AFM tip hammering nanolithography

Small

Volumn 5, Issue 4, 2009, Pages 477-483

  Wang, You ^a   Hong, Xiaodong ^a   Zeng, Jun ^a   Liu, Baoquan ^a   Guo, Bin ^a   Yan, Honghua ^a  

^a HARBIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY   (China)

Author keywords

AFM; Block copolymers; Erasion; Morphology; Nanolithography

Indexed keywords

ANNEALING; BLOCK COPOLYMERS; COPOLYMERIZATION; NANOLITHOGRAPHY; POLYMERS; POLYSTYRENES; THIN FILMS;

AFM; ANNEALING TEMPERATURES; AS CASTS; EMBOSSED PATTERNS; ERASION; HIGH-SPEED; LINE-WIDTH RESOLUTIONS; LITHOGRAPHIC PATTERNS; LOW COSTS; SELECTIVE SOLVENTS; TAPPING MODES; THERMAL-ANNEALING; TRI-BLOCK COPOLYMERS;

ATOMIC FORCE MICROSCOPY;

SOLVENT;

ARTICLE; ATOMIC FORCE MICROSCOPY; METHODOLOGY; NANOTECHNOLOGY;

MICROSCOPY, ATOMIC FORCE; NANOTECHNOLOGY; SOLVENTS;

EID: 62749189154     PISSN: 16136810     EISSN: 16136829     Source Type: Journal    
DOI: 10.1002/smll.200800966     Document Type: Article

References (48)

