPOSURE;

ASPECT RATIO; GLASS TRANSITION; LIGHT SENSITIVE MATERIALS; PHOTORESISTS; PHOTOSENSITIVITY; PRESSURE DROP; REINFORCED PLASTICS; STRATEGIC PLANNING;

PLANTS (BOTANY);

DIMETICONE; EPOXIDE; PHENOL DERIVATIVE; PLASTIC;

ARTICLE; CHEMISTRY; LIGHT; METHODOLOGY; MOLECULAR IMPRINTING; SCANNING ELECTRON MICROSCOPY; TEMPERATURE; TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPY;

DIMETHYLPOLYSILOXANES; EPOXY COMPOUNDS; LIGHT; MICROSCOPY, ELECTRON, SCANNING; MICROSCOPY, ELECTRON, TRANSMISSION; MOLECULAR IMPRINTING; PHENOLS; PLASTICS; TEMPERATURE;

EID: 77950212465     PISSN: 16136810     EISSN: 16136829     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/smll.200901843     Document Type: Article

References (58)

1. W. Barthlott, C. Neinhuis, Planta 1997, 202, 1.
2. K. Autumn, Y. A. Liang, S. T. Hsieh, W. Zesch, W. P. Chan, T. W. Kenny, R. Fearing, R. J. Full, Nature 2000, 405, 681.
3. P. Vukusic, J. R. Sambles, Nature 2003, 424, 852.
4. A. Otten, S. Herminghaus, Langmuir 2004, 20, 2405.
5. H. Y. Erbil, A. L. Demirel, Y. Avci, O. Mert, Science 2003, 299, 1377.
6. Q. D. Xie, G. Q. Fan, N. Zhao, X. L. Guo, J. Xu, J. Y. Dong, L. Y. Zhang, Y. J. Zhang, C. C. Han, Adv. Mater. 2004, 16, 1830.
7. N. Zhao, J. Xu, Q. D. Xie, L. H. Weng, X. L. Guo, X. L. Zhang, L. H. Shi, Macromol. Rapid Commun. 2005, 26, 1075.
8. W. Ming, D. Wu, R. vanBenthem, G. deWith, Nano Lett. 2005, 5, 2298.
9. Y. Li, X. J. Huang, S. H. Heo, C. C. Li, Y. K. Choi, W. P. Cai, S. O. Cho, Langmuir 2007, 23, 2169.
10. X. Zhang, F. Shi, X. Yu, H. Liu, Y. Fu, Z. Q. Wang, L. Jiang, X. Y. Li, J. Am. Chem. Soc. 2004, 126, 3064.
11. T. N. Krupenkin, J. A. Taylor, T. M. Schneider, S. Yang, Langmuir 2004, 20, 3824.
12. N. A. Patankar, Langmuir 2004, 20, 8209.
13. A. Jagota, C. Y. Hui, N. J. Glassmaker, T. Tang, MRSBull. 2007, 32, 492.
14. L. Ge, S. Sethi, L. Ci, P. M. Ajayan, A. Dhinojwala, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2007, 104, 10792.
15. M. T. Northen, C. Greiner, E. Arzt, K. L. Turner, Adv. Mater. 2008, 20, 3905.
16. D. V. McAllister, P. M. Wang, S. P. Davis, J. H. Park, P. J. Canatella, M. G. Allen, M. R. Prausnitz, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2003, 100, 13755.
17. J. H. Park, M. G. Allen, M. R. Prausnitz, J. Controlled Release 2005, 104, 51.
18. J. L. Tan, J. Tien, D. M. Pirone, D. S. Gray, K. Bhadriraju, C. S. Chen, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2003, 100, 1484.
19. S. H. Kim, S. H. Lee, Y. K. Kim, J. Micromech. Microeng. 2002, 12, 128.
20. A. Sidorenko, T. Krupenkin, A. Taylor, P. Fratzl, J. Aizenberg, Science 2007, 315, 487.
21. B. Pokroy, S. H. Kang, L. Mahadevan, J. Aizenberg, Science 2009, 323, 237.
22. C. Marques, Y. M. Desta, J. Rogers, M. C. Murphy, K. Kelly, J. Microelectromech. Sys. 1997, 6, 329.
23. Y. Zhang, C. W. Lo, J. A. Taylor, S. Yang, Langmuir 2006, 22, 8595.
24. K. Kuwabara, A. Miyauchi, J. Vac. Sci. Technol. B 2008, 26, 582.
