Effective control of nanostructured phases in rapid, room-temperature synthesis of nanocrystalline Si in high-density plasmas

Crystal Growth and Design

Volumn 9, Issue 6, 2009, Pages 2863-2867

  Cheng, Qijin ^a,b,c   Xu, Shuyan ^b   Huang, Shiyong ^b   Ostrikov, Kostya ^a  

^a CSIRO   (Australia)

^b NANYANG TECHNOLOGICAL UNIVERSITY   (Singapore)

^c UNIVERSITY OF SYDNEY   (Australia)

Author keywords

[No Author keywords available]

Indexed keywords

EID: 66849121533     PISSN: 15287483     EISSN: 15287505     Source Type: Journal    
DOI: 10.1021/cg900176c     Document Type: Article

References (35)

1. Kelzenberg, M. D.; Evans, D. B. T.; Kayes, B. M.; Filler, M. A.; Putnam, M. C.; Lewis, N. S.; Atwater, H. A Nano Lett. 2008, 8, 710.
2. Harder, N. P.; Puzzer, T.; Widenborg, P. I.; Oelting, S.; Aberle, A. G. Cryst. Growth Des. 2003, 3, 767.
3. Erhardt, M. K.; Jin, H. C.; Abelson, J. R.; Nuzzo, R. G. Chem. Mater. 2000, 12, 3306.
4. Ostrikov, K. Rev. Mod. Phys. 2005, 77, 489.
5. Sriraman, S.; Agrawal, S.; Aydil, E. S.; Maroudas, D. Nature (London) 2002, 418, 62.
6. Cvelbar, U.; Ostrikov, K. Cryst. Growth Des. 2008, 8, 4347.
7. Vetterl, O.; Finger, F.; Carius, R.; Hapke, P.; Houben, L.; Kluth, O.; Lambertz, A.; Mück, A.; Rech, B.; Wagner, H. Sol. Enerev Mater. Sol. Cells 2000, 62, 97.
8. Keidar, M.; Raitses, Y.; Knapp, A.; Waas, A. M. Carbon 2006, 44, 1022.
9. Mariotti, D.; Svrcek, V.; Kim, D.-G. Appl. Phys. Lett. 2007, 91, 183111.
10. Chen, C. Z.; Qiu, S. H.; Liu, C. Q.; Wu, Y. D.; Li, P.; Yu, C. Y.; Lin, X. Y. J. Phys. D: Appl. Phys. 2008, 41, 195413.
11. Bhattacharya, K.; Das, D. Nanotechnology 2007, 18, 415704.
12. Roschek, T.; Repmann, T.; Müller, J.; Rech, B.; Wagner, H. J. Vac. Sci. Technol. A 2002, 20, 492.
13. Yang, H. D.; Wu, C. Y.; Huang, J. K.; Ding, R. Q.; Zhao, Y.; Geng, X. H.; Xiong, S. Z. Thin Solid Films 2005, 472, 125.
14. Jadkar, S. R.; Sali, J. V.; Takwale, M. G.; Musale, D. V.; Kshirsagar, S. T. Thin Solid Films 2001, 395, 206.
15. Xu, S.; Ostrikov, K. N.; Li, Y.; Tsakadze, E. L.; Jones, I. R. Phys. Plasmas 2001, 8, 2549.
16. Ostrikov, K. N.; Xu, S.; Yu, M. Y. J. Appl. Phys. 2000, 88, 2268.
17. Song, D. Y.; Cho, E. C.; Conibeer, G.; Flynn, C.; Huang, Y. D.; Green, M. A. Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2008, 92, 474.
18. Chen, Y.; Zhou, Q.; Zhang, X.; Su, Y.; Jia, C.; Li, Q.; Kong, W. Cryst. Growth Des. 2009, 9, 728.
19. Kakinuma, H.; Mohri, M.; Sakamato, M.; Tsuruoka, T. J. Appl. Phys. 1991, 70, 7374.
20. Han, D.; Wang, K.; Owens, J. M.; Gedvilas, L.; Nelson, B.; Habuchi, H.; Tanaka, M. J. Appl. Phys. 2003, 93, 3776.
21. Cheng, Q. J.; Xu, S.; Long, J. D.; Huang, S. Y.; Guo, J. Nanotechnoloey 2007, 18, 465601.
22. Myong, S. Y.; Lim, K. S.; Konagai, M. Appl. Phys. Lett. 2006, 88, 103120.
23. Edelman, F.; Chack, A.; Weil, R.; Beserman, R.; Khait, Y. L.; Werner, P.; Rech, B.; Roschek, T.; Carius, R.; Wagner, H.; Beyer, W. Sol. Energy Mater. Sol. Cells 2003, 77, 125.
24. Alpuim, P.; Chu, V.; Conde, J. P. J. Appl. Phys. 1999, 86, 3812.
25. Conibeer, G.; Green, M.; Corkish, R. Thin Solid Films 2006, 511-512, 654.
26. Strahm, B.; Howling, A. A.; Sansonnens, L.; Hollenstein, C. Plasma Sources Sci. Technol. 2007, 16, 80.
27. Lebib, S.; Roca i Cabarrocas, P. J. Appl. Phys. 2005, 97, 104334.
28. Xu, S.; Ostrikov, K. N.; Luo, W.; Lee, S. J. Vac. Sci. Technol. A 2000, 18, 2185.
29. Kondo, M.; Suzuki, S.; Nasuno, Y.; Tanda, M.; Matsuda, A. Plasma Sources Sci. Technol. 2003, 12, S111.
30. Levchenko, I.; Xu, S. Pure Appl. Chem. 2008, 80, 1909.
31. Cheng, Q. J.; Xu, S.; Long, J. D.; Ostrikov, K. Appl. Phys. Lett. 2007, 90, 173112.
32. Green, M. A.; Emery, K.; Hishikawa, Y.; Warta, W. Prog. Photo-voltaics: Res. Appl. 2008, 16, 61.
33. Cvelbar, U.; Chen, Z.; Sunkara, M. K.; Mozetic, M. Small 2008, 4, 1610.
34. Denysenko, I. B.; Ostrikov, K.; Xu, S.; Yu, M. Y.; Diong, C. H. J. Appl. Phys. 2003, 94, 6097.
35. Ostrikov, K.; Kumar, S.; Sugai, H. Phys. Plasmas 2001, 8, 3490.