1. X. N. Xie, H. J. Chung, C. H. Sow, A. T. S. Wee, Mat Sci. Eng. Rep. 2006, 54, 1.
2. R. M. Nyffenegger, R. M. Penner, Chem. Rev. 1997, 97, 1195.
3. S. Kramer, R. R. Fuierer, C. B. Gorman, Chem. Rev. 2003, 103, 4367.
4. X. Jin, W. N. Unertl, Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 657.
5. U. Kunze, B. Klehn, Adv. Mater. 1999, 11, 1473.
6. M. Heyde, K. Rademann, B. Cappella, M. Geuss, H. Sturm, T. Spangenberg, H. Niehus, Rev. Sci. Instrum. 2001, 72, 136.
7. B. Cappella, H. Sturm, S. M. Weidner, Polymer 2002, 43, 4461.
8. M. Heyde, B. Cappella, H. Sturm, C. Ritter, K. Rademann, Surf. Sci. 2001, 476, 54.
9. B. Cappella, H. Sturm, J. Appl. Phys. 2002, 91, 506.
10. F. J. Rubio-Sierra, A. Yurtsever, M. Hennemeyer, W. M. Heckl, R. W. Stark, Phys. Stat. Sol. (a) 2006, 203, 1481.
11. S. F. Lyuksyutov, R. A. Vala, P. B. Paramonov, S. Juhl, L. Waterhouse, R. M. Ralich, G. Sigalov, E. Sancaktar, Nat Mater. 2003, 2, 468.
12. S. F. Lyuksyutov, P. B. Paramonov, S. Juhl, R. A. Vaia, Appl. Phys. Lett. 2003, 83, 4405.
13. X. N. Xie, H. J. Chung, C. H. Sow, A. A. Bettiol, A. T. S. Wee, Adv. Mater. 2005, 17, 1386.
14. S. Jegadesan, S. Sindhu, S. Vallyaveettil, Small 2006, 2, 481.
15. H. J. Mamin, D. Ruger, Appl. Phys. Lett. 1992, 61, 1003.
16. C. Vasilev, H. Helnzelmann, G. Reiter, J. Polym. Sci, Part B: Polym. Phys. 2004, 42, 1213.
17. A. A. Milner, K. Zhang, Y. Prior, Nano Lett. 2008, 8, 2017.
18. R. Szoszkiewlcz, T. Okada, S. C. Jones, T. D. Li, W. P. King, S. R. Marder, E. Riedo, Nano Lett. 2007, 7, 1064.
19. D. Wouters, U. S. Schubert, Langmuir 2003, 19, 9033.
20. B. W. Maynor, S. F. Fllocamo, M. W. Grinstaff, J. Liu, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 522.
21. X. Liu, S. Guo, C. A. Mirkin, Angew. Chem. Int. Ed. 2003, 42, 4785.
22. M. Kaholek, W. K. Lee, B. LaMattina, K. C. Caster, S. Zauscher, Nano Lett. 2004, 4, 373.
23. J. H. Lim, C. A. Mirkin, Adv. Mater. 2002, 34, 1474.
24. M. Su, X. Liu, S.-Y. LI, V. P. Dravld, C. A. Mirkin, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 1560.
25. B. W. Maynor, S. F. Filocamo, M. W. Grinstaff, J. Liu, J. Am. Chem. Soc. 2002, 124, 522.
26. V. Bouchiat, D. Esteve, Appl. Phys. Lett. 1996, 69, 3098.
27. E. Boschung, M. Heuberger, G. Dietler, Appl. Phys. Lett. 1994, 61, 1003.
28. J. W. Jang, D. Maspoch, T. Fujigaya, C. A. Mirkin, Small 2007, 3, 600.
29. Y. Wang, X. D. Hong, B. H. Liu, C. Y. Ma, C. F. Zhang, Macromolecules 2008, 41, 5799.
30. A. Lendlein, S. Kelch, Angew. Chem. Int. Ed. 2002, 41, 2034.
31. Y. Wang, B. S. Wang, J. S. Shen, J. Appl. Polym. Sci. 2004, 92, 2593.
32. T. Pakula, K. Saijo, T. Hashimoto, Macromolecules 1985, 18, 2037.
33. Y. Zhao, Macromolecules 1992, 25, 4705.
34. J. L Leblanc, J. Appl. Polym. Sci. 1977, 21, 2419.
35. R. M. Yang, E. A. Melnecke, Rubber Chem. Technol. 1980, 53, 1124.
36. J. C. Kelterborn, D. S. Soong, Polym. Eng. Sci. 1982, 22, 654.
37. T. Hashimoto, M. Fujimura, K. Saijo, H. Kawai, J. Diamant, M. Shen, Multiphase Polymers, American Chemical Society, Washington, DC 1979, p. 257.
38. S. A. Baeurle, A. Hotta, A. A. Gusev, Polymer 2006, 47, 6243.
39. D. I. Bower, An Introduction to Polymer Physics, Cambridge University Press, Cambridge 2002, p. 204.
40. J. M. G. Cowle, D. Lath, I. J. McEwen, Macromolecules 1979, 12, 52.
41. Y. Wang, R. Song, Y. S. LI, J. S. Shen, Surf. Sci. 2003, 530, 136.
42. M. Motomatsu, W. Mizutani, H. Tokumoto, Polymer 1997, 38, 1779.
43. S. N. Magonov, J. Cleveland, V. Ellngs, D. Denley, M. H. Whangbo, Surf. Sci. 1997, 389, 201.
44. A. Knoll, R. Magerte, G. Krausch, Macromolecules 2001, 34, 4159.
45. E. L. Thomas, D. M. Anderson, C. S. Henkee, D. Hoffman, Nature 1988, 334, 598.
46. D. A. Hajduk, S. M. Gruner, P. Rangarajan, R. A. Register, L. J. Fetters, C. Honeker, R. J. Albalak, E. L Thomas, Macromolecules 1994, 27, 490.
47. M. S. Johannes, J. F. Kunihoim, D. G. Cole, R. L Clark, IEEE T. Automat. Sci. Eng. 2006, 3, 236.
48. X. Chen, M. C. Davies, C. J. Roberts, S. J. B. Tendler, P. M. Williams, N. A. Burnham, Surf. Sci. 2000, 460, 292.