25. X. D. Wang, Y. Chen, S. Banu, H. Morgan, S. J. Fu, Z. Cui, Microelectron. Eng. 2007, 84, 872.
26. K. Y. Suh, S. J. Choi, S. J. Baek, T. W. Kim, R. Langer, Adv. Mater. 2005, 17, 560.
27. H. E. Jeong, S. H. Lee, P. Kim, K. Y. Suh, Nano Lett. 2006, 6, 1508.
28. C.Y. Hui, A. Jagota, Y. Y. Lin, E.J. Kramer, Langmuir 2002, 18, 1394.
29. P. Roca-Cusachs, F. Rico, E. Martinez, J. Toset, R. Farre, D. Navajas, Langmuir 2005, 21, 5542.
30. D. Chandra, S. Yang, Langmuir 2009, 25, 10430.
31. L. Montelius, B. Heidari, M. Graczyk, I. Maximov, E. L. Sarwe, T. G. I. Ling, Microelectron. Eng. 2000, 53, 521.
32. A. del Campo, E. Arzt, Chem. Rev. 2008, 108, 911.
33. H. E. Jeong, R. Kwak, J. K. Kim, K. Y. Suh, Small 2008, 4, 1913.
34. M. P. Murphy, S. Kim, M. Sitti, ACS Appl. Mater. Interfaces 2009, 1, 849.
35. T. Tanaka, M. Morigami, N. Atoda, Jpn. J. Appl. Phys. 1993, 32, 6059.
36. H. E. Jeong, S. H. Lee, J. K. Kim, K. Y. Suh, Langmuir 2006, 22, 1640.
37. H. E. Jeong, J. K. Lee, H. N. Kim, S. H. Moon, K. Y. Suh, Proc. Natl. Acad. Sci. U.S.A. 2009, 106, 5639.
38. A. del Campo, C. Greiner, J. Micromech. Microeng. 2007, 17, R81.
39. K. Y. Suh, Y. S. Kim, H. H. Lee, Adv. Mater. 2001, 13, 1386.
40. C. M. Bruinink, M. Peter, P. A. Maury, M. De Boer, L. Kuipers, J. Huskens, D. N. Reinhoudt, Adv. Funct. Mater. 2006, 16, 1555.
41. J. M. Jung, F. Stellacci, H. T. Jung, Adv. Mater. 2007, 19, 4392.
42. Y. Hirai, S. Yoshida, N. Takagi, Y. Tanaka, H. Yabe, K. Sasaki, H. Sumitani, K. Yamamoto, Jpn. J. Appl. Phys, Part 1 2003, 42, 3863.
43. K. Kuwabara, M. Ogino, S. Motowaki, A. Miyauchi, Microelectron. Eng. 2004, 73-4, 752.
44. H. Hiroshima, M. Komuro, N. Kasahara, Y. Kurashima, J. Taniguchi, Jpn. J. Appl. Phys, Part 1 2003, 42, 3849.
45. T. C. Merkel, V. I. Bondar, K. Nagai, B. D. Freeman, I. Pinnau, J. Polym. Sci, Part B: Polym. Phys. 2000, 38, 415.
46. K. Y. Suh, P. Kim, H. H. Lee, Appl. Phys. Lett. 2004, 85, 4019.
47. K. Y. Suh, H. E. Jeong, D. H. Kim, R. A. Singh, E. S. Yoon, J. Appl. Phys. 2006, 100.
48. D. Chandra, J. A. Taylor, S. Yang, Soft Matter 2008, 4, 979.
49. D. Y. Khang, H. H. Lee, Langmuir 2008, 24, 5459.
50. E. Kim, Y. N. Xia, G. M. Whitesides, Nature 1995, 376, 581.
51. H. Schift, L. J. Heyderman, M. A. D. Maur, J. Gobrecht, Nanotechnology 2001, 12, 173.
52. D. Y. Khang, H. H. Lee, Adv. Mater. 2004, 16, 176.
53. N. Y. Lee, Y. S. Kim, Macromol. Rapid Commun. 2007, 28, 1995.
54. K. Pfeiffer, A. Fink, G. Gruetzner, G. Bleidiessel, H. Schulz, H. Scheer, Microelectron. Eng. 2001, 57-8, 381.
55. X. Cheng, L. J. Guo, Microelectron. Eng. 2004, 71, 288.
56. W. R. Hansen, K. Autumn, Proc. Nat. Acad. Sci. U.S.A. 2005, 102, 385.
57. Y. F. Ding, H. W. Ro, J. F. Douglas, R. L. Jones, D. R. Hine, A. Karim, C. L. Soles, Adv. Mater. 2007, 19, 1377.
58. Y. F. Ding, H. W. Ro, K. J. Alvine, B. C. Okerberg, J. Zhou, J. F. Douglas, A. Karim, C. L. Soles, Adv. Funct. Mater. 2008, 18, 1854.